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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 !-MY< '  
    6UCF w>  
    任务说明 2]kGDeSr  
    'p5M|h\:T  
    Kyx9_2  
    1;[KBYUH  
    灵活地导出制造数据： b |:Y3_>  
    - 平滑的界面 (uX?XX^  
    - 量化界面 VL)<u"d4  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 -sJ1q^;f@  
     =]%,&Se  
    亮点 et5lfj  
     导出各种表面形状的制造数据 7R:j^"I@  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 brp3xgQ`]  
         he(K   
    S ,F[74K  
    一般界面的制造数据 '( I0VJJ   
     Gd A!8  
    -] wEk%j  
    3;buC|ky  
    支持文件格式： Q u2 ~wp<  
    - 纯文本  kNK0KL  
    - ASCII码 uZ8-?  
    - 点云 3IRur,|'  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 1\}XL=BE  
     5r)8MklZ  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ;8oe-xS\+  
    LEM%B??&5z  
    采样高度剖面的STL导出 xc*a(v0  
    *rTg>)  
    MWme3u)D  
    T1q27I  
    量化界面的GDSII导出 "gy&eR>  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 D\G.p |9=  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 _<RTes  
    t Aq0Z)  
    j4,y+ 9U  
    文档和技术信息 0g30nr)  
    : %& E58  
    46]BRL2 G  
    PC用于模拟的规格 i.'"`pn_  
    4Q0ZY(2 EO  
    ^R:&c;&,  
    QQ：2987619807
     
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