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    [推荐]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-16
    成像系统>包括光栅  njg\y  
    Y<9]7R(\;  
    任务/系统说明 A,#a?O6m  
    l F*x\AT  
    El4SL'E@  
    _&|<(m&."  
    亮点 N(= \S:  
    {;E]#=|  
    G "`t$=0  
    5;Q9Z1 `  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) z< ,rE  
     严格分析光栅衍射效率  D/]  
     考虑入射光的方向分布 :zLeS-  
    !;h`J:dN  
    说明:光源 /aX 5G  
    HA0Rv#p  
    Yi+$g  
    c},wW@SF2W  
    说明:光束分束器 yy#4DYht  
    +je{%,*  
    B7ty*)i?  
    p~NFiZ,  
    说明:检测透镜系统 Lc5I?}:;L  
    ^b@&O-&s  
    ERZWK  
    ;/=6~%  
    说明:微型晶片 i*2l4  
    ]0@ 06G(y  
    a?P$8NLr  
    8xQjJ  
    说明:检测物镜 J'#R9NO<  
    mqk tM6  
    jpRC6b?  
    PWbi`qF)r  
    说明:探测器 ~ w,hJ `  
    P[<EFj E  
    D;QV`Z% I  
    _ !H8j/b  
    结果:3D光线追迹(只有0级) _yP02a^2  
    | +r5D4]e  
    F=l.2t*9  
    Kb,#Ot  
    结果:3D光线追迹(所有级) 8PtX@s43\  
    0V5{:mzA  
    lJ/{.uK  
    0D:eP``  
    结果:光线追迹 o]O  
    E!zAUEVQm[  
    qS}pv  
    t o2y#4'.  
    结果:场追迹 ?Y | *EH  
    =]<JkWSk  
    T$r?LIa ,Q  
    f%cbBx^;  
    结果:线性偏振光的场追迹 cu#s}* Ip  
    ):pFI/iC  
    w;(B4^?  
    JTI 'W  
    文档和技术信息 ]n$&|@  
    #uillSV  
    >S=,ype~G  
    ! tPHT  
    tFKR~?Gc  
    QQ:2987619807 QB|D_?]  
     
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