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成像系统>包括光栅 ~!d/8?! u!U"N*Y" 任务/系统说明
6vTo*8D C"qU-&*v nL}5cPI FvuGup`w 亮点 ow;R$5G
I.@hW>k mNAY%Wn6k C4#rA.nF| 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) vF/ =J 严格分析光栅衍射效率 ]:$
O{y 考虑入射光的方向分布 C#=bW'C ";w}3+R 说明:光源 HXVBb%pP HygY>s+3[
FNQX7O52 .LRxP#B 说明:光束分束器 -g/hAxb5 s;YKeE!8 rf9_eP h2;z4 说明:检测透镜系统 rJ'I>Q~x6 )g@S%Yu ;#)mLsl s&{Qdf 说明:微型晶片 "%QD{z_L ]AS"z< ~ZlC
' zMK](o1Vj 说明:检测物镜 8{Fm[
%" 0-3rQ~u QI[}(O7#6 l??;3kh1 说明:探测器 kao}(?x% )I@L+ I#FF*@oeM }98>5%Uv 结果:3D光线追迹(只有0级) VnJMmMM i"^<CR@e y466A]| ^yKY'>T#d 结果:3D光线追迹(所有级) gCVryB@z2 qturd7 7TX,T|>9 #S+Z$DQD 结果:光线追迹 N\1/JW+ M`,XyIn +MO E TQ1WVq
}* 结果:场追迹 nyT[^n Hwe)Tsh e r<L#q)] re,.@${H 结果:线性偏振光的场追迹 *R`MMm z]$j7 dp _8h8Wtif F}rPY: 文档和技术信息 oBlzHBn>0 %bX0 mN 02]xJo 76#.F
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