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成像系统>包括光栅 tHLrhH< w ;c$ J=h] 任务/系统说明 Z|}G6]h @k&qb!Qah  |7x\m t F5S@I; 亮点 gv5*!eI
^n0]dizB
 @JdZ5Q \W 1/p` 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） uslQ*7S[^ 严格分析光栅衍射效率 K\|FQ^#UYm 考虑入射光的方向分布 6;b ~Ht ;;&}5jcV 说明：光源 sVex
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- ? ( h:Rh 说明：光束分束器 Jaz?Ys|S Y3Q9=u*5  ut r: J o.I6ulY8 说明：检测透镜系统 \6\<~UX^ ,0LU~AGe
 B#9{-t3Vf =h l }.p 说明：微型晶片 mc4i@<_ ? 6Cp]NbNrq  )p*}e8L H /}]FmjN 说明：检测物镜 Nz)l<S9> z;y:9l  R
LD`O9#j :,)lm.}]t 说明：探测器 K #. 7%sdtunf`  OrK&RC !F?XLekTi 结果：3D光线追迹（只有0级） 4WK3.6GN V*~Zs'L'E  }u1O#L}F5 ^aW
Z!gi 结果：3D光线追迹（所有级） ]kboG%Dl?9 }}<z/zN&^  --DoB=5%8 ^b
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hfb ftw 结果：线性偏振光的场追迹 $.bBFWk ZWS`\ M  {%C7EAq*
+$Rt+S BD 文档和技术信息 L31|\x] D$x_o!JT
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