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成像系统>包括光栅 ]Q%|69H}B n1Y3b~E?E 任务/系统说明 c<(LXf+61 bay7%[BLB xz#.3|_(' Ke_&dgsq 亮点 j.5;0b_L^ Fp`MX>F K)h\X~s $c WO`\XM 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) #kuk3}& 严格分析光栅衍射效率 uMB|x,X I 考虑入射光的方向分布 c04"d"$ x @\!9dK-W 说明:光源 l9 K 3E<g 0Q]p#; K]b_JDEk VHyP@JB
说明:光束分束器
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1fK 说明:检测透镜系统 2WA =U] &|:T+LVv$+ s 4Mi9h_ ""dX4^gtU 说明:微型晶片 ic"n*SZa 6iozb~!Rr UacGq, ;T|y^D 说明:检测物镜 V!'N:je n(mS pY3N7&m\: eBK s-2r 说明:探测器 <z>K{:+> CKAs3",
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