现代应用光学（张以谟）

近年来，应用光学领域中出现了许多新技术。本书基于作者多年光学领域的研究和积累，系统阐述了应用光学的现代理论和应用，并引入这些新技术。全书内容包括波面像差理论及几何像差理论、以非球面和自由光学曲面简化光学系统设计、太阳能电站和现代高效照明中的非成像光学等；反映了应用光学中的前沿技术，如光学系统焦深扩展与衍射极限的突破、微纳光子学和表面等离子体微纳光学设备中的光学系统、自适应光学等；叙述了现代物理光学仪器的光学系统原理，包括光电干涉光学系统、光电光谱仪及分光光度光学系统、偏振光电仪器光学系统及偏振光成像技术等。本书既讲解应用光学基础理论，又涵盖国内外应用光学领域*新的技术理论和实现方法，适合作为相关专业高校师生和广大科研人员的参考书。 [(tgoh/  
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目 录 ?)
Lktn9%  
第1章 现代应用光学基础理论概述 1 ,oDZ:"
;  
1．1 概述 1 r6]r+!63"  
1．1．1 本书的背景 1 mKZ?H$E%%  
1．1．2 本书的内容安排 1 n4)G g~PE  
1．2 光学系统设计中常用的光学材料特征参数 2 yuswWc'  
1．2．1 光学材料的光学参量 2 8E/$nRfOd  
1．2．2 热系数及温度变化效应的消除 4 wpY%"x#-+=  
1．2．3 其他玻璃数据 4 N##T1 Qm)  
1．3 新型光学材料 5 e~J% NU'&  
1．3．1 新型光学材料概述 5 =(*Eh=Pw  
1．3．2 光学材料发展概况 6 IGql^,b  
1．4 液晶材料及液晶显示器 12 XPzwT2_E  
1．4．1 液晶材料及其分类 12 =b,$jCv<,5  
1．4．2 常用液晶显示器件的基本结构和工作原理 16 |x{:GW
q  
1．4．3 STN-LCD技术 27 -9-%_=6  
1．4．4 液晶光阀技术 32 F$ Us! NN  
1．4．5 硅上液晶（LCoS）反射式显示器 36 c@ En4[a'  
1．4．6 光计算用SLM 38 .EH^1.|v  
1．5 电光源和光电探测器 38 KBzEEvx/$  
1．5．1 电光源 38 `(=)8>|e  
1．5．2 激光器 41 m*P~X*St  
1．5．3 光电导探测器 48  ^]wm Y  
1．5．4 光伏探测器 49 -+|0LXo  
1．5．5 位敏探测器 53 $a\q<fN}  
1．5．6 阵列型光电探测器 56 QfU 0*W?r  
1．6 波像差像质评价基础知识 59 yhQo1e>  
1．6．1 光学系统像差的坐标及符号规则 59 wias]u|  
1．6．2 无像差成像概念和完善镜头聚焦衍射模式 60 8[f]9P/i  
参考文献 63 30FYq?  
第2章 光学非球面的应用 67 e@k ti@ZJ  
2．1 概述 67 ezwcOYMXK  
2．2 非球面曲面方程 67 [$.oyjd  
2．2．1 旋转对称的非球面方程 67 ~,R_  
2．2．2 圆锥曲线的意义 68 z^~uq:  
2．2．3 其他常见非球面方程 70 {>QrI4*A  
2．2．4 非球面的法线和曲率 71 lqqY5l6j  
2．3 非球面的初级像差 71 QEUg=*3W=  
2．3．1 波像差及其与垂轴像差的关系 71 JS&l h  
2．3．2 非球面的初级像差 73 U@D=.6\B  
2．3．3 折射锥面轴上物点波像差 75
3z&,>CEX  
2．3．4 折射锥面轴外物点波像差 76 p`{<q -  
2．4 微振（perturbed）光学系统的初级像差计算 77 0plRsZ}  
2．4．1 偏心（decentered）光学面 78 \C}tK,79  
2．4．2 光学面的倾斜 80 ; {I{X}b  
2．4．3 间隔失调（despace）面 81 N Ja]UZx  
2．5 两镜系统的理论基础 82 'ycs{}'  
2．5．1 两镜系统的基本结构形式 82 _}jj>+zA`  
2．5．2 单色像差的表示式 82 Ow//#:  
2．5．3 消像差条件式 84 uHz D  
2．5．4 常用的两镜系统 85 mg'-]>$$]  
2．6 二次圆锥曲面及其衍生高次项曲面 86 q7 Uu 8JXF  
2．6．1 消球差的等光程折射非球面 86 xZ`t~4qR  
2．6．2 经典卡塞格林系统 87 5?9}^s4  
2．6．3 格里高里系统 88 a;*&q/{o  
2．6．4 只消球差的其他特种情况 88 #:' P3)&  
2．6．5 R-C（Ritchey-Chrétien）系统及马克苏托夫系统 89 U@f3V8CPy  
2．6．6 等晕系统的特殊情况 90 .&r] ?O  
2．6．7 库特（Cuder）系统及同心系统 91 seAkOIc  
2．6．8 史瓦希尔德（Schwarzschield）系统 92 '-w G  
2．6．9 一个消四种初级像差 的系统 93 An]*J|nFIY  
2．6．10 无焦系统 93 XFK$p^qu  
2．7 两镜系统的具体设计过程 93 \FVR'A1  
2．7．1 R-C系统的设计 93 oH6(Lq'q  
2．7．2 格里高里系统与卡塞格林系统 94 (nBJ,v)  
2．8 施密特光学系统设计 95 !S(jT?'w  
2．8．1 施密特光学系统的初级像差 95 &lI.N~Ao  
2．8．2 施密特校正器的精确计算法 98 B TcxBh  
2．9 三反射镜系统设计示例 99 /^/'9}7  
2．9．1 设计原则 99 h3@mN\=h'  
2．9．2 设计过程分析 100 *#UDMoz<  
2．9．3 设计示例 101 pk;bx2CP8  
参考文献 103 )E6m}?H5  
第3章 衍射光学元件 105  r)X?H  
3．1 概述 105 @gxO%@@  
3．1．1 菲涅耳圆孔衍射――菲涅耳波带法 106 2vj)3%:7#E  
3．1．2 菲涅耳圆孔衍射的特点 108 K3 ]hUe#  
3．1．3 菲涅耳圆屏衍射 109 & NOKrN~HX  
3．2 波带片 110 iy$]9Wf6=@  
3．2．1 菲涅耳波带片 110 /#>?wy<s~  
3．2．2 相位型菲涅耳波带片 112 X/gh>MJJ<  
3．2．3 条形或方形波带片 113 9QY)<K~a  
3．3 衍射光学器件衍射效率 113 qY14LdC}~  
3．3．1 锯齿形一维相位光栅的衍射效率 113 d8]6<\g  
3．3．2 台阶状（二元光学）相位光栅的衍射效率及其计算 114 =9pFb!KX  
3．4 通过衍射面的光线光路计算 115 l[\[)X3$  
3．5 衍射光学系统初级像差 118 :4Q_\'P  
3．5．1 衍射光学透镜的单色初级像差特性 118 mi97$Cr2  
3．5．2 折衍混合成像系统中衍射结构的高折射率模型及PWC描述 121 t~U:{g~  
3．5．3 P∞、W∞、C与折衍混合单透镜结构的函数关系 122 aK1|b=gVj  
3．6 折衍光学透镜的色散性质及色差的校正 123 s/,St!A4!  
3．6．1 折衍光学透镜的等效阿贝数ν 123 3$HFHUMQsk  
3．6．2 用DOL实现消色差 124 II~D66 bF  
3．6．3 折衍光学透镜的部分色散及二级光谱的校正 125 aYPzN<"%  
3．7 衍射透镜的热变形特性 127 ,qv
z:a  
3．7．1 光热膨胀系数 127 {Lq uOC1  
3．7．2 消热变形光学系统的设计 129 h
?p^DPo  
3．7．3 折衍混合系统消热差系统设计示例 130 Y=}b/[s6;  
3．8 衍射面的相位分布函数 132 y\x!Be;6Z.  
3．8．1 用于平衡像差的衍射面的相位分布函数 132 @9vz%1B<l  
3．8．2 用于平衡热像差的衍射面的相位分布函数 133 cp.)K!$  
3．9 多层衍射光学元件（multi-layer diffractive optical elements） 133
kv(N/G  
3．9．1 多层衍射光学元件的理论分析 134 _|6{(  
3．9．2 多层衍射光学元件的结构 134  d(v )SS  
3．9．3 多层衍射光学元件材料的选择 134 fep#Kb%"e  
3．9．4 多层衍射光学元件的衍射效率 135 S4?ssI  
3．9．5 多层衍射光学元件在成像光学系统中的应用举例 136 xhqIE3gd  
3．10 谐衍射透镜（HDL）及其成像特点 137 5%4:)s{4|  
3．10．1 谐衍射透镜 137 FirmzB Il5  
3．10．2 谐衍射透镜的特点 137 9.%{M#j  
3．10．3 单片谐衍射透镜成像 138 c>DAR  
3．10．4 谐衍射/折射太赫兹多波段成像系统设计示例 139 AV&W&$  
3．11 衍射光学轴锥镜（简称衍射轴锥镜） 143 t[an,3  
3．11．1 衍射轴锥镜 143 WgxlQXi-B  
3．11．2 设计原理和方法 144 F*I{?NRN1  
参考文献 150 ~9'VP}\  
第4章 非对称光学系统像差理论 153 PeE'#&wn  
4．1 波像差与Zernike多项式概述 153 Sm,%>  
4．1．1 波前像差理论概述 153 z),l&7  
4．1．2 角向、横向和纵向像差 154 *y N,e.t  
4．1．3 Seidel像差的波前像差表示 155 *;o=hM)Tp  
4．1．4 泽尼克（Zernike）多项式 162 )cOm\^,  
4．1．5 条纹（fringe）Zernike系数 164 mH}AVje{ `  
4．1．6 波前像差的综合评价指标 165 Sf*VkH  
4．1．7 色差 167 6Ajiz_~U  
4．1．8 典型光学元件的像差特性 167 -?e~S\JH  
4．2 非对称旋转成像光学系统中像差理论 174 ^PWZ1.T  
4．2．1 重要概念简介 174 o'D6lkf0  
4．2．2 倾斜非球面光学面处理 176 Wigm`A=,r  
4．2．3 局部坐标系统（LCS）近轴光方法计算单个光学面像差场中心 176 &OuyjW4  
4．2．4 OAR的参数化 179 6o,,w^  
4．2．5 倾斜和偏心的光学面的定位像差场对称中心矢量（像差场偏移量的推导） 181 o
.k#|q  
4．2．6 基于实际光线计算单个面的像差场中心 182 \h #vL  
4．2．7 失调光学系统的波像差表示式 183 \=83#*KK  
4．2．8 举例：LCS近轴计算与其实际光线等价计算的比较 185 ;J?!D x  
4．3 近圆光瞳非对称光学系统三级像差的描述 187 0BVMLRB  
4．3．1 光学系统的像差场为各个面的贡献之和 187 l<qxr.X  
4．3．2 带有近圆光瞳的非旋转对称光学系统中的三级像差 187 Rmd;ug9  
4．3．3 节点像差场 191 ZC0F:=/K  
4．3．4 波前误差以及光线的横向像差 194 jkPXkysm  
4．3．5 非对称光学系统中的三级畸变 195 6= 9  
4．4 非旋转对称光学系统的多节点五级像差：球差 197 44_n5vp,T  
4．4．1 非旋转对称光学系统像差概述 197 -{P)\5.L  
4．4．2 非旋转对称光学系统的五级像差 198 qe\j$Cjy  
4．4．3 五级像差的特征节点行为：球差族包括的各项 199 <cWo]T`X!  
参考文献 203 >#>YoA@S  
第5章 光学自由曲面的应用 205 nre8 F  
5．1 光学自由曲面概述 205 #Q|$&b  
5．2 参数曲线和曲面 206 (>)Y0ki}  
5．2．1 曲线和曲面的参数表示 206 h!)(R<  
5．2．2 参数曲线的代数和几何形式 210 q .?D{[2  
5．3 Bézier曲线与曲面 212 y
)(@  
5．3．1 Bézier曲线的数学描述和性质 212 >GZF\ER  
5．3．2 Bézier曲面 215 "w_(p|cm=  
5．4 B样条（B-spline）曲线与曲面 217 u`  
5．4．1 B样条曲线的数学描述和性质 217 d5WE^H)E.  
5．4．2 B样条曲线的性质 219 )ns;S  
5．4．3 B样条曲面的表示 220 2gFQHV  
5．5 双三次均匀B样条曲面 221 lkl#
AH  
5．5．1 B 样条曲面 221 1hRC Bwx  
5．5．2 双三次均匀B样条曲面的矩阵公式 223 :!aFfb["  
5．6 非均匀有理B样条（NURBS）曲线与曲面 224 l sUQ7%f  
5．6．1 NURBS曲线与曲面 224 r%xNfTa  
5．6．2 NURBS曲线的定义 224 @zPWu}&m  
5．6．3 NURBS表示 226 oXz:zoN
Q  
5．6．4 非均匀有理B样条曲面 228 o]k[l;  
5．7 Coons曲面 229 6o6m"6  
5．7．1 基本概念 229 9N u;0  
5．7．2 双线性Coons曲面 230 +/UInAM  
5．7．3 双三次Coons曲面 231 9K%E+_7b  
5．8 自由曲面棱镜光学系统 232 vguqk!eo4  
5．8．1 自由曲面棱镜概述 232  (+Er  
5．8．2 矢量像差理论及初始结构确定方法 233 I@x*>  
5．8．3 自由曲面棱镜设计 236 }RM?gE  
5．8．4 用光学设计软件设计含自由曲面的光学系统 238 NP|U |zn  
参考文献 239 [%3{mAd  
第6章 共形光学系统 241 [;tbNVZK  
6．1 概述 241 q 2=^l  
6．1．1 共形光学系统的一般要求 241 `Y+p7*Qr2  
6．1．2 共形光学系统的主要参量 244 "h)+fAT|,  
6．1．3 共形光学系统中的像差校正 250 ;Hm\?n)a  
6．1．4 共形光学系统实际应用须考虑的问题 252 a:P% r  
6．2 椭球整流罩的几何特性及消像差条件在共形光学系统中的应用 253 &Cdd  
6．2．1 椭球面几何特性分析 253 7Qq>?H -  
6．2．2 椭球整流罩的几何特性 256 HK ;C*;vC%  
6．2．3 利用矢量像差理论分析椭球整流罩结构的像差特性 258 Fv(zql  
6．3 基于Wassermann-Wolf方程的共形光学系统设计 259 eBBh/=Zc  
6．3．1 共形光学系统解决像差动态变化的方法概述 259 )|2g#hH5  
6．3．2 共形光学系统的像差分析 260 iaPY>EP1  
6．3．3 Wassermann-Wolf非球面理论 261 aP4r6lLv+  
6．3．4 利用Wassermann-Wolf原理设计共形光学系统 265 ,"*[T\u  
6．4 折/反射椭球形整流罩光学系统的设计 268 Le_?x  
6．4．1 折/反射椭球形整流罩光学系统的设计原则 269 L18Olu  
6．4．2 椭球形整流罩像差分析 269 \N;s@j W  
6．4．3 两镜校正系统初始结构设计原理 269 jIuE1ve  
6．4．4 用平面对称矢量像差理论分析光学系统像差特性 274 }.e*=/"MB  
6．4．5 设计结果 275 "*TnkFTR  
6．5 共形光学系统的动态像差校正技术 276 EP{y?+E2  
6．5．1 共形光学系统的固定校正器 276 ,!Ah+x  
6．5．2 弧形校正器 278 4J_18.JHP  
6．5．3 基于轴向移动柱面―泽尼克校正元件的动态像差校正技术 280 hX[hR  
6．6 二元光学元件在椭球整流罩导引头光学系统中的应用 283 @0t,vye  
6．6．1 二元光学元件的光学特性 284 !QC->  
6．6．2 二元衍射光学元件在椭球形整流罩导引头光学系统中的应用 286 S* <:He&1  
6．6．3 利用衍/射光学元件进行共形整流罩像差校正的研究 288 K4oLb"gB1  
6．6．4 折/衍混合消热差共形光学系统的设计 291 <tFq6|  
6．7 利用自由曲面进行微变焦共形光学系统设计 295 o'Po<I  
6．7．1 自由曲面进行微变焦共形光学系统的特点 295 QDSB <0j  
6．7．2 利用自由曲面的像差校正方法 295 Is%-r.i  
6．8 基于实际光线追迹的共形光学系统设计概述 298 Jd)|==yD  
6．8．1 实际光线追迹设计方法可在共形光学系统整个观察视场内得到较好像质 298 i) :Q{[D  
6．8．2 实际光线追迹方法概述 299 Y$%Ze]~  
参考文献 302 , gz:2UY#  
第7章 非成像光学系统 308 =X>?Y,  
7．1 引言 308 <51(q_f  
7．1．1 太阳能热发电技术简介 308 C+2
*m=r  
7．1．2 太阳能光伏发电 311 T;.#=h  
7．1．3 照明非成像光学 312 n?:s/6tP  
7．2 非成像光学概述 314 M-0BQs`N  
7．2．1 非成像会聚器特性 314 -w^E~J0*L  
7．2．2 光学扩展不变量 314 C2bN<K  
7．2．3 会聚度的定义 315 ?2DYz"/')  
7．3 会聚器理论中的一些几何光学概念 316 \W#M]Q  
7．3．1 光学扩展量的几何光学概念 316 p6I@o7f  
7．3．2 在成像光学系统中像差对会聚度的影响 317 P>jlFm  
7．3．3 光学扩展量（拉氏不变量）和相空间的广义概念 318 6XB9]it6  
7．3．4 斜不变量 320 QiB:K Pz[  
7．4 非成像光学的边缘光线原理 322 2sWM(SN  
7．4．1 边缘光线原理 322 "4i(5|whp?  
7．4．2 边缘光线原理应用――“拉线”方法 322 B ljZ&wZW  
7．5 复合抛物面会聚器（CPC） 324 3X%>xUI  
7．5．1 光锥会聚器 324 q[**i[+%  
7．5．2 复合抛物面会聚器（CPC）概述 324 M(SH3~  
7．5．3 复合抛物面会聚器的性质 326 c1!h;(&  
7．5．4 增加复合抛物面会聚器的最大会聚角 328 Q>= :$I  
7．6 同步多曲面设计方法 331 \$GlB+ iCx  
7．6．1 SMS方法设计会聚器概述 331 '6[0NuB  
7．6．2 一个非成像透镜的设计：RR会聚器 332 JAc-5e4  
7．6．3 XR会聚器 335 ~eE2!/%9  
7．6．4 RX会聚器 337 'TezUBRAz  
7．7 XX类会聚器 340 q[7C,o>/  
7．7．1 XX类会聚器的原理 340 X_O(j!h  
7．7．2 RX1会聚器 341 @k~Xem%<  
7．7．3 RX1会聚器的三维分析 341 zJXU>'obe  
7．8 非成像光学用于LED照明 343 #L[Atx  
7．8．1 边缘光线扩展度守恒原理和控制网格算法 344 (t fADaJM  
7．8．2 LED的非成像光学系统设计实例 346 M0 =K#/  
7．8．3 大范围照明光源设计（二维给定光分布设计） 347 qp'HRh@P2:  
7．9 非成像光学用于LED均匀照明的自由曲面透镜 348 jD'\\jAUdm  
7．9．1 均匀照明的自由曲面透镜概述 348 VbJGyjx  
7．9．2 LED浸没式自由曲面透镜设计方法 349 q9F(8-J  
7．9．3 设计示例 351 U")bvUIL  
参考文献 353 ~B1)!5Z  
第8章 光电光学系统中紧凑型照相光学系统设计 356 sDw&U?gUv  
8．1 概述 356 O-5H7Kd-  
8．1．1 数码相机的组成 356 d#Ql>PrY  
8．1．2 数码相机中图像传感器CCD和CMOS的比较 357
)>C,y`,  
8．1．3 数码相机的分类 359 G-9]z[\#  
8．1．4 数码相机的光学性能 364 7WKb| /#;  
8．1．5 数码相机镜头的分类和特点 365 .$L'Jt
2X  
8．2 数码相机镜头设计示例 367 i|y8n7c  
8．2．1 球面定焦距镜头设计示例 367 C.Y]PdYyj  
8．2．2 非球面定焦距镜头设计示例 370 $5s?m\!jZz  
8．3 变焦距镜头设计示例 372 7S(5\9  
8．3．1 变焦透镜组原理 373 MG<F.u  
8．3．2 非球面变倍镜头初始数据 373 |ILj}4ZA7  
8．3．3 折叠式（潜望式）变焦镜头示例 376 ,J!G-?:@n  
8．4 手机照相光学系统 378
q0SYV  
8．4．1 手机照相光学系统概述 378 >5'C<jc C  
8．4．2 两片型非球面手机物镜设计示例 379 Myg &H(~  
8．4．3 三片型手机物镜设计 382 pa`"f&JO  
8．5 手机镜头新技术概述 385 _>S."cm}!k  
8．5．1 自由曲面在手机镜头中的应用 385 }L'BzSU@G  
8．5．2 液体镜头 385 :Bz*vH  
8．6 鱼眼镜头概述 388 294 0M4  
8．6．1 鱼眼镜头是“仿生学的示例” 388 3#!}W#xv  
8．6．2 鱼眼镜头基本结构的像差校正 390 &k+jVymH  
8．6．3 鱼眼镜头基本光学结构的演变 391 DwMq  
8．6．4 鱼眼镜头的发展 391 -M/D
OTc  
8．6．5 鱼眼镜头的光学性能 393 iqRk\yq<  
8．6．6 光阑球差与入瞳位置的确定 396 [>U'P1@ql  
8．6．7 光阑彗差与像差渐晕 398 Mxc0=I'a  
8．6．8 鱼眼镜头示例与投影方式比较 399 &O/;YGEAB  
参考文献 402 Cd?aC  
第9章 光学系统焦深的扩展与衍射极限的突破 405 &"p7X>bd  
9．1 概述 405 XJ^dX]4  
9．1．1 扩展焦深概述 405 /5b,&  
9．1．2 超衍射极限近场显微术概述 409 @A GM=v  
9．1．3 远场超分辨成像 418 \Z{
6j&;  
9．2 光学成像系统景深的延拓 420 [AstD9  
9．2．1 景深延拓概述 420 z/dpnGX  
9．2．2 延拓景深的方形孔径相位模板 425 
_a|-_p  
9．2．3 增大景深的圆对称相位模板 438 AqM}@2#%%  
9．3 多环分区圆对称相位模板设计 442
JPJ&k(P  
9．3．1 多环分区圆对称相位模板的概念 442 zy^t95/m  
9．3．2 多环分区圆对称相位模板对应系统的特性 448 P|`pJYe  
9．3．3 圆对称相位模板成像系统的优缺点 450 yr8 b?m.x  
9．3．4 初级像差的影响以及延拓景深图像的复原 451 4! ]28[2B6  
9．3．5 延拓景深相位模板系统的图像复原与其光学成像系统的光学设计 456 "#Qqwsw7  
9．3．6 延拓景深光学成像系统的光学设计 460 X,D
G2HT  
9．4 轴锥镜（axicon）扩展焦深 468 j>Ce06G  
9．4．1 轴锥镜 468 c5Fl:=h  
9．4．2 小焦斑长焦深激光焦点的衍射轴锥镜的设计 476 mwU|Hh)N]  
9．5 近场光学与近场光学显微镜 478 >c %*:
a  
9．5．1 近场光学概念 478 DyhW_PH2J  
9．5．2 近场扫描光学显微镜（NSOM） 482 %Bn"/0,  
9．6 扫描探针显微镜 488 2l^hnog|  
9．6．1 与隧道效应有关的显微镜 489 <Ih)h$8`  
9．6．2 原子力显微镜（AFM） 491 6AD#x7drj  
9．6．3 扫描力显微镜（SFM） 495 O~D>F*_^j  
9．6．4 检测材料不同组分的SFM技术 498 "jS@ug  
9．6．5 光子扫描隧道显微镜（PSTM） 499 cih[A2lp  
9．7 原子力显微镜 504 y:,Ro@H%  
9．7．1 原子力显微镜的基本组成 504 90<z*j$EK  
9．7．2 近场力 505 m3[R  
9．7．3 微悬臂力学 507 hilgl<
UF  
9．7．4 AFM探测器信号 508 StZ GKY[Q  
9．7．5 原子力显微镜的测量模式 509 .{r0Szm.  
9．7．6 原子力显微镜检测成像技术 512 .S4c<pMap  
9．7．7 AFM的优点和正在改进之处 513 PggjuPPh  
9．7．8 电力显微镜（EFM） 513 '&v.h#<  
9．8 远场超高分辨率显微术 516 XLQt>y)  
9．8．1 远场超高分辨率显微术概述 516 CNU,\>J@$  
9．8．2 4Pi显微镜 517 rnX D(  
9．8．3 3D随机光学重建显微镜（STORM） 519 .Y`;{)  
9．8．4 平面光显微镜（SPIM）基本原理 520 X$mCn#8m  
9．8．5 福斯特共振能量转移显微镜（FRETM） 521 /<zBjvr%%  
9．8．6 全内反射荧光显微镜（TIRFM） 522 ,, S]_S  
9．9 衍射光学组件用于扫描双光子显微镜的景深扩展 524 PiQsVk  
9．9．1 远场超分辨显微镜扩展焦深概述 524 8);G'7O  
9．9．2 扩展焦深显微光学系统设计 525 wN}@%D-[v  
9．9．3 扫描双光子显微成像系统的扩展景深实验 528 %)'# d  
参考文献 532 H 5\k`7R  
第10章 自适应光学技术应用概述 542 LKC^Y)6o  
10．1 引言 542 _TLB1T^/4  
10．1．1 自适应光学技术的发展 542 vT1StOx<V  
10．1．2 自适应光学系统 544 pb8sx1.j;  
10．1．3 自适应光学应用技术 545 K9G1>*  
10．1．4 自适应光学在相控阵系统中的应用 547 
^W8kt  
10．1．5 高能激光相控阵系统简介 549 KAkD" (!  
10．2 自适应光学系统原理 553 '\g-z  
10．2．1 自适应光学概念 553 V7~tIhuJH  
10．2．2 共光路/共模块自适应光学原理及衍生光路 557 IZ2(F,{o  
10．3 自适应光学系统的基本组成原理和应用 569 kz30! L  
10．3．1 波前传感器 569 ^\"@r%|  
10．3．2 波前校正器 578 41^=z[k  
10．3．3 波前控制器及控制算法 584 z:gp\  
10．3．4 激光导星原理及系统 589 HgY [Q}7s  
10．4 天文望远镜及其自适应光学系统 601 @*>kOZ(3  
10．4．1 2．16 m望远镜及其自适应光学系统 601 r.z=  
10．4．2 37单元自适应光学系统 608 LZR x>q^  
10．4．3 1．2 m望远镜61单元自适应光学系统 612 gPT<%F  
10．5 锁相光纤准直器的自适应阵列实验系统 620 Qvc$D{z  
10．5．1 概述 620 ue8"_N  
10．5．2 光纤准直器的自适应阵列中的反馈控制 626 cVb&Jzd  
10．6 阵列光束优化式自适应光学的原理与算法 631 _dQg5CmlG  
10．6．1 光学相控阵技术基本概念 631 xa"8"8  
10．6．2 优化算法自适应光学 633 (gHCu  
10．6．3 阵列光束优化式自适应光学的原理与发展 634 H\vd0DD;  
10．6．4 阵列光束优化式自适应光学算法 635 lq'MLg  
10．7 自适应光学技术在自由空间光通信中的应用 642 Q%T[&A}3B  
10．7．1 自由空间光通信概述 642 NpPuh9e{  
10．7．2 自由空间光通信系统概述 643 S&JsDPzSd  
10．7．3 一些自由空间光通信的示例 649 vw  
10．7．4 自适应光学结合脉冲位置调制（PPM）改善光通信性能 653 XK+" x!   
10．7．5 无波前传感自适应光学（AO）系统 656 _A/q bm  
10．8 自由空间激光通信终端系统原理 659 5|<jPc  
10．8．1 终端系统结构和工作原理 659 o(L8 -F  
10．8．2 激光收发子系统 660 _Jt  
10．8．3 捕获跟踪瞄准（ATP）子系统 662 '((pW  
10．8．4 光学平台子系统 662 s;!_'1pi@  
10．8．5 卫星终端系统概述 666 >))f;$D=  
10．8．6 基于自适应光学技术的星载终端光学系统方案示例 673 =tS#t+2S  
10．9 自适应光学技术的其他典型应用举例 675 T%Nm  
10．9．1 自适应光学技术在惯性约束聚变技术中的应用概述 675 VZ3{$0 +  
10．9．2 自适应光学用于月球激光测距 679 chC= $(5t  
10．9．3 自适应光学系统在战术激光武器中的应用简介 682 T9'd?nw9  
10．9．4 自适应光学在医学眼科成像中的应用 689 93[&'  
参考文献 696 F$6JzF$|F  
第11章 微纳投影光刻技术导论 711 ~NV 8avZ  
11．1 引言 711 :w,#RcW  
11．2 光刻离轴照明技术 717 ]I^b&N  
11．3 投影光刻掩模误差补偿 721 ^!v{ >3  
11．4 投影光刻相移掩模 728 }mdk+IEt  
11．5 电子投影光刻（EPL） 735 +x(~!33[G  
11．6 离子束曝光技术 750 ASU.VY  
11．7 纳米压印光刻（NIL）技术 754 ]. E/s(p  
参考文献 761 g15~+;33N  
第12章 投影光刻物镜 769 QW
QJSz5  
12．1 概述 769 Q94Lq~?YF  
12．1．1 光刻技术简介 769 N|5fkx<d^  
12．1．2 提高光刻机性能的关键技术 769 $o%:ST4  
12．1．3 ArF光刻机研发进展 771 zB68%  
12．1．4 下一代光刻技术的研究进展 772 _c$F?9:  
12．2 投影光刻物镜的光学参量 772 `
EdZ  
12．2．1 投影光刻物镜的光学特征 772 "tF#]iQQ u  
12．2．2 工作波长与光学材料 774 t6C2DHh7$  
12．3 投影光刻物镜结构形式 784 uvMcB9  
12．3．1 折射式投影物镜结构形式 784 kMx^L;:n  
12．3．2 折射式光刻投影物镜 785 %o  
12．3．3 深紫外（DUV）投影光刻物镜设计要求 786 [k<.BCE  
12．3．4 深紫外（DUV）非球面的投影光刻物镜 786 Kl/n>qEt  
12．3．5 光阑移动对投影光刻物镜尺寸的影响 787 IzI2w6a  
12．4 光刻物镜的像质评价 788 {A`J0ol<B9  
12．4．1 波像差与分辨率 788 =kP|TR!o-  
12．4．2 基于Zernike多项式的波像差分解 791 :B7dxE9[r  
12．4．3 条纹Zernike多项式的不足与扩展 794 YAP,#a  
12．5 运动学安装机理与物镜像质精修 795 dRL*TT0NW  
12．5．1 运动学安装机理 795 =1r
!'<"h  
12．5．2 物镜像质精修 796 B{tROuN<  
12．5．3 投影光刻物镜的像质补偿 796 S&J>15oWM`  
12．6 进一步扩展NA 801 5q,ZH6\ {  
12．6．1 用Rayleigh公式中的因子扩展NA 801 OB4nE}NO  
12．6．2 非球面的引入 802 [[7=rn}@<  
12．6．3 反射光学元件的引入 802 8G )O,F7z  
12．6．4 两次曝光或两次图形曝光技术 803 {2.zzev'  
12．7 浸没式光刻技术 803 NCa3")k  
12．7．1 浸没式光刻的原理 803 <~teD[1k"  
12．7．2 浸没液体 804 mJ>msI @  
12．7．3 浸没式大数值孔径投影光刻物镜 805 w| eVl{~p  
12．7．4 偏振光照明 806 `lcQ Yd<,4  
12．7．5 投影光刻物镜的将来趋势 808 9<Ks2W.N  
12．8 极紫外（EUV）光刻系统 810 Qf($F,)K  
12．8．1 极紫外（EUV）光源 810 p#0L@!,  
12．8．2 EUVL（extreme ultraviolet lithography）投影光刻系统的主要技术要求 813 ]o?r(1  
12．8．3 两镜EUV投影光刻物镜 815 Y(&rlL(sPK  
12．8．4 ETS 4镜原型机 819 gvFs$X*^:  
12．9 EUVL6镜投影光学系统设计 820 ]4onY>  
12．9．1 非球面6镜投影光学系统结构 820 -2B3 xIZJ  
12．9．2 分组设计法――渐进式优化设计6片（22 nm技术节点） %Y-5L;MI  
反射式非球面投影光刻物镜 821 0.kC|  
12．9．3 EUVL照明系统设计要求 825 Vji:,k=3\  
12．10 鞍点构建方法用于光刻物镜设计 827 aQ*?L l  
12．10．1 构建鞍点的价值函数的基本性质 827 s4`,
Z*H  
12．10．2 鞍点构建 828 ^{Fo,7  
12．10．3 DUV光刻物镜的枢纽 830 Aa+<4 R  
12．10．4 深紫外（DUV）光刻物镜设计举例 832 7g>|e  
12．10．5 用鞍点构建方法设计EUV投影光刻系统 835 l T#WM]  
12．10．6 极紫外（EUV）光刻物镜举例 836 VA5f+c
/ %  
12．10．7 鞍点构建设计方法中加入非球面设计概述 837 TSTkMlCG  
参考文献 840 l4gZHMh
'  
第13章 表面等离子体纳米光子学应用 850 sSy!mtS
 
13．1 表面等离子体概述 850 8ly6CP+^B  
13．1．1 表面等离子体相关概念 850 W3gHzT?{  
13．1．2 表面等离子体激发方式 852 &Jd_@F#J  
13．2 SPP产生条件和色散关系 854 c'DNO~H  
13．2．1 电荷密度波（CWD）与激发SPP的条件 854 ue1g(;  
13．2．2 介电质/金属结构中典型的SPP色散曲线 856 4rLc] >  
13．3 SPP的特征长度 858 "*LQr~k~}  
13．3．1 概述 858 \h/)un5  
13．3．2 SPP的波长λSPP 859 M%Zh{  
13．3．3 SPP的传播距离δSPP 860 >dJ[1s]  
13．3．4 实验 862 wGw<z[:f  
13．3．5 SPP场的穿透深度δd和δm 863 Q7]bUPDO  
13．4 SPP的透射增强 864 7J1f$5$m5  
13．4．1 透射增强 864 MZ?+I~@  
13．4．2 围绕单孔的同心环槽状结构 865 EXsVZg"#  
13．4．3 平行于单狭缝的对称线性槽阵列 866 2cjbb kq  
13．5 突破衍射极限的超高分辨率成像和银超透镜的超衍射极限成像 867 twhT6wz"  
13．5．1 超透镜的构成 867 L[^.pO  
13．5．2 银超透镜 868 ZypK''&oc  
13．5．3 银超透镜成像实验 869 I9e3-2THfj  
13．6 SPP纳米光刻技术 870 i&q_h>ZTg  
13．6．1 表面等离子体共振干涉纳米光刻技术 870 'p[*2J"K4  
13．6．2 基于背面曝光的无掩模表面等离子体激元干涉光刻 871 D?FmlDTr[  
13．6．3 在纳米球―金属表面系统中激发间隙模式用于亚30 nm表面等离子体激元光刻 873 hU3sEOm>  
13．6．4 用介电质―金属多层结构等离子体干涉光刻 875 XAN.Plk  
13．7 高分辨率并行写入无掩模等离子体光刻 879 N/eus"O;  
13．7．1 无掩模等离子体光刻概述 879 "E@A~<RKP  
13．7．2 传播等离子体（PSP）和局域等离子体（LSP） 879 Lvrflx*Q  
13．7．3 纳米等离子体光刻渐进式多阶聚焦方案 880 hka%!W5  
参考文献 885 vVZ+u4y  
第14章 干涉技术与光电系统 892 .kTOG'K\e  
14．1 概述 892 7x]q>Y8T  
14．1．1 经典干涉理论 892 1vYa&!  
14．1．2 光的相干性 893 G8WPXj(  
14．1．3 常用的激光器及其相干性 894 klMpiy  
14．2 传统干涉仪的光学结构 897 D!8v$(#hR  
14．2．1 迈克尔逊（Michelson）干涉仪 897 SmAii}-jf  
14．2．2 斐索（Fizeau）干涉仪 898 kjDmwa+91T  
14．2．3 泰曼-格林（Twyman-Green）干涉仪 899 T 0qM"  
14．2．4 雅敏（Jamin）干涉仪 900 =y>CO:^G%  
14．2．5 马赫-曾德（Mach-Zehnder）干涉仪 901 6n|][
! f  
14．3 激光干涉仪的光学结构 901 }~p%e2<  
14．3．1 激光偏振干涉仪 902 3:)_oHq  
14．3．2 激光外差干涉仪 904 $rJgBN  
14．3．3 半导体激光干涉仪光学系统 906 yMD3h$w3a  
14．3．4 激光光栅干涉仪光学系统 907 |h\A5_0_  
14．3．5 激光多波长干涉仪 912 ;U3K@_  
14．3．6 红外激光干涉仪 916 =sso )/3  
14．3．7 双频激光干涉仪 919 SW5n?Qj3-  
14．4 波面与波形干涉系统光学结构 921 sm{/S*3  
14．4．1 棱镜透镜干涉仪光学系统 922 P@Fx6  
14．4．2 波前剪切干涉仪 923 ^%m{yf#  
14．4．3 三光束干涉仪与多光束干涉仪 926 "<Yxt"Z4  
14．4．4 数字波面干涉系统 928 >*uj )u%  
14．4．5 锥度的干涉测量光学结构 930 3.9/mztS  
14．5 表面微观形貌的干涉测量系统 931 u08j9) ,4  
14．5．1 相移干涉仪光学结构 931 ,fhF-%Q!g  
14．5．2 锁相干涉仪光学结构 931 eFotV.T!#  
14．5．3 干涉显微系统光学结构 933 noLr185  
14．5．4 双焦干涉显微镜光学结构 936 I Bko"|e@  
14．6 亚纳米检测干涉光学系统 937 5A^8?,F@  
14．6．1 零差检测干涉系统 937  Vvp
{y  
14．6．2 外差检测干涉系统 939 hUX8j9N>  
14．6．3 自混频检测系统 940 C^c<s  
14．6．4 自适应检测系统 942 4l>U13~#  
14．7 X射线干涉仪系统光学结构 943 *^RoI  
14．7．1 X射线干涉仪的特点 943 #R7hk5/8n}  
14．7．2 X射线干涉仪的原理 944 B%`|W@v  
14．7．3 X射线干涉仪的应用 944 M`7[hr  
14．8 瞬态光电干涉系统 945 ?B@3A)
a  
14．8．1 瞬态干涉光源 945 pNZ3vTs6  
14．8．2 序列脉冲激光的高速记录 946 2jlz#Sk  
14．9 数字全息干涉仪光学结构 948 H0jbG;  
14．10 光纤干涉光学系统 952 Sy]W4%  
14．10．1 光纤干涉基本原理 952 I!}V+gu=  
14．10．2 光纤干涉光学系统结构 952 }{kn/m/  
14．10．3 Sagnac干涉仪：光纤陀螺仪和激光陀螺仪 957 FS!9 j8  
14．10．4 微分干涉仪光学结构 959 0:-z+`RHE  
14．10．5 全保偏光纤迈克尔逊干涉仪光学结构 961 Ov4=!o=  
14．10．6 三光束光纤干涉仪光学结构 962 e&E7_  
14．10．7 全光纤白光干涉仪光学结构 963 Vk2%yw>  
14．10．8 相位解调技术 965 |`pBI0Sjo  
参考文献 969 K:% MhH-  
第15章 光电光谱仪与分光光学系统设计 972 @=2u;$.  
15．1 光谱与光谱分析概述 972 '+ mI  
15．1．1 光谱的形成和特点 972 DC8\v+K  
15．1．2 光谱仪器 975 b4EUrSL  
15．1．3 光谱分析 977 `t44.=%  
15．2 光电光谱仪器的色散系统 978 Y^C(<
N$  
15．2．1 棱镜系统 978 EQk omjv  
15．2．2 平面衍射光栅 983 }_-tJ.  
15．2．3 凹面衍射光栅 989 6)W8HX~+  
15．2．4 阶梯光栅 992 &/:c?F?l  
15．3 光电光谱仪器的光学系统设计 993 :fnJp9c  
15．3．1 常用的光谱仪器光学系统 993 Z[l+{  
15．3．2 光谱仪器光学系统的初级像差 994 Zop/ MeI  
15．3．3 光谱仪器光学系统的像差校正 997 Z15=vsV  
15．3．4 反射式准直和成像系统的像差 998 &y7=tEV  
15．3．5 常用平面光栅装置类型 1001 4F6I7lu  
15．3．6 凹面光栅光谱装置光学系统 1007 TXT<6(  
15．4 典型光电光谱仪器光学系统设计 1008 U#- 5",X|  
15．4．1 摄谱仪和光电直读光谱仪光学系统设计 1008 y|i(~  
15．4．2 单色仪和分光光度计光学系统设计 1015 m-a':  
15．4．3 干涉光谱仪光学系统设计 1027 j?T>S]xOX  
15．5 激光光谱仪光学系统设计 1030  Hyenn  
15．5．1 激光光谱仪 1030 *_mER`  
15．5．2 傅里叶变换光谱仪光学系统设计 1032 &;WK=#  
15．5．3 光谱成像仪光学系统设计 1039 MiKq|  
参考文献 1042 7]Hf3]e>/  
第16章 光波的偏振态及其应用 1043 >wL!`:c'"  
16．1 光波的偏振态 1043 >|gXE>  
16．1．1 椭圆偏振电磁场 1044 Nf2lw]-G4  
16．1．2 线偏振和圆偏振电磁场 1045 v-^<,|vm2f  
16．1．3 偏振光的描述 1046 Ao*:$:k  
16．1．4 偏振光的分解 1051 ,aq>9\pi  
16．1．5 琼斯矩阵与穆勒矩阵（Mueller matrix） 1052 +?*.Emzl@  
16．2 偏振光学元件 1056 TKbfZw  
16．2．1 偏振片 1056 __1Hx?f  
16．2．2 偏振棱镜 1062 T+t7/PwC;  
16．2．3 退偏器 1067 90,UhNz9D  
16．3 偏振棱镜设计与应用示例 1070 &~x|w6M]J  
16．3．1 偏振耦合测试系统中偏振棱镜的设计 1070 `Fe/=]<$  
16．3．2 高透射比偏光棱镜 1073 7q 5 \]J[  
16．3．3 高功率YVO4晶体偏振棱镜 1075 uZ@qlq8  
16．4 相位延迟器 1077 [} d39  
16．4．1 相位延迟器概述 1077 lPC{R k.\C  
16．4．2 双折射型消色差相位延迟器 1078 A[`c+&  
16．4．3 全反射型消色差相位延迟器原理 1080 jsF5q~F  
16．5 偏振光学用于水下成像 1085 53.jx38xS  
16．5．1 斯托克斯（Stokes）矢量法 1085 ftRdK>a D  
16．5．2 水下偏振图像采集光学系统的设计 1088 (lq%4h  
16．5．3 斯托克斯图像的测量方案 1091 tNOOaj9mw  
16．6 椭圆偏振薄膜测厚技术 1095 nB[B FVkU  
16．6．1 薄膜测量方法概述 1095 &B1!,joH~  
16．6．2 椭偏测量技术的特点和原理 1096 ar'VoL}  
16．6．3 椭偏测量系统类型 1097 
MSp)Jc  
16．6．4 干涉式椭偏测量技术 1100 7|bBC+;(  
16．6．5 外差干涉椭圆偏振测量原理及光学系统 1102 u[4h|*'"|  
16．6．6 外差椭偏测量仪 1106 y5D3zqCG  
16．7 基于斯托克斯矢量的偏振成像仪器 1109 "(~fl<;  
16．7．1 斯托克斯矢量偏振成像仪器概述 1109 3j[<nBsn.  
16．7．2 多角度偏振辐射计 1114 $GQEdVSNo  
16．8 共模抑制干涉及其应用 1118 G9#3 |B-?  
16．8．1 共模抑制干涉技术概述 1118 M\Wg|gpy  
16．8．2 偏振光在零差激光干涉仪中的应用 1122 teLZplC=f  
16．8．3 利用偏振干涉原理测量表面粗糙度的方法 1126 E0aFHC[  
16．8．4 光功率计分辨率对测量结果的影响 1130 9"/=D9o9  
16．8．5 在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪 1132 (JE&1 @  
参考文献 1134 ae2I,Qt%  
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