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1. 摘要 rog1 /~Bs5f.]? 亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级,因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题,可以使用非傍轴照明。在本例中,高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明,衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程,包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 mE=Ur
IT7],pM 2. ·建模任务 =XtQ\$Pax ^?wR{q"8 /+*N.D'`t, 3. 结果 XjdHH.) S 8A5/jqnqt /OYa1, 4. 文件和技术信息 Nw*F1*v` cU-A1W 6#AEVRJKU@
QQ:2987619807
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