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1. 摘要 MQR2UK( a ,W5T8 亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级,因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题,可以使用非傍轴照明。在本例中,高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明,衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程,包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 eb.`Q+Gb t*Lo;]P 2. ·建模任务 EEaKT`/d !M3IuDN d7KeJ$xy}p 3. 结果 sM~CP zMa X3a:*1N i?*&1i@ 4. 文件和技术信息 ?nUV3#6{ $o]suF;3 HjnHl-
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