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    [推荐]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-29
    摘要 Pk^V6-  
    p+Fh9N<F9  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 QPW+L*2  
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    建模任务 GX N:=  
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    结果 }LX.gm  
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    结果 fKa]F`p_h  
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    结果 F#|mN0op  
    8[IR;gZf  
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    文件信息 tA-p!#V<k1  
    T>m|C}yy  
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    QQ：2987619807
     
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