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摘要 j} RzXJ~t uA\J0"0;} 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 bGv4.:) 8Rxc&`_X ]W)
jmw'mo 建模任务 Q)^g3J n
)K6i7]xk jvs[ / 结果 f0oek{ V8"Wpl9Cz >n!ni( 结果 7& 6Y f=I:DkR 2c:f<>r0y 结果 ',mW`ZN Fu)Th|5GZ vv/J 5#^,\ 文件信息 d^84jf.U ]rW8y%yD aqr!oxn?t
QQ:2987619807
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