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摘要 BmhIKXE{* n[E/O}3& / 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 %mF Z!( Fo.p}j+>
br3r!Vuz/- `zoC++hx 建模任务 qmy3pnL )&px[Dbx
+3d.JQoKl jt?DogYx 结果 qK-\`m -]~KQvIH! %=*nJvYS E{8-VmY 文件信息 !kQJ6U uXuA4o$t-
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