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摘要 htR.p7&Tn ~'KqiUY 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 I4?oBq \|HNFx T`
FA$32*v j]<K%lwp 建模任务 uW[[8+t| p^|l ',e
G%t>Ll``C 4d4+%5GE 结果 bIyg7X)/ dp'[I:X ?\, ^>4x? #o4tG 文件信息 4,c6VCw3+ oq+w2yR
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