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摘要 D5wy7`c yEnurq%J 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 @A_bZQ@ 6^vMJ82U IA\CBwiLj JMMT886 建模任务 QJL%J pZS0;T]W, gD"]uj< )%4%Uo_Xm 结果 $*035f 2VrO8q( ?R
4sH xQ[~ c1 文件信息 }tvLe3O }klET i?.7o*w8 YEL,TU 5J d7<AO_ QQ:2987619807 #1INOR9
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