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摘要 C.rLog# HJ+I;OJ 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 &Y/Myh[P ~|t7 NL76 jF nm.~~h+8M 建模任务 r"uOf;m c2iPm9"eh 4EtP| 4_'($FC1 结果 uv$t>_^ knU=# @cz\'v6E tbr1mw'G 文件信息 u(92y]3, f#3U,n8:
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