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摘要 z
J V>; 7Q|v5@;pU 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 dF^`6-K1 *>T@3G.{Rm o;v_vCLO wc ;^C?PX 建模任务 h`D+NZtWm 36d6KS 7 p@3 <{kLm B7n1'? 结果 <%"CQT6g% 8p]Krs: Gdr7d [ak[ZXC, 文件信息 Qv@)WJ="-0 [?n}?0 Cdc=1,U( uXdR-@80* fRt&-z(' QQ:2987619807 |Gt]V`4
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