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摘要 .M!
(|KE4 q$t& *O_ 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 2d>PN^x *TXq/
3g ]DUH_<3"E 概述 %eah=e 8%|x) +'Ge?(E4_ •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 ?B}>[ •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 ZbGyl}8ua •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 F@I_sGCcb c"z%AzUV'
x9ws@=[: ~T-.k
7t 衍射级次的效率和偏振 _N]yI0k( hW},% Ml3F\ fAW •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 53T2w,? •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 E+2y-B)E •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 GS,pl9#V_ •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 .6"7Xxe]< •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 C}>)IH
X%-4x M)xK+f2_[ 光栅结构参数 PT4`1Oy}/1 k@Tt,.]; g<C})84y3 •此处探讨的是矩形光栅结构。 kU
Flp •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 4Oy
c D •因此,选择以下光栅参数: M`<D Z<:< - 光栅周期:250 nm /Yh([P> - 填充系数:0.5 i!HGM=f - 光栅高度:200 nm m88~+o<G% - 材料n1:熔融石英 f65Sr"qB3 - 材料n2:TiO2(来自目录) 'I~dJEW7 s_[?(Ip{ Kaa*;T![ @$*c0.
|z 偏振状态分析 4(&'V+o M,@SUu v" /7#&qx8 •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 ,J^Op
•如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 ,*4"d._Y •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 <(MFEIt Q.\>+4]1&&
-Gpj^aBU }';&0p2Z 产生的极化状态 \f
LBw0 la4,Z
ah92<'ix pUr[MnQLf >
95Cs`>d 其他例子 fUXp)0O ' 7A7HDJ LJy'wl •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 ]| yH8 m •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 +Xp;T`,v 6S<$7=$= 0- UeFy P1QJ'eC;T 光栅结构参数 ]G B}, >DRs(~|V# 1I`D$Xq~: •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 6`C27 •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 7N"Bbl •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 WFd2_oAT •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 K*9b `%
UjaC( c [}2.CM 光栅#1 {Y[D!W2y OK\%cq/U
i[pf*W0g pqSE|3*l DBUwf1=qj •仅考虑此光栅。 qt(:bEr^6b •假设侧壁表现出线性斜率。 \bOjb\ w$ •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 AG7}$O. •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 b-?o?}* w8
$Qh%J'< C]fTV{ 假设光栅参数: PHvjsA%" •光栅周期:250 nm v8Zgog)V •光栅高度:660 nm aA`q!s.%A •填充系数:0.75(底部) hD1AK+y •侧壁角度:±6° i =N\[& •n1:1.46 [bG>qe1}& •n2:2.08 4E>(Y98 >U<nEnB$? 光栅#1结果 noA\5&hqW k~f+L O /8}+#h)[ •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 S I7B6c •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。
:XSc#H4 •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 Y:%)cUxA +^?-}v Vb^s 'k $ud>Z;X=P 光栅#2 ]7kGHIJ|
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w3qf7{b t`T\d\ jF{gDK •同样,只考虑此光栅。 V6MT> T •假设光栅有一个矩形的形状。 yH%+cmp7 •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 9K46>_TyH 假设光栅参数: C;q}3c*L •光栅周期:250 nm mN{ajf)@ •光栅高度:490 nm Y-q@~vZ] •填充因子:0.5 i @9Qb •n1:1.46 `A'I/Hf5 •n2:2.08 ,{?bM d Zz^9:C+ 光栅#2结果 CY3 \:D0I &n]Z1e}5 :Q
?J}N •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 LnTe_Q7_ •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 cm@ oun •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 'Z2N{65 2${,%8"0s
5Vnr"d 文件信息 +<\cd9 "gN* J)!x
i %hn aI{@]hCo CDW(qq-zD QQ:2987619807 IEoR7:
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