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    [推荐]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-01
    摘要 .M! (|KE4  
    q$t& *O_  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 2d>PN^x  
    *TXq/ 3g  
    ]DUH_<3"E  
    概述 %eah=e  
    8% |x)  
    +'Ge?(E4_  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 ?B}>[  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 ZbGyl}8ua  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 F@I_sGCcb  
    c"z%AzUV'  
    x9ws@=[:  
    ~T-.k 7t  
    衍射级次的效率和偏振
    _N]yI0k(  
    hW},%  
    Ml3F\ fAW  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 53T2w,?  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 E+2y-B)E  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 GS,pl9#V_  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 .6"7Xxe]<  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 C}>&#)IH  
    X%-4x   
    M)xK+f2_[  
    光栅结构参数 PT4`1Oy}/1  
    k@Tt,.];  
    g<C})84y3  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 kU Flp  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 4Oy c D  
    •因此,选择以下光栅参数: M`<D Z<:<  
    - 光栅周期:250 nm /Yh([P>  
    - 填充系数:0.5 i!HGM=f  
    - 光栅高度:200 nm m88~+o<G%  
    - 材料n1:熔融石英 f65Sr"qB3  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) 'I~dJEW7  
    s_[?(Ip{  
    Kaa*;T![  
    @$*c0 . |z  
    偏振状态分析 4(&'V+o  
    M,@SUu v"  
    /7#&qx8  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 ,J^Op   
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 ,*4"d._Y  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 <(MFEIt  
    Q.\>+4]1&&  
    -Gpj^aBU  
    }';&0p2Z  
    产生的极化状态 \f  LBw0  
    la4 ,Z  
    ah92<'ix  
    pUr[MnQLf  
    > 95Cs`>d  
    其他例子 fUXp)0O  
    ' 7A7HDJ  
    LJy'wl  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 ]| y H8m  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 +Xp;T`,v  
    6S<$7=$ =  
    0- UeFy  
    P1QJ'eC;T  
    光栅结构参数 ]G B},  
    >DRs(~|V#  
    1I`D$Xq~:  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 6`C27  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 7N"Bbl  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 WFd2_oAT  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 K*9b `%  
    UjaC( c  
    [}2.CM  
    光栅#1 {Y[D!W2y  
    OK\%cq/U  
    i[pf*W0g  
    pqSE|3*l  
    DBUwf1=qj  
    •仅考虑此光栅。 qt(:bEr^6b  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 \bOjb\ w$  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 AG7}$O.  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 b-?o?}*  
    w8 $Qh%J'<  
    C]fTV{  
    假设光栅参数: PHvjsA%"   
    •光栅周期:250 nm v8Zg og)V  
    •光栅高度:660 nm aA`q!s.%A  
    •填充系数:0.75(底部) hD1AK+y  
    •侧壁角度:±6° i =N\[&  
    •n1:1.46 [bG>qe1}&  
    •n2:2.08 4E>(Y98  
    >U<nEnB$?  
    光栅#1结果 noA\5&hqW  
    k~f+LO  
    /8}+# h)[  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 S I7B6c  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 :XSc#H4  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    Y:%)cUxA  
    +^? -}v  
    Vb^s 'k  
    $ud>Z;X=P  
    光栅#2 ]7kGHIJ|  
    |WU`p  
    w3qf7{b  
    t`T\d\  
    jF{gDK  
    •同样,只考虑此光栅。 V6MT>T  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 yH%+cmp7  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 9K46>_TyH  
    假设光栅参数: C;q}3c*L  
    •光栅周期:250 nm mN{ajf)@  
    •光栅高度:490 nm Y-q@~v Z]  
    •填充因子:0.5 i @9 Qb  
    •n1:1.46 `A'I/Hf5  
    •n2:2.08
    ,{?bM  
    d Zz^9:C+  
    光栅#2结果 CY3\:D0I  
    &n]Z1e}5  
    :Q ?J}N  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 LnTe_Q7_  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 cm@oun  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 'Z2N{65  
    2${,%8"0s  
    5V nr"d  
    文件信息 +< \cd9  
    "gN*J)!x  
    i %hn  
    aI{@]hCo  
    CDW(qq-zD  
    QQ:2987619807 IEoR7:  
     
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