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摘要 _|I`A6`= 9vI<\
Xa 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 LeaJ).Maw YML]pNB (rm*KD"] 概述
R]<N";- T1#r>3c\ ]-"G:r •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 xTg=oq •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 y$[:Kh, •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 chA7R'+LA =bJ7!&
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c'nC4 ble[@VW| 衍射级次的效率和偏振 y7~y@ 2 7m:ZG 'M!M$<j •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 T7~H|% •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 {ep(_1 •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 h0a|R4J •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 F<TIZ^gFP •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 ~sT1J|
N> xdX5 75^AO>gt
光栅结构参数 v6P2v 5y8VA4L/o g5:?O,? •此处探讨的是矩形光栅结构。 Z@,[a •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 G&
m~W •因此,选择以下光栅参数: L Q0e@5 - 光栅周期:250 nm GRh430V[ - 填充系数:0.5 6GA+xr= - 光栅高度:200 nm @2g
<d - 材料n1:熔融石英 S#:l17e3 - 材料n2:TiO2(来自目录) \zKO5,qw ;2 P _;M3=MTM9 %+^Qs\j 偏振状态分析 T>68 ,; p stQ_Ke 8W Etm} •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 Z+=M_{`{ •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 G>Hg0u0!, •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 _ee<i8_Va Q[{RNab
]f_`w81[ R.!.7dO 产生的极化状态 p(6 sN= 9l(T>B2a
*:"@ +z4E:v ;y_ ]w6|n 其他例子 Zm0' p! dci<Rz`h b~qH/A}h •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 "T9UedZ •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 iX[g .,20_<j%= 5|5p -B IC?(F]$%> 光栅结构参数 Yt?]0i+ /,`OF/% H@1}_d •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 C;j&Vbf •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 IVY)pS"pR" •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 Re&"Q8I.8 •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 v&bG`\ !
Evd|_ W- (zh[1[a 光栅#1 0( *L)s,5 wZs 2aa
f,4erTBH tv26eK
38 QFMAy>Gdn •仅考虑此光栅。 Ek1c >s,t •假设侧壁表现出线性斜率。 Nte$cTjX •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 /ywP
0 •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 N<1+aL\ `XpQR=IOMb S*$?~4{R 假设光栅参数: +:"0%( •光栅周期:250 nm X'-Yz7J?o •光栅高度:660 nm le]~Cy0 •填充系数:0.75(底部) i[@13kr •侧壁角度:±6° ] |nW •n1:1.46 1)MDnODJ •n2:2.08 ZP5 !O[Ut B0%=! & 光栅#1结果 X\/M(byn r*]pL< >=|p30\b •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 BjeD4 •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 vaGF(hfTA •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 kw@^4n+M U3N9O.VC w7o`BR ,T`,OZm 光栅#2 g(WP y;uR@{
8lL|j H=Ilum06 o$buoGSPc •同样,只考虑此光栅。 C!a1.&HHZ7 •假设光栅有一个矩形的形状。 i5t6$|u:&m •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 S.)Jp-&K 假设光栅参数: 94?WL •光栅周期:250 nm p*&0d@'r •光栅高度:490 nm C!*.jvhT •填充因子:0.5 "GZieI
D •n1:1.46 2h'Wu
qO •n2:2.08 Iz5NA0[=2 \7uM5 k}l 光栅#2结果 |7tD&9< yjg&/6 L_NiU;cr% •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 `X}:(O^GO •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 +7^p d9F. •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 v$W[( dy&UF,l6
]MV8rC[\ 文件信息 N);w~)MYh Wc[,kc
o^\Pt<~W 6JDHwV /,I cs QQ:2987619807 1!~cPD'F
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