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摘要 ~M\s!!t3 &R8zuD`# 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 5fLCmLM` {<]abO I @z{Gr 概述 M.128J+xfS <e=0J8V8,i -\I0*L'$|\ •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 /qp`xJ •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 grS,PKH •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 :J<S-d= ML'R[~|
2?"9NQvz x x
'XR'zK 衍射级次的效率和偏振 S\ li<xl SKS[Lf "TxXrt%>A •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 xp39TiXJ* •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 >?DrC / •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 lS,Hr3Lz •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 J
L Z •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 OC[a?#R1
te:VYP a{8GT2h`4 光栅结构参数 d5i/: 7 yi >G y.~5n[W •此处探讨的是矩形光栅结构。 ~k J#IA •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 ]xS< \{og •因此,选择以下光栅参数: FIS-xpv$ - 光栅周期:250 nm z* `81 - 填充系数:0.5 )Q\;N C=4 - 光栅高度:200 nm ,~3 sba - 材料n1:熔融石英 xCQ<G{;C - 材料n2:TiO2(来自目录) B]hZ4.B1 r|P4|_No p\,lbrv ybB}|4d& 偏振状态分析 G +YF 1'd "O
@ q3I,3?_ •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 H(g&+Wcu= •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 CHLMY}O0 •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 INkrG.=u Ii
K&v<(]
d- ]% T@z$g 产生的极化状态 [oYe/<3 g%+nMjif
%bv<OMD
8!T^KMfz #AY+[+ 其他例子 !k[zUti rkzhN59; 8CYJR/ •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 q=EQDHmh •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 ~#-`Qh -OziUM1qs u&g} !Smc8 fG.w;Aemv5 光栅结构参数 ilNm\fQ. 3$RII-}> |6uEf/*DX •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 -7yX>Hjl •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 n_w,Ew,>5 •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 Mr&]RTEE •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 /wK7l-S
0m@S+$v CBvBBt* 光栅#1 "=RB
# {=(4
}x8fXdd z=u4&x|xA #VrT)po+ •仅考虑此光栅。 >U}~Hv] •假设侧壁表现出线性斜率。 H37Z\xS •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 t ?{B* •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 X)|%[aX}q c1z5t]d Q/+a{m0f 假设光栅参数: !YoKKG~_0 •光栅周期:250 nm *]EcjK% •光栅高度:660 nm G/D{K$=t~ •填充系数:0.75(底部) Mu:H'$"'H •侧壁角度:±6° B
51LZP •n1:1.46 _}\&; •n2:2.08 T<ua0;7 6jnRC*!? 光栅#1结果 Pgo5&SQb kBT cND| H11Wb(6Wu •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 Kzmgy14o •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 -Wig k['v •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 `W/6xm(X5; '|+_~ZO*d vXf#gX!Y 6tzn% ? 光栅#2 {!="PnB &wjOb
\jfW$TtZm Lf,gS*Tg? 712i| •同样,只考虑此光栅。 kxO$Uk&TX •假设光栅有一个矩形的形状。 DnTM#i: •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 PF+`3 假设光栅参数: |[V(u •光栅周期:250 nm IEA[]eik> •光栅高度:490 nm n[clYi@e •填充因子:0.5 ^.4<#Qs •n1:1.46 <&NR3^Eq •n2:2.08 65}:2l2< S}|ea2 光栅#2结果 {<i!Pm hIw*dob 6-^+btl)# •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 (O&b:D/Y •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 QR#,n@fE •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 ;xRyONt qR1ez-#K
{Cd*y6lI 文件信息 z C``G<TB 6m{3GKaW~
[m"X*ZF "47nc1T+n g_q{3PW. QQ:2987619807 ~p8!Kb6
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