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    [推荐]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-01
    摘要 DL'd&;6  
    $kxu;I  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 q4sl=`L5Sp  
    ",~ b2]ym  
    j}|N^A_ S  
    概述 e Z@Gu  
    K[Y c<Q  
    Wk/fB0  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 S}zC3  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 PU^[HC*K  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 gq H`GI  
    Hi]vHG(  
    %'{V%IXQ  
    I$aXnd6)  
    衍射级次的效率和偏振
    Q?* nuE  
    u{g]gA8s  
    * T JBPM,  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 {[Uti^)m%  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 "[awmZ:wo  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 I`/]@BdgY  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 "NxOOLL  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 vx04h~  
     Y[f,ia  
    m3U+ du  
    光栅结构参数 o{9?:*?7  
    e.h~[^zg  
    `[X6#` <  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 @AvM  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 sEoZ1E  
    •因此,选择以下光栅参数: :0nK`$'  
    - 光栅周期:250 nm nURvy}<r  
    - 填充系数:0.5 "I5uDFZR&  
    - 光栅高度:200 nm L&:M8xiA~$  
    - 材料n1:熔融石英  &|/vM.  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) !c\7  
    &@=u+)^-{  
    jz %;4e~t  
    ?O!]8k`1$  
    偏振状态分析 W=~id"XtJ  
    Bp &6x;MJf  
    _mw13jcN]  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 3|q2rA  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 ''_,S,.a20  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 H9sZR>(^  
    gB>(xY>LrA  
    0o;k?4aP.c  
    Pg7>ce  
    产生的极化状态 k& OC&  
    -_s%8l^  
    d "2wO[  
    et@">D%;]  
    s;s0}Td_1  
    其他例子 YQN.Ohtv*F  
    }bZ 8-v  
    M#ZT2~+CT  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 7`Qde!+C  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 n.@#rBKZ  
    % =y;L:S\p  
    (viWY  
    eUYZxe :6  
    光栅结构参数  dFzYOG1  
    QQ*gFP.Ao  
    O97VdNT8  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 Dq|GQdZ>o  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 yGRR8F5>(  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 E\ tL   
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 ^Fn%K].X  
    Hyf"iYv+  
    '[%jjUU  
    光栅#1 d60c$?"]a(  
    2v4W6R  
    wXz\NGW  
    |ribWCv0  
    5Wo5 n7o  
    •仅考虑此光栅。 ;;M"hI3@  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 2bkJ /u`i  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 k<!<<,Z  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 iZC>)&ax  
    F9%,MSt  
    7vw;Egd@@-  
    假设光栅参数: xg?auje  
    •光栅周期:250 nm { E^U6@  
    •光栅高度:660 nm 3+ e4e  
    •填充系数:0.75(底部) ,'=hjIel  
    •侧壁角度:±6° MBlBMUJk  
    •n1:1.46 |4 Qx=x>  
    •n2:2.08 04~}IbeJ  
    |88CBiu}  
    光栅#1结果 N0nj`  
    jKS!'?  
    W8y$ Ve8m  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 @' d6iYk_  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 \Yd4gaY\o  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    Nfg{,/ O  
    7N| AA^I  
    &Bm&i.r  
    -;vT<G3  
    光栅#2 l~NEGb  
    *Z >  
    zz&vfO31J  
    se#@)LtZ  
    f9a$$nb3`  
    •同样,只考虑此光栅。 =MxpH+spI  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 Xo\S9,s{  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 fCg@FHS&^  
    假设光栅参数: Je 31".  
    •光栅周期:250 nm *,0+RASvq  
    •光栅高度:490 nm ?,>5[Ha^?  
    •填充因子:0.5 V:OiW"/  
    •n1:1.46 &sdx`,  
    •n2:2.08
    bJwc1AJgH  
    Y[@0qc3UO  
    光栅#2结果 #jm@N7OZ  
    |g!`\@O  
    C B/r]+4  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 Wxn#Rk#>  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 .;g}%C  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 #3+~.,X9  
    p31oL{D  
    )b9_C O}  
    文件信息 !VRo*[yD@  
    uFo/s&6K  
    "Vy WT  
    V'I T1~  
    e1UITjy  
    QQ:2987619807 </=3g>9Z  
     
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