切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1989阅读
    • 0回复

    [推荐]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6902
    光币
    28660
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-01
    摘要 53d8AJ_@X  
    +]-~UsM  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 Hc1S:RW  
    [mKPOg-t  
    UD`bK a`E  
    概述 T+7O+X#  
    &*\wr} a!  
    _p/ _t76s  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 t W ;1  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 gT$`a  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 ( /{Wu:e  
    /k3v\Jq{  
    g$<Sh.4A  
    H(U`S  
    衍射级次的效率和偏振
    m.ev~Vv~  
    I!?-lI@(  
    s(W]>Ib  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 9 |v3lGK(  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 LY b@0O<w  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 45e-A{G~  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 fQcJyX  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 cl kL)7RQ  
    v0)I rO  
    $eUI.j(HU  
    光栅结构参数 2TB>d+  
    pEf1[ zq  
    Q$!dPwDg  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 t'Zq>y;yg  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 {\3ZmF  
    •因此,选择以下光栅参数: 555j@  
    - 光栅周期:250 nm \^O&){q(9  
    - 填充系数:0.5 %fB]N  
    - 光栅高度:200 nm {%W'Zx  
    - 材料n1:熔融石英 K*^3FO}JG  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) NuZiLtC  
    IzPnbnS}  
    aMdWT4  
    53efF bo  
    偏振状态分析 o ?z A'5q  
    yClX!OL  
    BEWDTOY[  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 RV^ N4q4  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 jd]Om r!  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 <4r3ZV;'  
    *HiN:30DZ  
    .!|\Y!]^r  
    g{{DC )>  
    产生的极化状态 j4pxu/2  
    XFJGL!wWm[  
    oD1rt>k  
    \\w<.\Yh  
    aX CVC<l  
    其他例子 f@Oi$9CZn  
    66ULR&D8  
    Sep/N"7~t  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 gEr@L  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 *K}h >b 1  
    ;ED` 7  
    )LOV)z|}  
    b ]A9$-  
    光栅结构参数 QX`Qnk|Y  
    (%p@G5GU  
    9BW"^$  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 )wT @`p"4  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 FFC"rG  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 JK.<(=y\  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 :Y4 m3|  
    i`k{}!F  
    #Y|t,x;  
    光栅#1 oUSv)G.zb  
    _=Y?' gHH  
    2Kg-ZDK8  
    s>pM+PoGYd  
    6l Suzu  
    •仅考虑此光栅。 7 LotN6H  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 C?OqS+  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 V.\12P  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 4$W}6 v  
    +g.lLb*#  
    3.0t5F<B  
    假设光栅参数: QVT|6znw  
    •光栅周期:250 nm 4eD>DW  
    •光栅高度:660 nm kH4xP3. i  
    •填充系数:0.75(底部) ;q5.\m:  
    •侧壁角度:±6° cmcR @zv  
    •n1:1.46 czG]rl\1  
    •n2:2.08 .I h'&  
    Sm5 T/&z  
    光栅#1结果 H@|h Nn$@  
    Al}D~6MD  
    0(o{V:l%Z|  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 g.,_E4L  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 V'iT>  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    6B8g MO  
    ,S V34+(  
    MP6Py@J45  
    +H**VdM6s  
    光栅#2 b f j]Q  
    n[E/O}3& /  
    |#i|BVnoE  
    n.l7V<1  
    Od]B;&F  
    •同样,只考虑此光栅。 BbC aIt  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 H$M{thW  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 4Pv Pp{Y  
    假设光栅参数: d_] sV4[  
    •光栅周期:250 nm OAiSE`  
    •光栅高度:490 nm v\ <4y P  
    •填充因子:0.5 ]8o[&50y  
    •n1:1.46 N+nv#]{  
    •n2:2.08
    %=*nJvYS  
    wSPwa,)7s  
    光栅#2结果 Ljs4^vy <J  
    ;N?raz2mEi  
    '_fj:dy  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 .~AQxsGH  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 bAwFC2jO[  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 H"b}lf  
    o,yZ1"  
    0J z|BE3Y  
    文件信息 x%J.$o[<_  
    EC8Fapy  
    }}X<e  
    ]w/%>  
    f?BApm  
    QQ:2987619807 ozUsp[W>  
     
    分享到