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    [推荐]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-01
    摘要 _|I`A6`=  
    9vI<\ Xa  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 LeaJ).Maw  
    YML]pNB  
    (rm*KD"]  
    概述 R]<N";-  
    T1#r>3c\  
    ]-"G:r  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 xTg=oq  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 y$[:Kh,  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 chA7R'+LA  
    =bJ7!&  
    ;7E c'nC4  
    ble[@VW|  
    衍射级次的效率和偏振
    y7~y@2  
    7m:ZG  
    'M!M$<j  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 T7~H|%  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 {e p(_1  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 h0a|R4J  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 F<TIZ^gFP  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 ~sT1J|  
    N>xdX5  
    75^AO>gt   
    光栅结构参数 v6P2v  
    5y8VA4L/o  
    g5:?O,?  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 Z@,[a  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线  G& m~W  
    •因此,选择以下光栅参数: L Q0e@5  
    - 光栅周期:250 nm GRh430V [  
    - 填充系数:0.5 6GA+xr=  
    - 光栅高度:200 nm @2g <d  
    - 材料n1:熔融石英 S#:l17e3  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) \zKO5,qw  
    ;2P  
    _;M3=MTM9  
    %+^Qs\j  
    偏振状态分析 T>68 ,; p  
     stQ_Ke  
    8W Etm}  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 Z+=M_{`{  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 G>Hg0u0!,  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 _ee<i8_Va  
    Q[{RN ab  
    ]f_`w81[  
    R.!.7dO  
    产生的极化状态 p(6 sN=  
    9l(T>B2a  
    *:"@  
    +z 4E:v  
    ;y_]w6|n  
    其他例子 Zm0'p!  
    dci<Rz`h  
    b~qH/A}h  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 " T9UedZ  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 iX[g  
    .,20_<j%=  
    5|5p -B  
    IC?(F]$%>  
    光栅结构参数 Yt?]0i+  
    /,`OF/%  
    H@1}_d  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 C;j& Vbf  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 IVY)pS"pR"  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 Re&"Q8I.8  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 v& bG`\!  
    Evd|_W-  
    (zh[1[a  
    光栅#1 0(*L)s,5  
    wZs 2 aa  
    f ,4erTBH  
    tv26eK 38  
    QFMA y>Gdn  
    •仅考虑此光栅。 Ek1c>s,t  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 Nte$cTjX  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。  /y wP 0  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 N<1+aL\  
    `XpQR=IOMb  
    S*$?~4{R  
    假设光栅参数: +:"0 %(  
    •光栅周期:250 nm X'-Yz7J?o  
    •光栅高度:660 nm le]~Cy0  
    •填充系数:0.75(底部) i[@13kr  
    •侧壁角度:±6° ] |nW  
    •n1:1.46 1)MDnODJ  
    •n2:2.08 ZP5 !O[Ut  
    B0%=! &  
    光栅#1结果 X\/M(byn  
    r *]pL<  
    >=|p30\b  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 BjeD4  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 vaGF(hfTA  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    kw@^4n+M  
    U3N9O.VC  
    w7o`B R  
    ,T`,OZm  
    光栅#2 g (WP  
    y;uR@{  
    8lL|j  
    H=Ilum06  
    o$buoGSPc  
    •同样,只考虑此光栅。 C!a1.&HHZ7  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 i5t6$|u:&m  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 S.)Jp -&K  
    假设光栅参数: 94?WL  
    •光栅周期:250 nm p*&0d@'r  
    •光栅高度:490 nm C!*.jvhT  
    •填充因子:0.5 "GZi eI D  
    •n1:1.46 2h'Wu qO  
    •n2:2.08
    Iz5NA0[=2  
    \7uM5 k}l  
    光栅#2结果 |7tD&9<  
    yjg&/6  
    L_NiU;cr%  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 `X}:(O^GO  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 +7^p d9F.  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 v$W[(  
    dy&UF,l6  
    ]MV8rC[\  
    文件信息 N);w~)MYh  
    Wc[,kc  
    o^\Pt<~W  
    6JDHwV  
    /,I cs  
    QQ:2987619807 1!~cPD'F  
     
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