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    [推荐]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-01
    摘要 ~M\s!!t3  
    &R8zuD`#  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 5fLCmLM`  
    {<]abO  
    I@z{G r  
    概述 M.128J+xfS  
    <e=0J8V8,i  
    -\I0*L'$|\  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 /qp`xJ  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 gr S,PKH  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 :J<S-d=  
    ML'R[~|  
    2?"9NQvz  
    x x 'XR'zK  
    衍射级次的效率和偏振
    S\ li<xl  
    SKS[Lf  
    "TxXrt%>A  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 xp39TiXJ*  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 >?DrC/  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 lS,Hr3Lz  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 J L Z  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 OC [a?#R1  
    te:VYP  
    a{8GT2h`4  
    光栅结构参数 d5i /:  
    7 yi>G  
    y.~5n[W  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 ~k J#IA  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 ]xS< \{og  
    •因此,选择以下光栅参数: FIS-xpv$  
    - 光栅周期:250 nm z* `81  
    - 填充系数:0.5 )Q\;N C=4  
    - 光栅高度:200 nm ,~3sba  
    - 材料n1:熔融石英 xCQ<G{;C  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) B]hZ4.B1  
    r|P4|_No  
    p\,lbrv  
    ybB}|4d&   
    偏振状态分析 G +YF  
    1'd "O @  
    q3I,3?_  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 H(g&+Wcu=  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 CHLMY}O0  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 INkrG.=u  
    Ii K&v<(]  
    d-  ]%  
    T @z$g  
    产生的极化状态 [oYe/<3  
    g%+nMjif  
    %bv<OMD  
    8!T^KMfz  
    # AY+[+  
    其他例子 !k[ zUti  
    rkzhN59;  
    8C YJR/  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 q=EQDHmh  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 ~#-`Qh  
    -OziUM1qs  
    u&g} !Smc8  
    fG.w;Aemv5  
    光栅结构参数 ilNm\fQ.  
    3 $RII -}>  
    |6uEf/*DX  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 -7yX>Hjl  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 n_w,Ew,>5  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 Mr&]RTEE  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 /wK7l-S  
    0m@S+$v  
    CBvBBt*  
    光栅#1 "=RB #  
    {=(4  
    }x8fXdd  
    z=u4&x|xA  
    #VrT)po+  
    •仅考虑此光栅。 >U}~Hv]  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 H37Z\xS  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 t?{ B*  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 X)|%[aX}q  
    c1z5t]d   
    Q/+a{m0 f  
    假设光栅参数: !YoKKG~_0  
    •光栅周期:250 nm *]EcjK%  
    •光栅高度:660 nm G/D{K$=t~  
    •填充系数:0.75(底部) Mu:H'$"'H  
    •侧壁角度:±6° B 51LZP  
    •n1:1.46 _}\&;  
    •n2:2.08 T<ua0;7  
    6jnRC*!?  
    光栅#1结果 Pgo5&SQb  
    kBT cN D|  
    H11Wb(6Wu  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 Kzmgy14o  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 -Wig k['v  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    `W/6xm(X5;  
    '|+_~ZO*d  
    vXf#gX!Y  
    6 tzn% ?  
    光栅#2 {!="PnB  
     &wj Ob  
    \jfW$TtZm  
    Lf,gS*Tg?  
    71 2i |  
    •同样,只考虑此光栅。 kxO$Uk&TX  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 DnTM#i:  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 PF+`3  
    假设光栅参数: |[V(u  
    •光栅周期:250 nm IEA[]eik>  
    •光栅高度:490 nm n[clYi@e  
    •填充因子:0.5 ^.4<#Qs  
    •n1:1.46 <&NR3^Eq  
    •n2:2.08
    65}:2l2<  
    S }|ea2  
    光栅#2结果  {<i!Pm  
    hIw*dob  
    6-^+btl)#  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 (O&b:D/Y  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 QR#,n@fE  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 ;xRyONt  
    qR1ez-#K  
    {Cd*y6lI  
    文件信息 z C``G<TB  
    6m{3GKaW~  
    [m"X*Z F  
    "47nc1T+n  
    g_q{3PW.  
    QQ:2987619807 ~p8!Kb6  
     
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