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摘要 DL'd&;6 $kxu;I 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 q4sl=`L5Sp ",~ b2]ym j}|N^A_ S 概述 eZ@Gu
K[Yc<Q Wk/fB0 •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 S}zC3 •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 PU^[HC*K •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 gq
H`GI Hi]vHG(
%'{V%IXQ I$aXnd6) 衍射级次的效率和偏振 Q?*
nuE u{g]gA8s *TJBPM, •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 {[Uti^)m% •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 "[awmZ:wo •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 I`/]@BdgY •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 "NxOOLL •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 vx04h ~
Y[f,ia m3U+ du 光栅结构参数 o{9?:*?7 e.h~[^zg `[X6#`< •此处探讨的是矩形光栅结构。 @AvM •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 sEoZ1E •因此,选择以下光栅参数: :0nK`$' - 光栅周期:250 nm nURvy}<r - 填充系数:0.5 "I5uDFZR& - 光栅高度:200 nm L&:M8xiA~$ - 材料n1:熔融石英 &|/vM. - 材料n2:TiO2(来自目录) !c\7 &@=u+)^-{ jz
%;4e~t ?O!]8k`1$ 偏振状态分析 W=~id"XtJ Bp&6x;MJf _mw13jcN] •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 3|q2rA •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 ''_,S,.a20 •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 H9sZR>(^ gB>(xY>LrA
0o;k?4aP.c Pg7>ce 产生的极化状态 k&O C& -_s%8l^
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"2wO[ et@">D%;] s;s0}Td_1 其他例子 YQN.Ohtv*F }bZ
8-v M#ZT2~+CT •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 7`Qde!+C •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 n.@#rBKZ %=y;L:S\p (viWY eUYZxe :6 光栅结构参数 dFzYOG1 QQ*gFP.Ao O97VdNT8 •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 Dq|GQdZ>o •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 yGRR8F5>( •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 E\ tL •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 ^Fn%K].X
Hyf"iYv+ '[%jjUU 光栅#1 d60c$?"]a( 2v4W6R
wXz\NGW |ribWCv0 5Wo5n7o •仅考虑此光栅。 ;;M"hI3@ •假设侧壁表现出线性斜率。 2bkJ /u`i •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 k<!<<,Z •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 iZC>)&ax F9%,MSt 7vw;Egd@@- 假设光栅参数: xg?auje •光栅周期:250 nm { E^U6@ •光栅高度:660 nm 3+e4e •填充系数:0.75(底部) ,'=hjIel •侧壁角度:±6° MBlBMUJk •n1:1.46 |4Qx=x> •n2:2.08 04~}IbeJ |88CBiu} 光栅#1结果 N0nj` jKS!'? W8y$Ve8m •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 @'
d6iYk_ •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 \Yd4gaY\o •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 Nfg{,/O 7N|
AA^I &Bm&i.r -;vT<G3 光栅#2 l~NEGb *Z >
zz&vfO31J se#@)LtZ f9a$$nb3` •同样,只考虑此光栅。 =MxpH+spI •假设光栅有一个矩形的形状。 Xo\S9,s{ •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 fCg@FHS&^ 假设光栅参数: Je 31". •光栅周期:250 nm *,0+RAS vq •光栅高度:490 nm ?,>5[Ha^? •填充因子:0.5 V:OiW"/ •n1:1.46 &sdx`, •n2:2.08 bJwc1AJgH Y[@0qc3UO 光栅#2结果 #jm@N7OZ |g!`\@O C B/r]+4 •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 Wxn#Rk#> •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 .;g}%C •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 #3+~.,X9 p31oL{D
)b9_C
O} 文件信息 !VRo*[yD@ uFo/s&6K
"Vy WT V'I T1~ e1UITjy QQ:2987619807 </=3g>9Z
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