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    [推荐]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-01
    摘要 .;slrg(5F  
    eycV@|6u*  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 ve%l({  
    vPsq<l}  
    #{w5)|S#JD  
    概述 ;o >WXw  
    (rMZ  
    MOLO3?H(  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 ~'[jBn)  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 qC.i6IL  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 S.]MOB dt  
    Ma_=-cD  
    F '#^`G9  
    irmwc'n]  
    衍射级次的效率和偏振
    ,TJ/3_lH  
    'Q`C[*c  
    _3U|2(E  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 ni0LQuBp  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 uWrFunh%  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 2H>aC wfX  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 {jhcZ"#>\  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 Z~R dFC  
    SW=aHM  
    #4q1{)=  
    光栅结构参数 2*YP"Ryh  
    ?.j,Bq5At  
    =g[H]-Ee  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 J=V yyUB  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 4 4<v9uSK  
    •因此,选择以下光栅参数: X?kPi&ru  
    - 光栅周期:250 nm :o<N!*pT  
    - 填充系数:0.5 rr)9Y][l}  
    - 光栅高度:200 nm 'ucGt  
    - 材料n1:熔融石英 4)E|&)-fu8  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) tgfM:kzw  
    iBS0rT_  
    L77EbP`P  
    }JH`' &3  
    偏振状态分析 v0u\xX[H;  
    Y 0]Kl^\A  
    <]c#)xg  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 `:R-[>5P8  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 pr)K{~m]{<  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 =E; #OZO  
    Gzj3Ka  
    6_Fpca3L  
    +&?'KZ+Z_v  
    产生的极化状态 &E`9>&~J  
    5(KG=EHj_  
    6l<1A$BQ  
    EuLXtq  
    tw]/,>\G  
    其他例子 uH0#rgKt  
    b%<164i  
    g"w)@*?K  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 o;*]1  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 Ys)+9yPPn  
    5UPPk$8 `  
    h1E PaL  
    *WD;C0?z  
    光栅结构参数 v^;-@ddr  
    l~CZW*/  
    exsQmbj* %  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 Cv0&prt  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 >@z d\}@W  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 2(hvv-  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 Ko@zk<~"[  
    KxGKA  
    )K8P+zn~  
    光栅#1 w< v1 N  
    uSH> $;a  
    qjJ{+Rz2  
    u0wn=Dg  
    2\DTJ`Y,  
    •仅考虑此光栅。 4n#YDZ  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 9/FG,9  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 _s2m-jm7  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 7&=-a|k~  
    ,I/2.Q})[  
     bkxk i@t  
    假设光栅参数: .@fK;/OuC  
    •光栅周期:250 nm U0!^m1U:  
    •光栅高度:660 nm c6f|y_ 2  
    •填充系数:0.75(底部) F\zkyk 4  
    •侧壁角度:±6° -m E  
    •n1:1.46 n9N#&Q"7m  
    •n2:2.08 \FIa,5k8  
    t1G1(F#&%  
    光栅#1结果 ~?2rGE  
    Y]hV-_2+Do  
    2f`WDL  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 71JM [2  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 I93 ~8wQ  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    e 4 p*51ra  
    A Z]P+v  
    &G0l&8pa  
    14mXx}O  
    光栅#2 tniPEmeS  
     )GB3=@  
    fui4@  
    <WZ1-  
    Oqd"0Qt-  
    •同样,只考虑此光栅。 pESB Il  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 Uzan7A  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 z0\;m{TH  
    假设光栅参数: e} sc]MTM  
    •光栅周期:250 nm b`(yu.{Jn  
    •光栅高度:490 nm MZ;"J82p  
    •填充因子:0.5  %zA2%cq<  
    •n1:1.46 2N L:\%wz  
    •n2:2.08
    6{b%Jfo  
    -}=@ *See#  
    光栅#2结果 pe\Txg6  
    * i=?0M4S  
    "z^BKb5  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 _F}IF9{?G  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 ):/<H  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 g4~X#}:z$O  
    [$hptQv  
    z*Myokhf  
    文件信息 >k$[hk*~  
    ?l)}E  
    yq/[/*7^  
    r24\DvS  
    kA7~Yu5|  
    QQ:2987619807 p_rN1W Dd'  
     
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