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摘要 .;slrg(5F eycV@|6u* 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 ve%l({ vPsq<l} #{w5)|S#JD 概述 ;o >WXw (rMZ MOLO3?H( •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 ~'[jBn) •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 qC.i6IL •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 S.]MOB dt Ma_=-cD
F '#^`G9 irmwc'n] 衍射级次的效率和偏振 ,TJ/3_ lH 'Q`C[*c _3U|2(E •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 ni0LQuBp •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 uWrFunh% •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 2H>aC
wfX •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 {jhcZ"#>\ •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 Z~RdFC
SW=aHM #4q1{)= 光栅结构参数 2*YP"Ryh ?.j,Bq5At =g[H]-Ee •此处探讨的是矩形光栅结构。 J=VyyUB •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 44<v9uSK •因此,选择以下光栅参数: X?kPi&ru - 光栅周期:250 nm :o<N!*pT - 填充系数:0.5 rr)9Y][l} - 光栅高度:200 nm 'ucGt - 材料n1:熔融石英 4)E|&)-fu8 - 材料n2:TiO2(来自目录) tgfM:kzw iBS0rT_ L77EbP`P }JH`'&3 偏振状态分析 v0u\xX[H;
Y 0]Kl^\A <]c#)xg •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 `:R-[>5P8 •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 pr)K{~m]{< •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 =E;
#OZO Gzj3Ka
6_Fpca3L +&?'KZ+Z_v 产生的极化状态 &E`9>&~J 5(KG=EHj_
6l<1A$BQ EuLXtq tw]/,>\G 其他例子 uH0#rgKt b%<16 4i g"w)@*?K •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 o;*]1 •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 Ys)+9yPPn 5UPPk$8` h1E
PaL *WD;C0?z 光栅结构参数 v^;-@ddr l~ CZW*/ exsQmbj* % •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 Cv0&prt •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 >@z d\}@W •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 2(hvv- •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 Ko@zk<~"[
KxGKA )K8P+zn~ 光栅#1 w<v1N uSH>$;a
qjJ{+Rz2 u0wn=Dg 2\DTJ`Y, •仅考虑此光栅。 4n#YDZ •假设侧壁表现出线性斜率。 9/FG,9 •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 _s2m-jm7 •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 7&=-a|k~ ,I/2.Q})[ bkxk
i@t 假设光栅参数: .@fK;/OuC •光栅周期:250 nm U0!^m1U: •光栅高度:660 nm c6f|y_2 •填充系数:0.75(底部) F\zkyk4 •侧壁角度:±6° -mE •n1:1.46 n9N#&Q"7m
•n2:2.08 \FIa,5k8 t1G1(F#&% 光栅#1结果 ~?2rGE Y]hV-_2+Do 2f`WDL •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 71JM
[2 •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 I93 ~8wQ •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 e 4 p*51ra A Z]P+v &G0l&8pa 14mXx}O 光栅#2 tniPEmeS )GB3=@
fui4@ <WZ1- Oqd"0Qt- •同样,只考虑此光栅。
pESB Il •假设光栅有一个矩形的形状。 Uzan7A •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 z0\;m{TH 假设光栅参数: e} sc]MTM •光栅周期:250 nm b`(yu.{Jn •光栅高度:490 nm MZ;"J82p •填充因子:0.5
%zA2%cq< •n1:1.46 2N
L:\%wz •n2:2.08 6 {b%Jfo -}=@
*See# 光栅#2结果 pe\Txg6 *i=?0M4S "z^BKb5 •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 _F}IF9{?G •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 ):/<H •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 g4~X#}:z$O [$hptQv
z*Myokhf 文件信息 >k$[hk*~ ?l)}E
yq/[ /*7^ r24\DvS kA7~Yu5| QQ:2987619807 p_rN1W
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