切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    12345
    • 6730阅读
    • 41回复

    [分享]用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线991518
    高级工程师
     
    发帖
    1023
    光币
    10907
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-08-24
    关键词： 光刻机几何光学光学设计柱面镜
    摘要：均匀照明是投影光刻机中实现光刻线条高度均一性的重要条件。采用微透镜阵列作为照明匀光器件，能够 在实现矩形照明光斑的同时获得极高的远场分布均匀性。基于微透镜阵列现有的加工工艺，设计出二维方向分开 的柱面微透镜阵列，并通过优化设计，克服了微透镜之间的接缝在远场光场处产生的中心亮线。仿真分析表明，所 设计的微透镜阵列的远场分布不均匀性达到0.85％。 BKE\SWu  
    hsTFAfa'  
    关键词：几何光学；微柱面镜阵列；光学设计；照明均匀性
    附件: 用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计.rar (1733 K) 下载次数:127 ，售价:2光币[记录]
    共2条评分 ，光币+10
    mang2004 光币 +5 - 2020-08-25
    cyqdesign 光币 +5 - 2020-08-24
     
    回复
    举报
    分享到
    离线optifdtd
    技术专家
    发帖
    645
    光币
    14506
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2020-08-25
    学习了解。。。。。。
    回复
    举报
    离线ruanpeiz
    实习生
    发帖
    27
    光币
    11
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2020-08-27
    好东西  学习一下
    回复
    举报
    离线ruanpeiz
    实习生
    发帖
    27
    光币
    11
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 2020-08-27
    感谢 感谢
    回复
    举报
    离线jiatong
    实习生
    发帖
    15
    光币
    94
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 2020-08-29
    感谢！ MMMqG`Px  
    回复
    举报
    离线wuyy1227
    实习生
    发帖
    7
    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 5楼 发表于: 2020-08-31
    学习了！
    回复
    举报
    离线lzj421223
    实习生
    发帖
    21
    光币
    2
    光券
    0
    只看该作者 6楼 发表于: 2020-09-02
    学习了！！！谢谢
    回复
    举报
    离线hale1987
    技术员
    发帖
    299
    光币
    16
    光券
    0
    只看该作者 7楼 发表于: 2020-09-08
    感谢！
    回复
    举报
    离线寒夜
    高级工程师
    发帖
    640
    光币
    10703
    光券
    0
    只看该作者 8楼 发表于: 2020-09-09
    谢谢分享。
    回复
    举报
    离线居安思危
    技术员
    发帖
    6
    光币
    290
    光券
    0
    只看该作者 9楼 发表于: 2020-09-10
    感谢，好东西，学习一下
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表
    12345