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    [分享]用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计 [复制链接]

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    离线991518
    高级工程师
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-08-24
    关键词： 光刻机几何光学光学设计柱面镜
    摘要：均匀照明是投影光刻机中实现光刻线条高度均一性的重要条件。采用微透镜阵列作为照明匀光器件，能够 在实现矩形照明光斑的同时获得极高的远场分布均匀性。基于微透镜阵列现有的加工工艺，设计出二维方向分开 的柱面微透镜阵列，并通过优化设计，克服了微透镜之间的接缝在远场光场处产生的中心亮线。仿真分析表明，所 设计的微透镜阵列的远场分布不均匀性达到0.85％。 X6+qpp  
    x3ERCqTR  
    关键词：几何光学；微柱面镜阵列；光学设计；照明均匀性
    附件: 用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计.rar (1733 K) 下载次数:127 ，售价:2光币[记录]
    共2条评分 ，光币+10
    mang2004 光币 +5 - 2020-08-25
    cyqdesign 光币 +5 - 2020-08-24
     
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    离线optifdtd
    技术专家
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-08-25
    学习了解。。。。。。
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    离线ruanpeiz
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-08-27
    好东西  学习一下
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    离线ruanpeiz
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    只看该作者 3楼 发表于: 2020-08-27
    感谢 感谢
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    离线jiatong
    实习生
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    只看该作者 4楼 发表于: 2020-08-29
    感谢！ iyVB3:M  
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    离线wuyy1227
    实习生
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    只看该作者 5楼 发表于: 2020-08-31
    学习了！
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    离线lzj421223
    实习生
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    只看该作者 6楼 发表于: 2020-09-02
    学习了！！！谢谢
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    离线hale1987
    技术员
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    只看该作者 7楼 发表于: 2020-09-08
    感谢！
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    离线寒夜
    高级工程师
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    只看该作者 8楼 发表于: 2020-09-09
    谢谢分享。
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    离线居安思危
    技术员
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    只看该作者 9楼 发表于: 2020-09-10
    感谢，好东西，学习一下
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