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    [求助]滤光片镀膜后出现发雾状况 [复制链接]

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    离线光迹
    助理工程师
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-08-22
    昨天在群里看到有同行发了一个问题，650的短波通滤光片，镀膜后发现有发雾；工艺条件：加温110℃，TIO2/SIO2搭配；可能信息有点少，有没有哪位同行之前遇到过这种问题的，望分享一下经验。
    本帖提到的人: @ouyuu
     
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-08-23
    温度，真空度，离子源能量相关。 yPf?"W  
    离子源能量越高越好，真空度越高越好，温度要慢慢试
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    离线tony肖
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    只看该作者 2楼 发表于: 2021-06-23
    和温度有很大关系
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    离线gaofei555
    实习生
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    只看该作者 3楼 发表于: 2022-06-20
    充氧量
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    离线奔跑的小骏马
    助理工程师
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    只看该作者 4楼 发表于: 2022-06-21
    有没有用离子源？发雾主要是氧化钛的工艺问题，吸收大了导致发雾。速率、充氧、离子源功率（用离子源情况下）
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