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[求助]滤光片镀膜后出现发雾状况 [复制链接]

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离线光迹

助理工程师

发帖: 264

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2020-08-22

昨天在群里看到有同行发了一个问题，650的短波通滤光片，镀膜后发现有发雾；工艺条件：加温110℃，TIO2/SIO2搭配；可能信息有点少，有没有哪位同行之前遇到过这种问题的，望分享一下经验。

本帖提到的人: @ouyuu

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离线ouyuu

发帖: 557

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只看该作者 1楼发表于: 2020-08-23

温度，真空度，离子源能量相关。
离子源能量越高越好，真空度越高越好，温度要慢慢试

离线tony肖

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只看该作者 2楼发表于: 2021-06-23

和温度有很大关系

离线gaofei555

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只看该作者 3楼发表于: 2022-06-20

充氧量

离线奔跑的小骏马

助理工程师

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只看该作者 4楼发表于: 2022-06-21

有没有用离子源？发雾主要是氧化钛的工艺问题，吸收大了导致发雾。速率、充氧、离子源功率（用离子源情况下）

离线看狼道，睡管道

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只看该作者 5楼发表于: 2024-12-24

回 tony肖的帖子

tony肖:和温度有很大关系 (2021-06-23 20:51) JNX7]j\

温度多少合适

离线看狼道，睡管道

发帖: 19

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只看该作者 6楼发表于: 2024-12-24

请问解决了吗