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摘要 fd2T=fz- w+{LAS 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 Tu 7QCr5* veh<R]U O1mKe%'| WeiFmar 本用例展示了...... >e"#'K0?\ •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: N8FF3}>
g - 矩形光栅界面 VU d\QR- - 过渡点列表界面 XvlU*TO~(~ - 锯齿光栅界面
U`m54f@U - 正弦光栅界面 W{gb:^;zb •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 1y4 Ue~CwFOc 光栅工具箱初始化 k)Qtfj}uij •初始化 *`RkTcG - 开始 Y.r+wc] 光栅 C 6AUNRpl 通用光栅光路图 \;"=QmRD%: •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, Vy,DN~ag 可直接选择特定的光路图。 ox (%5c)b| %1$,Vs<RH #ucBo<[ igR";OQk 光栅结构设置 [1
9,&]z •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 7x4PaX( Np0u,t%vs •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 46&/gehr •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 *ppffz s}% M4 7VF LJrt 'CkIz"Wd •例如,选择第一个界面上的堆栈。 9 j9TPyC/2 :A'y+MnK< 堆栈编辑器 ;VO:ph4Aj •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 %Q dn •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 [mGLcg6Fw nK%LRcAs "~C,bk 3x'|]Ns 矩形光栅界面 5S--'=fu+ 7Da` •一种可能的界面是矩形光栅界面。 RuVGG) •此类界面适用于简单二元结构的配置。 _8_R 1s •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 b7?hI •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 Y\?"WGL)p •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 C={Y;C1 P! #[mio cP_.&!T JB[~;nLlC 矩形光栅界面 Q| ?L*Pq2I •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 J,y[[CdH` •所选界面在视图中以红色突出显示。 >_"an~Ss orMwAV •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 'Xq|Kf ( •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 'F0e(He@, ;P%1j| 7 •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 O5nD+qTQ# •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 XXn67sF/ •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 R3&Iu=g G^4hd i3@ \$T(t/$9 M {T-iW" MJ
[m ::{Q1F 矩形光栅界面参数 fN^8{w/O
•矩形光栅界面由以下参数定义 70tH:Z)" - 狭缝宽度(绝对或相对) !/i{l - 光栅周期 c?[I?ytl - 调制深度 dufu|BL|} •可以选择设置横向移位和旋转。 e_ANUll1 c>:wd@w 3>`mI8$t .Una+Z 高级选项和信息 RF53J yt •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 9BBmw(M} •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 Eq9x2 •可以设置总级次数或衰逝波级次数 ""F5z,' (evanescent orders)。 7XLtN "$$ •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 Y}|X|!0x •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 iYm-tsER; PB`Y
g {~"/Y@&]R /,&<6c-Q@W •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 qCpp6~]Um •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 9YQb& •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 1.{z3_S21: •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 O6a<`]F O-GJ- <~'"<HwtK qqr?!vem6 过渡点列表界面 Pz |>"' •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 /dQl)tL •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 QIvVcfM^ •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 O{G?;H$ 1&evG-#<: 6x[}g 过渡点列表参数 j94=hJVKi •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 C>j@,G4 •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 a /l)qB# Ln<`E|[29 lC("y'
:: cr?Q[8%t1 •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 L Mbn •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 ex9g?*Q •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 Ou!2[oe@M aweV#j(y 2%@4] E=CsIK 高级选项及信息 #Z`q+@@]A •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 ,+vy,<e& m=A(NKZ
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