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摘要 Sf9+TW YSbN=Rj 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 R9(^CWs bX,Z<BvbF 0W> ",2|z RS~oSoAE 1. 建模任务 \#slZ;&s 1a<~Rmcil J$0*K+m I8y\D, 2. 结果 @
55Y2 C$8=HM3 6%TV X h(BN6ZrzKd 3?:}lY<, K\G|q}E/1 3. 文件和技术信息 vJ!t.Vou g:HIiGN0Ic ]P.S5s' 5s;#C/ZZ Ne%X:h VX:15705182053 ~0L>l J
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