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摘要 P.mz$M 6}"P m 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 1P(rgn:8e YG , :iJ+ImBpK 6j{9\
R 1. 建模任务 eeb`Ao ?WE#%W7U 2iHD$tw 3/V&PDC*' 2. 结果 O\;Z4qn2= U8L%=/N>B "mc/fp PPO*&=!] J'9hzag ~ *RG|4# 3. 文件和技术信息 4eTfb eAN]*:]g c'n EbelE -b+VzVJZ _MQ) VX:15705182053 o-\ K]
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