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摘要 eCU:Q 2>xF){` 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 X8a/ `Y, a
od-3"7[ NqazpB* u^+7hkk 1. 建模任务 jjRi*^d9 B
dj!ia;H *SbMqASv4G %op**@4/t\ 2. 结果 K( c\wr\6 ah4N|zJ>v %A9NB! Pe_W;q. by1<[$8r z1 |TC 3. 文件和技术信息 urs,34h pSH=%u> TVtvuvQ2K L2[($l YNyk1cE VX:15705182053 5,lEx1{_
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