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摘要 -]!zj#& s^zX9IVnp 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 3#Qek2 SEXmVFsQ /?_5!3K J fZ[uNe[| 1. 建模任务 L7OFZ|gUz 4B$|UG C<yjGtVD ?CSv;: 2. 结果 cVuT|b^ 45U!\mG (Y:?qy U C..)9 t*(buAx C|-QU 3. 文件和技术信息 2!Sl!x+i\' o%)38T*n3 A|
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