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摘要 |$IL:W6 _y6iR&&x 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 egA*x*8 {06-h %qr ]XlBV-@b {9 |*au(K 1. 建模任务 |) ~-Wy qm/>\4eLt $LuU AEj%8jh 2. 结果 :!t4.ko s%R,]q k*2khh- $s1/Rmw DFZ0~+rh ehB'@_y 3. 文件和技术信息 m.ka%h$ pFMjfWD,C Pw]+6 a(yWIgD\\ o8:9Yjs VX:15705182053 V!. Y M)B
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