摘要
0]L"H<W +t.b` U`- AX INThJ cNrg#Asen& 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
_aphkeqd ~Ei<Z`3}7" 设计任务
^OdP4m(
>> ("@!>|H ;a/E42eN; {:s f7 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
s.rm7r@# `^vE9nW7 扫描参数空间以获取初始解
mDWG7 Asp \['Cj*e k VTM/hJmwJ +q4O D$} 初始解#1的参数优化
aXVFc5C\ 0K+ne0I dr(*T ks tIgcI
最终设计#1的性能分析
GyIV
Hby gR**@t=;j F
[M,]? !i50QA|(G 初始解#2的参数优化
>?b!QU*a PCvWS.{ txpgO1 0sqFF[i 最终设计#1的性能分析
}C:r9?T W!X@ 9x8fhAy}4 7_L;E~\ VirtualLab Fusion一瞥
LLo;\WGZ Y73C5.dNcE _w{Qtj~s| \RiP
VirtualLab Fusion中的工作流程
*hx .8R@2c`}Cs 构建
光栅结构
osRy e3 ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
+TJCLZ.. ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
2iOV/=+ 分析光栅
衍射效率
|=w@H]r ─ Grating Order Analyzer
^ c<Ve'- 使用参数运算寻找初始解
^y::jK ─ Usage of the Parameter Run Document
'V {W-W< 使用参数优化确定最终解
zdYjF| L#J1b!D&<6 VirtualLab Fusion技术
t!XwW$@ o4X{L`m 'NmRR]Q9 6'/ #+,d' 文件信息
3$ pX &pRREu:[4L =euni}7a UfGkTwoo= QQ:2987619807
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