摘要
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Z]oGE@!
n" cs.t#C 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
Wf"GA i 5`+9<8V 设计任务
cz/cY:o) C.ji]P#
qe&B$3D| la w$LL 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
G.~Q2O#T <FBBR2 扫描参数空间以获取初始解
fCF.P"{W" u)I\R\N
k'H[aYMA {FKr^)g 初始解#1的参数优化
#$-?[c$> : [328X2
u_
l?d j~K(xf 最终设计#1的性能分析
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>yXhP6 ,>7dIJqzw 初始解#2的参数优化
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6-SAS
~ZSX84~@u Fpn*]x 最终设计#1的性能分析
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w9VwZow ?
,s'UqR VirtualLab Fusion一瞥
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8tQL$CbO WPNw")t! VirtualLab Fusion中的工作流程
Fj~suZ` '@hUmrl 构建
光栅结构
oxN5:) ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
P(b[|QF ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
-V}xvSVg 分析光栅
衍射效率
dhLR#m30T ─ Grating Order Analyzer
uGb+ *tD 使用参数运算寻找初始解
O!f37n-TB ─ Usage of the Parameter Run Document
}EkL[H! 使用参数优化确定最终解
'G>XI;g =Q<7[ VirtualLab Fusion技术
.\ fpjQW p|A ?F0
>.`*KQdan K;sC#9m 文件信息
gMF6f% `14@dk
{\0V$#q 4jTO:aPh_ QQ:2987619807
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