摘要
`vbd7i .>X0 $# _ ^ JhncL 4?eO1=a 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
LUPh!)8 W#|30RU.G 设计任务
f&=WgITa z2.9l?"rfQ NY(z3G 3EY>XS 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
G`;YB Wi;wu* 扫描参数空间以获取初始解
Fa"/p_1 3y#U|&]{ yW=I*f !sTOo 初始解#1的参数优化
vk:k ~
OV~]-5gau h4iz(* r%:Q(|v? 最终设计#1的性能分析
6H]rO3[8 2`Dqu"TWh U{`Q_Uw@$: HpXQD; 初始解#2的参数优化
"Y1]6
Zu c6 f=r bmid;X| AhyV 最终设计#1的性能分析
YK{E=<: `d,v *ku}.n eb` ! VirtualLab Fusion一瞥
4uX|2nJ2!; B2kKEMdGg w'r?)WW$ `)aIFAW VirtualLab Fusion中的工作流程
On`T
pz/ .="/n8B 构建
光栅结构
B=<Z@u ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
)0 1,3J># ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
ZFxa2J~ ; 分析光栅
衍射效率
.#OD=wkN0 ─ Grating Order Analyzer
4Ou5Vp&y 使用参数运算寻找初始解
S-
N
[ ─ Usage of the Parameter Run Document
\jpm
使用参数优化确定最终解
\3hj/ m)q e VirtualLab Fusion技术
}x~1w:zHd \/8oua_) Sb|9U8h au;ZAXM| 文件信息
Ovhd%qV;Y vVyX[ZZ j3Yz=bsQ{c w=Yc(Y:h QQ:2987619807
qib4DT$v-6