摘要
hBaG*J{ saQo]6# aM#xy6:XG (G$Q\> 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
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Fe$o*r, 设计任务
0(Z:QqpU$ /P46k4M1U C8)s6 `fJ;4$4 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
0Ny +NE:6M 8ql<7RTM! 扫描参数空间以获取初始解
60e{]}Z '0_W<lGB Zn Rj}y >){}nlQf 初始解#1的参数优化
z-"P raP 9a sA-'fZ Al *yx_j g1 y@z8Z{ 最终设计#1的性能分析
Yb[)ETf^ #hu`X6s" j
b'M };Df >< 初始解#2的参数优化
jJ2{g> P0P ,qV 7$u fT?m~W^ >lek@euqw 最终设计#1的性能分析
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asy:[r" @ IDY7x27 JP
;SO VirtualLab Fusion一瞥
1sJz`+\ vtK.7AF ajM\\a? P-yVc2YH VirtualLab Fusion中的工作流程
!Zc#E, -sDl[ 构建
光栅结构
Su
+<mW ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
mT|r:Yr: ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
y0) mBCX 分析光栅
衍射效率
+J
A\by ─ Grating Order Analyzer
UxMei 使用参数运算寻找初始解
H3iYE~^# ─ Usage of the Parameter Run Document
`m"K_\w=/ 使用参数优化确定最终解
Gtvbm '*&V7: VirtualLab Fusion技术
heb{i5el U Q)^`Zj _KyhX| F`Z?$ 1 文件信息
hX-^h2eV 'fzJw j!0-3YKv GQjU="+ QQ:2987619807
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