摘要
k(MQ:9'| ?NL2|8 O1z>A ]n+:lsiV 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
q9OIw1xQr* SV.*Z|"^N 设计任务
QwhPN'U wdg[pt
/> HBt?cA ' Y, P-@( 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
)YZ41K5N <,m}TTq 扫描参数空间以获取初始解
,GK>|gNsb G
5)?! vjHbg#0 % \R~Lf+q 初始解#1的参数优化
\1tce`+ txi
m|) :7R\"@V4 $1axZ~8sS 最终设计#1的性能分析
O&}0 7( |PWLFiT(> 2]@U$E='s hJ|z8Sy@1 初始解#2的参数优化
toF@@% k2xjcrg ar6Z?v$ a@%FwfIu 最终设计#1的性能分析
qB8<(vBP+ ^0r@", Cnn,$R=/s 6:e0?R^aD" VirtualLab Fusion一瞥
f`?|A
C}M0KDF Fr3Q"( m8FKr/Z- VirtualLab Fusion中的工作流程
KVK@Snn
Q} /
: 构建
光栅结构
$hA[vi\5 ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
[9w8oNg0 ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
3c6<JW 分析光栅
衍射效率
2^|*M@3r ─ Grating Order Analyzer
&)rmv 使用参数运算寻找初始解
k(T/ydrw ─ Usage of the Parameter Run Document
^f4qs 使用参数优化确定最终解
" I:j a7 r>
NgJf, VirtualLab Fusion技术
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0 @@ $PNR? 文件信息
$[IuEdc/ IuRKj8J)o W4Zi?@L>' ^G5_d"Gr QQ:2987619807
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