摘要
Se(apQH <f0yh"?6VH Y>K8^GS N8X)/W 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
Kc+9n%sp T%**:@}+ 设计任务
{<i(aq? fm Fs ,u14R] Z-aB[hE 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
{3 >`k.w OO;I^`Yn 扫描参数空间以获取初始解
aI\ ]R:f, fg
GTm: ,;yaYF6|/ I!.-}]k 初始解#1的参数优化
z@2nre @! jpJ} TH+TcYqO ]jV1/vJ-! 最终设计#1的性能分析
q&,uJo {tnhP^C3> }$:ha> ~bfjP2
g 初始解#2的参数优化
[O6JVXO> 8+~'T| Q5;EQ.# K?V'
?s 最终设计#1的性能分析
JwUz4 Na`vw vFK(Dx `e5f69" VirtualLab Fusion一瞥
J(`(PYo\i 8uB6C0,6? 7[(<t+ Yk5Cyq VirtualLab Fusion中的工作流程
w5mSoKb <Kq!)) J' 构建
光栅结构
'>UQsAvm ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
y;tX`5(fe ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
n}q/:|c 分析光栅
衍射效率
.T7S1C $HP ─ Grating Order Analyzer
t8S,C4 使用参数运算寻找初始解
}I#,o!)Vd ─ Usage of the Parameter Run Document
3HB(rTw 使用参数优化确定最终解
oz\r0: zvh&o*\2<d VirtualLab Fusion技术
|dk9/xdX qISzn04 wTu=v -wn(J5NnR 文件信息
c"CF&vTp m*H6\on: sqk$q pV6 C-L[" O0[ QQ:2987619807
MNsgD3