摘要
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c|+ 0ft 81RK fd!bs*\X 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
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* 设计任务
lD)ZMaaS3 K~$A2b95 Gf_Je "
R!,5HQF; 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
G8z.JX-7g cc- liY" 扫描参数空间以获取初始解
|L[/]@| $ @g\wz aO)Cq5 #
2;6!_ 初始解#1的参数优化
\e+h">`WgX "A\h+q- UR?biq vX1 8
] 最终设计#1的性能分析
l7 Pn5c {P')$f) ywQ[>itMa 2>TOCBB" 初始解#2的参数优化
W5cBT?V lt08
E2p9 u#!QIQW .3>`y L 最终设计#1的性能分析
"QSmxr c||EXFS}O %4' <0 >vQ8~*xd VirtualLab Fusion一瞥
u+EZ"p;o _Ns/#Xe/ USd7gOq( \.ukZqB3
0 VirtualLab Fusion中的工作流程
.ni<' M`V<` 构建
光栅结构
gZq_BY_U ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
tE'^O<
K ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
BK 3oNDy 分析光栅
衍射效率
#1fL2nlP*E ─ Grating Order Analyzer
&A}hx\_T 使用参数运算寻找初始解
=$mPReA3v ─ Usage of the Parameter Run Document
UOIB}ut
V 使用参数优化确定最终解
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*`v (yrN-M4~t VirtualLab Fusion技术
. n[;H;
GHNw.<`l? 6 &Lr/J76 s!<RWy+ 文件信息
0\zY?UUww PH.g+u=v S^s|/!> |xawguJ QQ:2987619807
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