摘要
bV(BwWm DQ= { MNe/H\ xV14Y9 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
L6nsVL& p{GO-gE@ 设计任务
-;"A\2_y 7)#JrpTj% ;5\'PrE >ZPu$=[W 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
ol_\ " /O.q4p 扫描参数空间以获取初始解
Zi}h\R a QwFA0 =eW4?9Uq h2mHbe43 初始解#1的参数优化
/K!f3o+
R1Rk00Ow: CfrO1i F R'B_YKHBY 最终设计#1的性能分析
0k\,z(e S\I+UeFkf Gb[J3:. FYC]^D 初始解#2的参数优化
q*4@d)_& 7vPGb:y SbL7e#!! ti1R6oSn 最终设计#1的性能分析
$;ny`^8 a $'U?% 8_`C&vx "X?Zw$gRud VirtualLab Fusion一瞥
ea$. + 3My}u> _f>)G3p RlvvO VirtualLab Fusion中的工作流程
Bo
ywgL| dQp>z%L) 构建
光栅结构
Q8l vwip ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
FR'Nzi$ ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
UHfE.mTjM 分析光栅
衍射效率
&l-d_dh ─ Grating Order Analyzer
"#8^":,4 使用参数运算寻找初始解
8?<J,zu@AV ─ Usage of the Parameter Run Document
.pl,ujv 使用参数优化确定最终解
o^d|/; gV:0&g\v VirtualLab Fusion技术
<]oPr1 ~tW<]l7 v=dN$B5y3 *j1Skd.#At 文件信息
wLO"[, Mjl,/-0 w 2.{<C.BK{ w*@9:+ QQ:2987619807
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