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光学干涉装置广泛用于精密的表面或波前测试和细节分析,特别是菲索干涉仪作为工业上应用最广泛的表面轮廓检测技术之一,正占据着重要的地位。我们在VirtualLab Fusion中构建了一个基于斐索干涉仪的测试光学系统,使用几种类型的表面作为测试对象,并观察不同的干涉条纹。此外,还介绍了用于镜头测试的马赫-曾德尔干涉仪。 4s7&*dJ rqz`F\A;% 用于光学测试的菲索干涉仪 0^>b=a ,V.Bzf%=O 利用非序列场追迹技术建立了菲索干涉仪,给出了不同测试表面的干涉条纹。 !]t5(g_ c,FZ{O@ 马赫-曾德尔干涉仪 V[ 'lB.&t ],l\HHQ 我们在VirtualLab Fusion中构建了马赫-曾德尔干涉仪,并演示了元件的倾斜和偏移对干涉条纹的影响。 =a!_H=+4 fOt?2Bh !6*m<#Qm QQ:2987619807 87yZd8+)
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