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摘 要 9A`^ ( 0d0ga^O 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 UQb|J9HY4 NUtKT~V 建模任务 G;pc,\MF [*H h6 SapVS*yx@ Y$ KR\ m 倾斜平面下的观测条纹 +}mj;3i cI@'Pr4:FJ ATV|M[B Io/;+R. 圆柱面下的观测条纹 3@0!]z^W |*8X80< =""5
c O^3XhTW^\~ 球面下的观测条纹 Q}
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