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摘 要 wO)KQ~ yX B{(l5B6 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 kzpbs?<; U)]natB 建模任务 o`! :Q!+ JlGD.!`
0-f- !sQ8,l0h 倾斜平面下的观测条纹 bXL a~r4\ 1)Bi>X
OBQ!0NM_b +%9Y7qol 圆柱面下的观测条纹 K#< Wt5 m48Y1'4
<yO9j =Fl4tY#X 球面下的观测条纹 CoXL;\ XQ;dew+ SJ+-H83x
l #z`4< VirtualLab Fusion 视窗 $0 zL 0\*<k`dY *3($s_r> cs;Gk: VirtualLab Fusion 流程 xTm&`Xo {_}"USS
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