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摘 要 &J!aw W~Z<1[ 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 !JBae2Z n$(p-po 建模任务 8by@iQ }!TL2er_
_u}4j 9T `O6:t\d@ 倾斜平面下的观测条纹 =?X$Yaw* ]Zf6Yw .Y
j!z-)p8hy 0W^dhYO 圆柱面下的观测条纹 ~LQ[4h<J ! eb|i3.
w-$[>R[hw ~}DQT>7$ 球面下的观测条纹 *Ul*%!?D S|B$c E bY~@}gC**@ OU7 %V)X5 VirtualLab Fusion 视窗 8p1ziz`4>$ ZlKw_Sq: FP"$tt ( ;PyZ?Z; VirtualLab Fusion 流程 NV r0M?`4 23DJV);g8
AD('=g J D,ly#Nn VirtualLab Fusion 技术 6*@yE IK^~X{I?
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