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摘要 PuZs5J3
1Dya?}3 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^qGA!_ |4S?>e N&^xq_ 9& Fiu!!M6 设计任务 p^igscPF6 T<+ht8&M8
[AZaT W.`Xm(y ] @)!:<+ 光栅特性与参数的严格分析 -}X?2Q H >:4MY 不同光栅周期的衍射效率 daB l%a= \}Acq; o9Txo
(tYU /pN'K5@ 考虑光栅周期的选择
t'Eb#Nup3 w^])( twtkH~`"Q 偏振相关衍射特性 hB7pR"P HS\3)Ooj>
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偏振相关衍射特性 f `y"
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F)/~p&H 二维参数优化 - 设计#1 ?""\ lI4J=8O0
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=a)iVXSB] j|[(*i%7| 制造公差分析 - 设计#2 _Z+jQFKJ\8 `6Ureui2?
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