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摘要 1VjeP
* +}(B856+ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 3Q*RR"3 uG(~m_7Hx n6%jhv9H 3f:1D=f 设计任务
];b!*Z t0asW5f <SC|A| !aW*dD61 vY0V{u?J 光栅特性与参数的严格分析 Xg!|F[i W
&0@&U 不同光栅周期的衍射效率 &Xl_sDvt Y%CL@G60 od5w9E. UB&S 2g 考虑光栅周期的选择 .z-^Ga* 1&@wb'MBs. dnX`F5zd 偏振相关衍射特性 2p3u6\y i3kI2\bd/
<E}]t,'3 Y^jnlS)h 偏振相关衍射特性 DO- K !iitx U
U70@}5! [>J~M!yu:r 偏振相关衍射特性 bhm~Ii ,Y\4xg*` 3Ibt'$dK xwH|ryfs,Z 基于参数优化的光栅设计 GaK_9Eg-2 %`\3V
{2* 具有固定周期的二维参数优化 <C.$Db&9 G|G?h
P!6 e 二维参数优化 - 设计#1 ETWmeMN dI0>m:RBz
dT@SO : {N3o: 二维参数优化 - 设计#2 lRATrp#T |b'<XQ&l5
ZhbY,wJ, agxSb^ 8tF 制造公差分析 - 设计#2 =
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UVBw;V l6DIsR 不同光栅周期的三维参数优化 Z=t#*"J |e-+xX|;
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%YTJS q;a*gqt 制造公差分析 f({-j%m gl7vM
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W[p g@6X|W5,J 走进VirtualLab Fusion rPGE-d3 Lz>{FOR
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