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摘要 Q~R7 ]AyR }}AooziH9 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 cVHv>nd# YzTmXwuA5 GfEg][f ';g]!XsY) 设计任务 35}{dr %nU8 Ca ;J"b% ~Gn FBn`sS8hH "c[ D0{\{ 光栅特性与参数的严格分析 i
*W9 4 m'|{AjH
z6 不同光栅周期的衍射效率 4a'GWzUtS kHj|:,'sV Z)RoFD1]C Tvd=EO 考虑光栅周期的选择 4%h@K(iN {-28% cN/8b0C 偏振相关衍射特性 }R.<\ F8(6P1}E
Ol8ma`}Nq3 577H{;pW 偏振相关衍射特性 [12^NEt SKx&t-
~HbZRDcJc q$[x*!~ 偏振相关衍射特性 fD8A+aA FKU$HQw* 0QE2e'}}- s`2Hf&%aZJ 基于参数优化的光栅设计 S|U/m m $_N<! h*\ 具有固定周期的二维参数优化 HtWuZq;w (h NSzG\
q4)8]Y2 二维参数优化 - 设计#1 vM5u]u! :Gyv%>.
QO;W}c:N qq0bIfF\4 二维参数优化 - 设计#2 )*[3Imq/ @pueM+(L&
pgg4<j_mn |2,'QTm= 制造公差分析 - 设计#2 U0}]3a0 we6']iaV
u@v0I$ Yrb[:;Y 不同光栅周期的三维参数优化 X9^a:7( <&3qFK*9r
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