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摘要 zEh&@{u? 4U3 `g 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 \+Y5b} m[v%Qe|~ %4})_h?j k ~4o`eA 设计任务 h+w1 D} * ra8AUj~RX DABV}@ K" *ZIX76y<!A u qA!#E 光栅特性与参数的严格分析 ,YRBYK: 3xgU=@!; 不同光栅周期的衍射效率 ` 5n^DP*X SNf~%B?`L <pM6fI6BD /Mj|Px% 考虑光栅周期的选择 :lu "14 >^SQrB TN<"X :x9 偏振相关衍射特性 &{q< EyHL& *+(eH#_2/ KN&|&51p} 偏振相关衍射特性 T8^l}Y
B [E/. r{S ?v`24p3PC kx;7/fH 偏振相关衍射特性 1GPBqF 0IZF%` 2b Fr8FUt- di7cCn 基于参数优化的光栅设计 A@-U#UvN 5mZwg(si 具有固定周期的二维参数优化 'j!n
s[VYd:}se ])q,mH 二维参数优化 - 设计#1 >_$_fB 4UND;I& O\6gw$ -Ir>pY\! 二维参数优化 - 设计#2 RL
H!f1cta /FjdcH= 6$l?D^{ hZWkw{c 制造公差分析 - 设计#2 8idI Jm%y n/e ,jw X&Sah}0V& nzF2Waa- 不同光栅周期的三维参数优化 8L]Cc!~ 4J?\JcGs -9Ygn_M TX7dwmt)N 制造公差分析 tI5*0 BB_(!omq[ ~Q5]?ZNX hjhZ":I. 走进VirtualLab Fusion GkI{7GD:z JIqg[Mao Tt=;of{ aOQT-C[
O VirtualLab Fusion 工作流程 b *3h}n; JY,oXA6O 0k4XVd+Nv +}Mm5^6* VirtualLab Fusion技术 ly6dl B\qy:nr j ",#Ug"|2 文件信息 ^:,wk7 CrG!8} &}K%F)S P>$+XrTE (cV1Pmn QQ:2987619807 u9u'5xAO
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