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摘要 |vMpXiMxxT >,gvb5 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 e)IpPTj# #E+gXan %#Z/2<_ zrv#Xa!O\ 设计任务 ww{_c]My l?DJJ|> O 7Irau_ sv(f;ib ^(f4*m6` 光栅特性与参数的严格分析 JwRF(1_sM ?D)<, 不同光栅周期的衍射效率 ]cC[-F[ Z,;cCxE pdb1GDl0q -l-E_6|/W 考虑光栅周期的选择 T<joRR (j"( C"qU-&*v 偏振相关衍射特性 q$.{j"cZV Op?OruT[ w[-Fm+A> %tt%`0 偏振相关衍射特性 cx$Gic:4 %F9{EXJy &Q=ZwC7# cZ+7.oDu 偏振相关衍射特性 LaIJ1jf LsGiu9~S LFp]7Dq uw7{>9 基于参数优化的光栅设计 s;YKeE!8 x/MZ(A%D 具有固定周期的二维参数优化 h2;z4 &&<9p;E QIn/,Yd 二维参数优化 - 设计#1 5;TuVU.8Q geefnb p(m1O70C _0 snAt^iC 二维参数优化 - 设计#2 -(JUd4# >7U>Yh ]Lqt(c rn:!dV[ 制造公差分析 - 设计#2 jN+N(pIi.o i~{
_eQV 5lJ)(|_ W;Jx<-#1 不同光栅周期的三维参数优化 E}Xka1 Bn 8Chu"PM%-J V5GkP1L qkP/Nl. u 制造公差分析 dYojm1MQ \H5Jk$* 1(GHCxA8G }GnwY97 走进VirtualLab Fusion VzRx%j/i &,-p',\- [ij,RE7,T fRg=!<#% VirtualLab Fusion 工作流程 ?Zyok]s qMS}t3X a~^Srj!}x +ydm,aKk VirtualLab Fusion技术 fjDpwb:x) qGPb mKg@W;0ML 文件信息 \w)?SVp ij&p4 <3 j~=- ^4`&EF C'9 1d7E QQ:2987619807 ^^$vR[7
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