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摘要 YQ V cECj p538r[f< 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 `ROG~0lN( U^_D|$6  RE A;x-u* >K:u ?YD [ 设计任务 D}{b;Un 2\@ Z5m3B  (tCib 4 |wp ,f%WK |NMO__l@ 光栅特性与参数的严格分析 ISN cswN# C L9yEy"V 不同光栅周期的衍射效率 Y(VO.fVJK ja T$gAx  jP=Hf=:$ nhH;?D3 考虑光栅周期的选择 m 7 LUrU 92[a; a  <nzN $"%
偏振相关衍射特性 6 /Y1 wu gH7z
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