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摘要 w?c~be$ U09@pne8 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 L\kT9wWK| gkv,Om xm<sH!,j E!>l@
ki 设计任务 iwEHEi% &sPu3.p ~leLQsZ $%J$ $Jj0%?; 光栅特性与参数的严格分析 c6pGy%T- "[]J[!}x 不同光栅周期的衍射效率 %PU{h $U5$*R@jo[ < 'qtqUL\ V -9z{ 考虑光栅周期的选择 y/A<eHLy QmB,~x{j> g.O? 1bebe 偏振相关衍射特性 L`Q9-#Y 1HNX6
]r1C r;aP`MVO< 偏振相关衍射特性 -wV0Nv(V8 3H47 vm(`
\8X8NCM bYH! P/ 偏振相关衍射特性 -[`FNTTV C *C?x\.\C a'|Dm7'4t 1&}^{ Ys 基于参数优化的光栅设计 Ti9cN)lq& -x1O|q69 具有固定周期的二维参数优化 gb0ZGnI &U/~*{
0H{0aQQ 二维参数优化 - 设计#1 ?`O Dt]s /L"&'~
pBu~($%d 8m"5J-uIi 二维参数优化 - 设计#2 DWH)<\? Swz1RT
CSooJ1Ep~' &hYjQ&n 制造公差分析 - 设计#2 QcQ|,lA.HI SB[,}h<u1
Cx/duodp 57b;{kl 不同光栅周期的三维参数优化 YR`Mi.,Sfm [%8+Fa~Wa
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