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摘要 "x%Htq@ SP@ >vl+; 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 sXqz+z$* FOb0uj=(v +20G>y=+ ~cWAl,(B<F 设计任务 >3ZFzh&OYQ GeI-\F7b j
'FVz& G`+T+ K~uXO 光栅特性与参数的严格分析 ?llXd4 U1Q:= yD 不同光栅周期的衍射效率 eJ,/:=QQ{ 8."]//V Cmu@4j& ih)zG 考虑光栅周期的选择 [<7@{;r >u>5{4 j 7fL7:,T 偏振相关衍射特性 ycc4W*] 9K.Vb1& V4hiGO[ wrviR 偏振相关衍射特性 3^IpE];+:u <5d~P/, Y)1PB+ &\#sI9 偏振相关衍射特性 -#7'r<I9@ f<
ia(d i3dkYevs? vNVox0V 基于参数优化的光栅设计 ZLc -RM 7X`l&7IXP 具有固定周期的二维参数优化 \j+1V1t9 $>G8_q H
>j 二维参数优化 - 设计#1 QFE:tBHe .rO]M:UY QaS1Dh 2^Eg9y' 二维参数优化 - 设计#2 #[,IsEpDO1 # Nk;4:[ cIUHa ? 8)'oMD 制造公差分析 - 设计#2 3("_Z% ;i8g41qjF lyIl-!| T m,b,hi$ 不同光栅周期的三维参数优化 1G"z<v
B +Um( h-; 56}U8X k;2GEa]w 制造公差分析 t,QyfN X]'{(?Ch lun#^ J ;t'5},(FP 走进VirtualLab Fusion .nB0 h <
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