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摘要 OF8WDo` =U NT .] 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 B7!;]'&d 9 :-T@u  &\k?xN 7/?DP wbx 设计任务 p.C1 n h b/nOdFO@  K_>/ lirE? 333 u] ,T$r9 !WTM 光栅特性与参数的严格分析 b66R}=P l zmb@*/fK 不同光栅周期的衍射效率 @h# Xix7 sL i*SR  j=W@P- \5hw9T&[B 考虑光栅周期的选择 4gOgWBv :G 5C ]'t  1~@|e Wr| 偏振相关衍射特性 Szts< n 5 JT)k
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