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摘要 nHmi%R7k u6u1> 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 !l1ycQM 9WsGoZPn \^rAH@ L&SlUXyt.c 设计任务 06S-3bis xk8P4`;d$ ,Q8)r0 c a).bk!G EBPm7{&0| 光栅特性与参数的严格分析 ~Fd<d[b? 6@@J>S> 不同光栅周期的衍射效率 rN%aP-sa< AT4G]pT VXtW{*{" @I^LmB9* 考虑光栅周期的选择 #x;i R8^ @SV.F 8P'zQ:#RV 偏振相关衍射特性 ^}4=pkJ;s _PeBV<
a,sU-w!X' +TnRuehtk 偏振相关衍射特性 >O:j.(*! Jr4^@]78o<
HO(9)sK OJ:iQ 偏振相关衍射特性 wLf=a^c# T};fy+iq =c, m)\u/8 Zn`vL52_ 基于参数优化的光栅设计 7TjK;w7xS. 3+/{}rv 具有固定周期的二维参数优化 r-$SF5uv )0I;+9:D=
cR+9^DzA 二维参数优化 - 设计#1 Wl:vO^ si nnHQ
jJF(*D aa1^cw 5} 二维参数优化 - 设计#2 yI 6AafS~ 'bpx
wtDy-H n l`s_#3 制造公差分析 - 设计#2 eh-/,vmRa O)qedy*&
u^T{sQ"_ 9?M><bBX 不同光栅周期的三维参数优化 H *gF>1 csV.AN'obq
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