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摘要 f|*vWHSM Y{ho[% 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 4)BPrWea1 R7L:U+*V" >t/P^fr_F C^hHt,& 设计任务 pLFJ"3IJB aN.t) DG}J nC3U%*l vu%:0p`K [\M=w7 光栅特性与参数的严格分析 Y}bJN%M ;JcOm&d/hk 不同光栅周期的衍射效率 9q2 >_Mv +P7A`{Ae cm8-L[>E &AMW?vO 考虑光栅周期的选择 xb!h?F& ?,JN? )U`"3R 偏振相关衍射特性 yn0OPjH 3&D;V;ON}_
FTy`#*7Ul !OJ@
=y`i 偏振相关衍射特性 959i2z NX$S^Z\QI
N#;k;Z'iL y&0&K4aa 偏振相关衍射特性 o|7]8K= |5wuYG fq){?hk~O jb' hqz 基于参数优化的光栅设计 y(K?mtQ .(Gq9m[~8H 具有固定周期的二维参数优化 p_$03q>oQ gY],
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!*:Zcg?7n 二维参数优化 - 设计#1 kU8V,5 ;SzOa7
27-<q5q /3*75 二维参数优化 - 设计#2 &z-f,`yG 71+J{XOC
R|T_9/#) yA%(!v5UT 制造公差分析 - 设计#2 uc?QS~H&w D?rQQxb
Y8I$JBO 6&=xu|M<x= 不同光栅周期的三维参数优化 :\Z;FA@g(g X6mY#T'fQ
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