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摘要 ]BfR.,, Ma_=-cD 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 YZ*{^' Ps 7_-cH 'Q`C[*c lEa W7j 设计任务 %1Jd^[W k.{G&]r{ J=P;W2L s*+ZYPk Z^+a*^w~{ 光栅特性与参数的严格分析 1t%<5O;R 1<ehV
VP 不同光栅周期的衍射效率 =g[H]-Ee 7%YYr^d 44<v9uSK 1!f2*m 考虑光栅周期的选择 ,W8au" }8
\|1@09 {a@hRY_ 偏振相关衍射特性 1>yha
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*XOS. $zGz !`Xt8q\r 偏振相关衍射特性 4UazD_`' o6/Rx#A
F\Y,JUn[G # a.\P.{L 偏振相关衍射特性 CHg]U l &R0OeRToUb UMv"7~ l&$*}yCK 基于参数优化的光栅设计 GP Ix@k $Llvp bl 具有固定周期的二维参数优化 I=K[SY,]9 +=Yk-nJ
(}6wAfGo 二维参数优化 - 设计#1 i@Vs4E[b s7vPI
N]V/83_ Io09W ^ 二维参数优化 - 设计#2 F1E.\l U~Xf= f_Q$
2[XltjO ,v|CombIc. 制造公差分析 - 设计#2 P~o@9RV- l~4_s/
vs+We*8H 5a8JVDLX^ 不同光栅周期的三维参数优化 p[_Yi0U ~NA1SZ{Y+
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