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摘要 ;+5eE`]a/L LsmC/+7r$1 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 : |Z*aI]9 1M+mH#?  avT>0b : U"ZD t 设计任务 h qxe D,R/abYZH  0h5T&U]${Y BeV Q [ ^
sz4rk 光栅特性与参数的严格分析 Bkcs4 x uYs+ x X_ 不同光栅周期的衍射效率 8L&# <Ol * %MY. #  jbG #__#_ N (43+ 考虑光栅周期的选择 Z*oGVr
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