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摘要 q;H5S<]/ '=]|" 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 P_%kYcX' oAxCI/  T,fDH!a +]jJ: V 设计任务 8Xk,Nbcqt pJPP6Be<  ;0]s:0WD0P DyPb]Udb: x]<0Kq9K 光栅特性与参数的严格分析 f^9 ntos| pQ9~ ^ 不同光栅周期的衍射效率 $%0A#&DVh c-bTf$6}  f
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5 考虑光栅周期的选择 SbN.z 1n )&%r  NM&R\GI 偏振相关衍射特性 /D
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 XD$;K$_7 +EE(d/ f 制造公差分析 - 设计＃2 9,G94.da U l%D}(,
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