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摘要 Pq$n5fZC! e0 ecD3 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 :ws<-Qy h?U
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G 设计任务 ]SEZaT 2 %]X+`+O u ga_T <P<z N~i9j [-w%/D%@ 光栅特性与参数的严格分析 %]i15;{X h";L 不同光栅周期的衍射效率 c71y'hnT V;=cwy)I hy!3yB@ er\|i. Y 考虑光栅周期的选择 %C]>9." $~)SCbL^5 4qa.1j(R/ 偏振相关衍射特性 ]4e;RV-B * 4
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;Rf'P}"] DmcZta8n] 偏振相关衍射特性 =_^X3z0 i.#:zU%o
*qq+jsA6wH LP=)~K< 偏振相关衍射特性 rm_Nn8p, %TqC/c ]M3yLYK/P vDvFL<`vmD 基于参数优化的光栅设计 '+
?X mE[y SrV 具有固定周期的二维参数优化 O/LXdz0B eS!/(#T
ssL\g`xe 二维参数优化 - 设计#1 :Dp0?&_ AQ Ojit6p
mkpMfPt -\MG}5?! 二维参数优化 - 设计#2 I1J-)R+ Hr C+Yjp
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_ 制造公差分析 - 设计#2 ~J]qP #C Gw` L"
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