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摘要 *B&P[n ?A@y4<8R| 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 F+*E}QpM ]G[ "TX, +`F(wk["m [4yHXZxza 设计任务 1L<TzQ ?w/p 9j# 5]i#l3") %E%=Za 0L>3i8' 光栅特性与参数的严格分析 j)@W1I]2# _h1bVd- 不同光栅周期的衍射效率 `v?hL~ 8ve-g\C8 H $PMr)U `*U@d%a 考虑光栅周期的选择 yD<#Q\, 8g=O0Gb C6gSj1 偏振相关衍射特性 jZIT[HM `)O9
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4}"oQk:r oN}\bK 偏振相关衍射特性 Y's=31G@ G:e=9qTf
}zA|M9%E S[y'{; 偏振相关衍射特性 Dml?.-Uv< Rc)]A&J D0#U*tq; 6ud?US( 基于参数优化的光栅设计 ywm"{ U?8 JSg=9p$ 具有固定周期的二维参数优化 ;FlDRDZ% A]"6/Lr9P
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e 二维参数优化 - 设计#1 @yGnrfr 7'+`vt#E
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Fz8& Jn! jGLmgJG-P 制造公差分析 - 设计#2 ->|eMV'd =0e>'Iw2
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