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摘要 i.@*tIK Qilj/x68 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 z[#6-T
& >ZCo 8aK I)[B9rbe <q6`~F~| 设计任务 ?[SVqj2- QT}iaeC1i wXCyj+XB* rgR?wXW]jE O)<r>vqe} 光栅特性与参数的严格分析 Yf(im Z[;#|$J 不同光栅周期的衍射效率 ZQLB`n@ twbcuaCTW sMJ#<w}Q lZ a?Y@ 考虑光栅周期的选择 qRUCnCZs 59MR|Jt `i4I!E 偏振相关衍射特性 ;G Qm[W([ 3;D?|E]1
oP-;y&AS c%yh(g 偏振相关衍射特性 .HOY q ScHlfk
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c,AZ/t e[p^p!a 偏振相关衍射特性 0#
UAjT3 8l?w=)Qy ,E]|\_] xO gq-@` 基于参数优化的光栅设计 +DxifXtB 9dw0<qw1% 具有固定周期的二维参数优化 _X?y,# nO:HB.&@
{Ot[WF 二维参数优化 - 设计#1 wK ][qZ ] * T\>
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Tu'E{Hw mR6E]TuM 制造公差分析 - 设计#2 y,1S&k 8}J(c=4Gk
Ta,u-!/I iPNd!_ 不同光栅周期的三维参数优化 @Z,qu2~|! +:b(%|
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