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摘要 ?V>{3 l2[{T^ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 #OE]'k
Ss KH_~DZU*5 ^+b ??K jJU9~5i? 设计任务 [L4s.l_# JrhDqyk* Y-vLEIX= =bDy :yY} `fm^#Nw 光栅特性与参数的严格分析 :^92B?q Dqh
rg; 不同光栅周期的衍射效率 8O='Q-&8 uU;]/ 8/oO}SLF XZ1oV?Z4 考虑光栅周期的选择 :3$$PdZ ;wF 0s B4d\4S_r% 偏振相关衍射特性 @Fs2J_v ~wl4
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']cRSj. .*_uXQ 偏振相关衍射特性 nJ{vO{N PW)Gd +y d>OLnG>
F 6Rcl HU 基于参数优化的光栅设计 "S ~(|G D<SLv,Y 具有固定周期的二维参数优化 E Qn4+ $T%~t@Cv1
*W&}}iL 二维参数优化 - 设计#1 Yj-JB -YD+xPD
.{}=!>U2 d} {d5-_a 二维参数优化 - 设计#2 ~n<U8cm O q` Z_Bw
?^l{t4 Rx,Qw> # 制造公差分析 - 设计#2 P9/Bc^5' ln~;Osb
KbP( ; 5UU1HC;C 不同光栅周期的三维参数优化 rz'A#-?'oG nz%{hMNYH
:#I7);ol Dx1 w I 制造公差分析 S.Rqu+ V% PeZ.Xv
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