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摘要 1C Pjil*eb ]`g <w# 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 mDGn:oRj IC{e E  O9'x -A% 6~#Ih)K 设计任务 PN~@ ]Mj/&b>"e  iyVB3: M 'sp-%YlM - cH<q:OYi 光栅特性与参数的严格分析 Sx*oo{Kk% Gc.P,K/hr 不同光栅周期的衍射效率 k VI#(uO q(5j(G ;  E@a3~a Y
$g$x<7 考虑光栅周期的选择 qj0 1] mD:IO  ~9F ,% 偏振相关衍射特性 4 > ^ K:/y 'tN25$=V&W
 M,j(=hRJ/E
= 5D nR 偏振相关衍射特性 =S[yE]v^
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 iFSJL,QZ3 KucV3-I 偏振相关衍射特性 @ZN^1?][ DlMe5=n -u  6m .k;'
e@@?AB$n( 基于参数优化的光栅设计 x?x`oirh " +KJop 具有固定周期的二维参数优化 Mcw4!{l`
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] 二维参数优化 - 设计＃1 >Sa*`q3J W$JebW<z(
 kE.x+2 . .QB~ 二维参数优化 - 设计＃2 oRN-xn g }MR1^
 C\_zdADUb% a m-b!l!q^ 制造公差分析 - 设计＃2 s57N) 0kP }14 {2=!Q
 eLwTaW !C bf_I9Z3m 不同光栅周期的三维参数优化 i$^)UZJ&0
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