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摘要 9+(6 /< v " 2A? 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Y|mtQ E?c ,& ,XcbJ  >Ch2Ep a:P+HU: 设计任务 N\ <riS9 6-$95.Y2  X%I@4 B7Ts lw8 t# _P @sa_/LH!K 光栅特性与参数的严格分析 -A L^ %a 8e _ 不同光栅周期的衍射效率 CNV^,`FX on
hLhrZ  'ym Mu}q YpZuAJm<2_ 考虑光栅周期的选择 S^1ZsD. [#aJ- Uu  i%i s<' 偏振相关衍射特性 uYO$gRem y:zNf?6&
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