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摘要 9mtndTT 5u p?Ux1S 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 T)22P<M8 ?8grK  D`41\#ti 'Sd+CXS 设计任务 c9H6\ & W)Y-^i5  &VU^d3gv~ zuMz6#aCC8 vbd
;Je" 光栅特性与参数的严格分析 5R.jhYAj W1o6Sh8v( 不同光栅周期的衍射效率 4avkyFj!h lgt&kdc%o  !2B~.!& xK[ [b 考虑光栅周期的选择 -2laM9Ed (F;*@Z*R  r.LO j6c 偏振相关衍射特性 b [&ri:AC -
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