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摘要 fB~O
|g 'qL5$ zG 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 {~bIA!kAFI p}3NJV ZfPd0 p ;} l T 设计任务 |h&<_9 (j' {~FB <S1?? /!GKh5| KD% TxK 光栅特性与参数的严格分析 i;o}o*= E *F*nd]K 不同光栅周期的衍射效率 5@P%iBA4(3 n/QfdAg Y1{B c<tC ]^=|Zd- 考虑光栅周期的选择 :{LAVMG&^ mxQR4"]jY ugYw< 偏振相关衍射特性 X8/Tl\c wV\%R,bZj w*50ZS;N 55.;+B5L* 偏振相关衍射特性 *AZ?~ i^o *q0`})IQ B?LXI3sQZ "EoDQT"0 偏振相关衍射特性 xXX/]x> *5'.!g(' %*lp< D KOjluP 基于参数优化的光栅设计 6*IpAIh Z@3l%p6V 具有固定周期的二维参数优化 [,=d7*b(l E\0X`QeY h
T<n1q~ 二维参数优化 - 设计#1 gv#4#] -hWC_X:9jP BQ#3QL't _\.{6"" 二维参数优化 - 设计#2 7+}JgUh c-kA^z{f Ln.9|9 845
W>B 制造公差分析 - 设计#2 ~-TOsRvxR z}ElpT[(; z{:-!oF&CB 9Bz0MUbrLl 不同光栅周期的三维参数优化 f1mHN7hxW 3HZ~. xjo;kx\y^ d?A}qA[( 制造公差分析 k=[pm5ZvT~ @%1IkvJV ;QBh;jg4 KOey8tB)1 走进VirtualLab Fusion ,_jC$ c%z'xM vJ"i.:Gf4 )%mg(O8uL VirtualLab Fusion 工作流程 BkawL, a(;!O}3_)( 2*[QZ9U[@ FJeiY#us VirtualLab Fusion技术 prtK:eGe2 %@?A_jS 0:"2MSf> 文件信息 W@.Ji B Q&CElx?L `
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