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摘要 p\bDY mya_4I
m 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 p`l0?^r
c" ['T:ea6B [D!jv" o93`|yWl 设计任务 1R,: DCZ\6WY1G) /oriW;OF ~8]NK&J RO.k]x6 光栅特性与参数的严格分析 ll C#1 q}]XYys 不同光栅周期的衍射效率 9^j &VmF !TUrQ +t?3T-@Ks ={z*akn, 考虑光栅周期的选择
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/9> Nd;Ku6 % ClHCoyA 偏振相关衍射特性 #Y4=J
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k3uit+ge} {j7uv"|X7 偏振相关衍射特性 'nwx9]q 9pX&ZjYP-
Y 1t\iU w'UVKpG+ 偏振相关衍射特性 /bi}'H+# }yz (xH `I3r3WyA #H:7@ 基于参数优化的光栅设计 F~P%AjAx' * cgI.+ 具有固定周期的二维参数优化 lqm1!5dt 1 A\OC
Vb= Mg 二维参数优化 - 设计#1 smnSDS /@,j232
!s&NT @ S LS917ci- 二维参数优化 - 设计#2 8/=L2fNN[
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o/+13C r_-_a(1R: 制造公差分析 - 设计#2 o<|P9#(U" Ac<Phy-J
iy%ZQ[Un ;oc&Hb 不同光栅周期的三维参数优化 hBBUw0" sk=-M8;\
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+ 制造公差分析 (G[
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