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摘要 +&KQ28r ea=83 Zj 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 K7I&sS^x &$`hQgi 6) \dBOz x}$e}8|8YL 设计任务 +)nT|w45 h06ku2Q
6)]f6p&e _nT{g V@=V5bZLs 光栅特性与参数的严格分析 PU9`<3z5 XC15 K@K 不同光栅周期的衍射效率 M4Z@O3OIE 5=?i;P 0@1:M
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Vq-8B0 考虑光栅周期的选择 P4
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2 8 ;Hm'6TR! 偏振相关衍射特性 KiLvI,9y 4lc)& D_|B2gdZY (U.**9b; 基于参数优化的光栅设计 Wf02$c0#K {7Cx#Ewd 具有固定周期的二维参数优化 ^>~dlS `!\ivIi^
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SqB/4P s*,cF6 制造公差分析 - 设计#2 -oBI+v& F 1|zXg)
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