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摘要 >/"XX,3 *$(=I6b 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 YQR*?/?a 5iola}6 Q, E!Ew3 X.0/F6U 设计任务 A>L(#lz#ek =erA.u h3;Ij ' <$.KCLP XA])<dZ
光栅特性与参数的严格分析 f}4c#x )!dELS\ix 不同光栅周期的衍射效率 S&-sl /x_C .<Z7K @ ?xf59mY7 考虑光栅周期的选择 | -Di/. '4sT+q F *;
+-e 偏振相关衍射特性 !W:QLOe6F Fc}wuW
4\(;}M-R{ <YL\E v/[ 偏振相关衍射特性 :0T]p"y4 n#3y2,Ml
{CH\TmSz ^J>28Q\S 偏振相关衍射特性 :kZ2N67 kSNVI-Wzu ?l,i(I @6*<Xs
= 基于参数优化的光栅设计 iy
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BHj]w*Ov 二维参数优化 - 设计#1 ~Y)Au?d(a pq5)Ug
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#bu`W!p} Wr)%C 制造公差分析 - 设计#2 lRt8{GFy qUtVqS
C,PCU <q GWE`'V 不同光栅周期的三维参数优化 oU~V0{7g 3"[ KXzn
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