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摘要 `?f<hIJoz L+eK)Q 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Bwu?DK JY,oXA6O -B(p8 YH P+C5
s 设计任务 EQX<<x" }:QoY Nq BuUM~k&SY ^:,wk7 W|(<z'S 光栅特性与参数的严格分析 }*O8]lG UMT}2d% 不同光栅周期的衍射效率 Ndyo)11z L3 KJ~LI {xOzxLB; K@/dQV%Z 考虑光栅周期的选择 Kaaz,C.$^ LabI5+g UUa@7|x 偏振相关衍射特性 oel?w e6 ^NM>xIenf
5+j):_ de[NIDA;` 偏振相关衍射特性 JbMp / kuq&; uk$Q
g>`D!n::n Z&=Oe^ 偏振相关衍射特性 xsN OjHk 9xE_Awlc85 madbl0[y. q'IMt7} 基于参数优化的光栅设计 H+@?K6{h DF-.|-^9I 具有固定周期的二维参数优化 Xg\unUHa %?F$3YN,
6&L;Sw#Dg 二维参数优化 - 设计#1 M&sQnPFH fu-,<m{
I]3!M`IMG n36iY'<) G 二维参数优化 - 设计#2 8o.|P8% ^upd:q
S@y?E} g_?Q3 制造公差分析 - 设计#2 bQPO'S4 09{ s'
i9`-a/ ][YuJUK8 不同光栅周期的三维参数优化 7{9M
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