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摘要 ,e`'4H J:j<"uPm 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 I]nHbghcW
npp[@*~  &\C [@_ R}:KE&tq 设计任务 s%pfkoOY% k+^'?D--'P  &|Pu-A"5~ !k&Q 5s: ZJ,cQ+fn 光栅特性与参数的严格分析 {g6Qv- fP HLXg5s 不同光栅周期的衍射效率 fNu'((J-
9\; |x  _qXa= |}V. kJQ#Wz|z] 考虑光栅周期的选择 AVw%w&|% ,8MLoZ _  &~e$:8 + 偏振相关衍射特性 m-/j1GZ* gEQNs\Jn
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 s;flzp8 ~z5R{;Nbz| 偏振相关衍射特性 `Y=WMNy %w ptZ"2M  VOTv ?Vf
A"5z6A4WB 基于参数优化的光栅设计 1xE]6he4{T 4*.K'(S5fx 具有固定周期的二维参数优化 -62'}%?A<C
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