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摘要 NJ]AxFG l9{}nz 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 *G rYB6MT $?P 5A E  ,X`w/ 2O ^mwS6W H6 设计任务 6_mkt|E= @!'rsPrI  oRkh>yj' _:+hB9n s ;f?suawMv 光栅特性与参数的严格分析 8MQb5( ! L2\<iJA}c 不同光栅周期的衍射效率 N 2XL5< J2 ZV\8t  [?>\] W 6c]a/ 考虑光栅周期的选择 X!xmto .9NYa |+0  216=7O2F 偏振相关衍射特性 {,+{,Ere X'uQr+p^
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sHqa(ynK 偏振相关衍射特性 J?#Xy9dz
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 y 5{Vx{V"Q AZ.$g?3w 偏振相关衍射特性 2A=q{7 s 3N[Rrxe2  *fCmZ$U:{
c_4K 基于参数优化的光栅设计 zq(4@S-TU r03%+: 具有固定周期的二维参数优化 "5HSCl$r%
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 %?hvN 二维参数优化 - 设计＃1 [KL-T16 d{J@A;d a
 5szJ.!( R53^3"q~ 二维参数优化 - 设计＃2 =`ZRP A!aY ri Z :#I
 N:q\i57x d&* c3F 制造公差分析 - 设计＃2 W3zYE3DZf i E?yvtr8
 [ $5u:* h% eGtd$n 不同光栅周期的三维参数优化 ,!40\"A
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文件信息
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