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摘要 fK)ZJ_?w,@ b5iIV1g 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 IgzCh R-g>W  9s;!iDFn gp#b Q 设计任务 q# mFN/.(+ b qZ?uvc3  "@c';".| ef;& Y>/ r6O7&Me< 光栅特性与参数的严格分析 qB+:#Yrx / a z:~{ f*- 不同光栅周期的衍射效率 oiTMP`Y ?` vM#)  1j ZD w~ "}]GQt< F 考虑光栅周期的选择 /{eih]`x( Z-? Iip{  ZaukM Eq 偏振相关衍射特性 .d#G]8suF C }h<ldlY
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