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摘要 dd7 =)XT+ <<|H=![ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 }yEoEI` h#Ce_,o >^"BEG9i: 4`2$_T$F 设计任务 vV`|!5x nyT[^n xQlT%X;' r<L#q)] SLk2X;c]o 光栅特性与参数的严格分析 *R`MMm z]$j7 dp 不同光栅周期的衍射效率 I8op>^N" 'CS.p!Z\ af+}S9To .1*DR]^` 考虑光栅周期的选择 m<3v)R[> Ew^ @Aq 7-9;PkGG.A 偏振相关衍射特性 /'>;JF }Pg'
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h<[+HsI h[ 6hM^n 偏振相关衍射特性 bEr.nF iTNqWU-o
LnMwx#^* ~%q7Vmk9 偏振相关衍射特性 iM64,wnA `f ' C[a" Q.(51]' A:Rw@B$ 基于参数优化的光栅设计 qZG-Lh "L~@.W!@ 具有固定周期的二维参数优化 9Nl*4 NR/-m7#-
^)cM&Bxt% 二维参数优化 - 设计#1 U
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FH n,]Tfx j3P RAe 制造公差分析 - 设计#2 !5;t#4= tvWH04T
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