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摘要 7`xeuK .X1xpi% 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 VT ikLuH 7Eb | AR  %u=b_4K"j QC\r |RXW 设计任务 m8}c(GwcP % 9 Jx|  .)(5F45W g \d-H+t] MS5X#B 光栅特性与参数的严格分析 ?uAq goCl V2B@Lq"9` 不同光栅周期的衍射效率 7a0T] 0*J},#ba$  D9yAq' k$ . E8G j'yO 考虑光栅周期的选择 fEJF3<UF& =w !>/#U  aU\R!Y$/" 偏振相关衍射特性 a~*wZJ q%S^3C&
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F:~k4uTW\b 基于参数优化的光栅设计 S7v# `# GI5#{-) 具有固定周期的二维参数优化 2#81oz&K
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 U m~DA %n{u e9 二维参数优化 - 设计＃2 j&-<e 7O= c BcZ@e;
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