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摘要 s t 3]Yy 8i+jFSZ$ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ,1 9" [:WN q?b)zeJ  ;kcFQed\w i OA3x 8J 设计任务 [ E&"9%K (>/Dw|,m  )Z`viT -1Ki7| 0, RI ].LB_ 光栅特性与参数的严格分析 4?6'~G$k p RfHbPV? 不同光栅周期的衍射效率 1 < /t #r tLGwF3e$A  M DXQj5s^ mm~o%1|WR 考虑光栅周期的选择 E!]rh,mYK )fcpE ,g'  | kRx[UL 偏振相关衍射特性 So0,)
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