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摘要 1C Pjil*eb ]`g<w# 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 mDGn:oRj IC{eE O9'x-A% 6~#Ih)K 设计任务 PN~@ ]Mj/&b>"e iyVB3:M 'sp-%YlM - cH<q:OYi 光栅特性与参数的严格分析 Sx*oo{Kk% Gc.P,K/hr 不同光栅周期的衍射效率 kVI#(uO q(5j(G ; E@a3~a Y
$g$x<7 考虑光栅周期的选择 qj01] mD:IO ~9F ,% 偏振相关衍射特性 4>^K:/y 'tN25$=V&W
M,j(=hRJ/E = 5D nR 偏振相关衍射特性 =S[yE]v^ sfr(/mp(
iFSJL,QZ3 KucV3-I 偏振相关衍射特性 @ZN^1?][ DlMe5=n-u 6m .k;' e@@?AB$n( 基于参数优化的光栅设计 x?x`oirh "+KJop 具有固定周期的二维参数优化 Mcw4!{l` l?Y_~Wuw
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] 二维参数优化 - 设计#1 >Sa*`q3J W$JebW<z(
kE.x+2 . .QB~ 二维参数优化 - 设计#2 oRN-xng }MR1^
C\_zdADUb% a m-b!l!q^ 制造公差分析 - 设计#2 s57N) 0kP }14{2=!Q
eLwTaW !C bf_I9Z3m 不同光栅周期的三维参数优化 i$^)UZJ&0 Z'pQ^MO
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