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摘要 UfSWdR) 7^h?<X\ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 cTFyF) AS[cz!
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U) 光栅特性与参数的严格分析 `AeId/A4n +s
c|PB 不同光栅周期的衍射效率 Nrva?W_i LZV K>9]I97g' 6|t4\' 考虑光栅周期的选择 [nxjPx9- l.?R7f Y(ly0U} 偏振相关衍射特性 xXM`f0s@+] C ".&m
<P7f\$o~ h*{{_3, 偏振相关衍射特性 .G#S*L a1]k(AuQrC
!-%i" a V=BF"S;-' 偏振相关衍射特性 PmO utYV 5zX;/n~ 7\'vSHIL ` ZXX[&C 基于参数优化的光栅设计 Xz&Hfs"/J [s"3g\L'; 具有固定周期的二维参数优化 5bR;R{:x meT~b
|S|0'C* 二维参数优化 - 设计#1 hV])\t=yf oJbD|m
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cHs@1R/-s 二维参数优化 - 设计#2 K?,eIZ{.S NduvfA4
I.A7H'j *+re2O)Eh' 制造公差分析 - 设计#2 q
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rZ 不同光栅周期的三维参数优化 VG^*?62 \dTX%<5D
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u+UtvzUC 文件信息 S.1\e"MfI ma[%,u` je@F:5 16ahU$@- $$ou qLu QQ:2987619807 8TGO6oY+=
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