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摘要 J}TS-j 0 }3Pz{{B&+O 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ~o%|#-S s'ntf  $ # @G! Vy{=Y(cpF2 设计任务 LDW":k| X_|8CD-@6  AShJt xxa '+Dn~8Y+9 xzy7 I6X 光栅特性与参数的严格分析 [Ym?"YwVX 1okL]VrI 不同光栅周期的衍射效率 XY1NTo. = O:RPH{D  ,y3o ,gl 2;5EH 0 考虑光栅周期的选择 U#+S9jWe 8N!E`{W  -Duy: C6W 偏振相关衍射特性 CY0|.x [L|H1ll
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.jZmQtc 偏振相关衍射特性 > z
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 mmAikT#k [E2afC>zrl 偏振相关衍射特性 n%3rv?m7 $91c9z;f^  cG,B;kMjo
OT L=( k 基于参数优化的光栅设计 oU$Niw9f X(?.*m@+TB 具有固定周期的二维参数优化 rv&(yA
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 nE+sbf C 二维参数优化 - 设计＃1 y d`xmc) X + *@
 K!5QFO4 hk J 4,. 二维参数优化 - 设计＃2 e4y d n $s4 rG=q
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<0 f X7?p$!M6;B 制造公差分析 - 设计＃2
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 {^Vkx f] rF2`4j&! 不同光栅周期的三维参数优化 uo_Y"QiKEH
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