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摘要 1Zt>andBF R8C#D B 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 3+oGR5gIN M~,N~ N1  gUHx(Fi[4 iWp
6^g 设计任务 :hFKmoy# @M&qH[tK-A  N977F$B o (L'|n *Cr _(:<l
Y aY 光栅特性与参数的严格分析 nR`)kORc 0AD8X +M{P 不同光栅周期的衍射效率 8KMo !p\i nN5fP<H2x  vtF|: *h fprP$MbI 考虑光栅周期的选择 FL E3LH 7r o&Q%  14z
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IxaF *4JG 基于参数优化的光栅设计 K $I`&M( y}1Pc* 具有固定周期的二维参数优化 Y49&EQ
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V 二维参数优化 - 设计＃2 U^8S@#1Q NG_7jZzXA9
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