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摘要 <&E3QeK l/0TNOA 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 FglCqO} syhTOhOX ORk8^0\ eU?SLIof[{ 设计任务 /Ps}IW % FW__SN$c V}(snG, ;i?Ao:] $ KQ7S>T 光栅特性与参数的严格分析 Cp(,+dD :[P>e
ox 不同光栅周期的衍射效率 s,>1n0a g-j`Ex% &>43l+ G>f-w F6 考虑光栅周期的选择 \
a18Hp|% "MZj}}l Vvu+gP'z. 偏振相关衍射特性 -_BS!T%r E&r*[;$
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7, 偏振相关衍射特性 'zV/4iE= Wo=Q7~ yE L^Y'x? *+TIF"|1 基于参数优化的光栅设计 99 /fI so_ 具有固定周期的二维参数优化 x"0*U9f Cc^`M9dP
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?z>ZsD NltEX14Af 不同光栅周期的三维参数优化 bj^YB,iSM ukBj@.~
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