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摘要 lHliMBSc SMd[*9l
[ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 `6YN/"unfp \Lb wfd= rHybP6C< &eO.h%@ 设计任务 a3:45[SO4e 4QPHT#e qX HsRoiqo Cnc=GTRi <JXHg,Q 光栅特性与参数的严格分析 e<8KZ *Br
}U 不同光栅周期的衍射效率 xrlyph5mE qauvwAMuX <Nloh+n= SN}3 考虑光栅周期的选择 U5F1m]gFr G7GKO c8_,S[W 偏振相关衍射特性 ,s}7KE _ Fk^lDI-
$QT% -9& @C('kUX~! 偏振相关衍射特性 z0Y L, :.{d,)G
1xsJz^%V U(~Nmo' 偏振相关衍射特性 +,T}x+D |1<B(iB'{/ $j!:ET'V LR4W 基于参数优化的光栅设计 ^"uD:f) W=#jtU`:5 具有固定周期的二维参数优化 6aAN8wO;b u2':~h?l
C(KV5c 二维参数优化 - 设计#1 *Hv d A-^B?E
|llmq'Q AXo)(\ 二维参数优化 - 设计#2 q}E'x/s2m A~s6~
]N1,"W} wSALK)T1{ 制造公差分析 - 设计#2 QdD@[ K)\D,5X^
daf-B- `"xzC $ 不同光栅周期的三维参数优化 '&]6(+I> zR=g<e1xe
IpKI6[2{`f e&mTaCLG 制造公差分析 c[C(3c|n kc@\AZb
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