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摘要 JvT"bZk(o A9kzq_3 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 /C4^<k\ Vv8jEZ8 8[J}CdS =9"W@n[>W 设计任务 \'CDRr"uw
AiK wAxrc+ aEWWFN hrhb!0 光栅特性与参数的严格分析 H<}^'#"p ~d6DD;`K 不同光栅周期的衍射效率 #_(jS+lP?k
8`fjF/ Ygl%eP%Z l?Fb ='# 考虑光栅周期的选择 `/~8}Y{ JM\m)RH0 GF5^\Rf 偏振相关衍射特性 Hv\-_>}K ;Hj~n+
Vgyew9>E cg*)0U-_( 偏振相关衍射特性 FN%m0"/Z{t Ie4 hhW
[fKUyIY_ +{L<? " 偏振相关衍射特性 W"k8KODOY a\:VREKj, Vw&HVo D*YM[sN` 基于参数优化的光栅设计 ^>N]H>0'S [g Z"a* 具有固定周期的二维参数优化 d R]Q$CJ mBG=jI "xh
3neIR@W 二维参数优化 - 设计#1 qg}O/K #~.w&~:
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- Hw-Z 二维参数优化 - 设计#2 Iz{R}#8CZ (<Th=Fns?
;XDz)`c Z t&6Ua[Y} 制造公差分析 - 设计#2 D.1J_Y=9 8-Hsgf.*
\a=D p!<$vE 不同光栅周期的三维参数优化 0`I-2M4F*Q en:4H
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