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摘要 bUz7 !M$ R4QXX7h! 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 @Z K|k UO <%|{ W+  RpS 'Tz} <(@m913| 设计任务 eyl+D sK 0=(5C\w2  `<Zp!Hl(j Ge[N5N> k9Wih ejS 光栅特性与参数的严格分析 bv$)^ P ",~8Aci( 不同光栅周期的衍射效率 .wS' Xn& 81H04L9K 7  *]O[ZjyOY B7T(9Tj+Fh 考虑光栅周期的选择 T3)/?f?| s'fHh G6  $xlI"-( 偏振相关衍射特性 qV^,muyoG NBE)DL
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