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摘要 nz?BLO= p`.fYW:p 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 F4{. 7BT BL^Hj  m3!MHe~t LUVJ218p 设计任务 ( 2(;u1 ~map5 @Kd  ZTz(NS
EK ^p%+r B.j[ ,^[37 /S 光栅特性与参数的严格分析 /%'7sx[p
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