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摘要 (P#2Am$ ,.FTw,< 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;(0:6P8I X}zKV M]` Q4\ #>'1oC{ 设计任务 W,{`)NWg H5RHA^p| J+*rjdI @?]-5 ~3; C6"!'6 W 光栅特性与参数的严格分析 h.=B!wKK lIjHd#q-C 不同光栅周期的衍射效率 el|t6ZT* j|G-9E eBAB7r/7 3`9*Hoy0c 考虑光栅周期的选择 .`'SL''c M<$l&%<`G ,t+ATaOF 偏振相关衍射特性 A[ iPs9 ^Js9E
3sZK[Y|ax #6H<JB 偏振相关衍射特性 UdI>x 4bI $m=z87hX
,;d9uG2 O[L8(+Sn 偏振相关衍射特性 fA,+qs R-Fi`#PG2 ONGe/CEXT x b0+4w| 基于参数优化的光栅设计 * Yr-:s9J9 @E>^\!nH 具有固定周期的二维参数优化 _@OYC< /MU<)[*Ro
CXQ?P 二维参数优化 - 设计#1 (&*F`\ 4a @iR2e
sMS`-,37u -mkync3 二维参数优化 - 设计#2 8_,ZJ9l; 7.Mh$?;i9
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f)b 制造公差分析 - 设计#2 oPbD9 XP` kf]9
PjP%,-@1 _N:h&uw 不同光栅周期的三维参数优化 >ATW/9r " /'=gE
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