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摘要 x_VD9
XMpa87\ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 yDe6f(D t'{IE!_ kACgP!~/1 S;L=W9=wby 设计任务 *JT,]7> r=74'g E8LA+dKN: vj,OX~| {@YY8SKb9 光栅特性与参数的严格分析 R.'-jvO \{u 9Kc 不同光栅周期的衍射效率 YkuFt>U9, 2uZ4$_ 56`Tna,t x,81#=m^h 考虑光栅周期的选择 L5j%4BlK/ =&~7Q" |^k&6QO5 偏振相关衍射特性 ]9]o*{_+(f aP&bW))CI
%<]4]h M%(^GdI#Vf 偏振相关衍射特性 o7i>D6^^ ,$A'Y
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bo|3sN+D 偏振相关衍射特性 iKM!>Fi CR8szMa 6 @A'N(I=O *'to#_n&W
基于参数优化的光栅设计 9,c_(%C 6m$lK%P{1 具有固定周期的二维参数优化 `p'682x I !YVGT
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q"9 2][} 二维参数优化 - 设计#1 X 7R&>Pf %iR"eEE
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*hvC0U@3 %5$)w;p.$' 制造公差分析 - 设计#2 sXaudT 7z;X@+O}s
w&[&ZDsK B&L-Lc2 不同光栅周期的三维参数优化 cXod43 ?>/9ae^Bw
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