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摘要 aOuon0 (l^lS=x 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 tO0+~Wm )-
\w D|BN_ai9 ZN1p>+oY! 设计任务 VcL -Tt}M#W
4NzHzn lt]U?VZ !6%mt} h 光栅特性与参数的严格分析 OH(+]%B78 %)e+w+ 不同光栅周期的衍射效率 )
jvkwC 3$b(iI< " t5qAH++axN 0T5>i 0/ 考虑光栅周期的选择 ",+uvJT1O }:irjeI, r]S9z 偏振相关衍射特性 IY:O? M +OmSR*fA0
5a&wM 4s8E:I=K 偏振相关衍射特性 `iI"rlc 7AiCQWf9
KWUz]>Z {P5@2u6S 偏振相关衍射特性 P(;c` `lhLIQ'j (D{}1sZBQ E~P0}' 基于参数优化的光栅设计 l1[IXw? ?X1#b2s 具有固定周期的二维参数优化 v\eBL&WK SDwSlwf
s*f.` A*) 二维参数优化 - 设计#1 [
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G= cxc_9 Anv8)J!9u 制造公差分析 - 设计#2 bEKLameKv D3{lyi|8
E'8Bw7Tz f zO8by 不同光栅周期的三维参数优化 0 l@P]_qq` -/%jeDKp
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