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摘要 nE +H)%p ?YMBZ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 twu,yC! x`c7*q% DZ @B9<Zz{ D>8p:^3g 设计任务 P-a8S*RRa )Q62 I\ lu00@~rx/ 8k3y"239t k33\;9@k 光栅特性与参数的严格分析 `#'j3,\6 Q5}XD 不同光栅周期的衍射效率 2{.g7bO Yn[>Y) F b?^+V]9 S]ayH$w\Q 考虑光栅周期的选择 cxQAp I eJI-lo /7])]vZ_ 偏振相关衍射特性 7~FHn'xt z"T+J?V/
OPzudO &TY74w* 偏振相关衍射特性 \i/HHP[% 4BUG\~eI3
}LCm_av HHZw-/s,% 偏振相关衍射特性 4b[bj").A =}%#j0a4 6lCpf1>6@ q01 L{~>bz 基于参数优化的光栅设计 _}Qtx/Cg {ZrlbDQX 具有固定周期的二维参数优化 Yb^e7Eug
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mW4Cc1* 二维参数优化 - 设计#1 JH{/0x#+ zt:
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NuPlrCy; /6Q]f 制造公差分析 - 设计#2 "d:rPJT)(@ haBmwq(f
Cyd/HTNh< bJetqF6n 不同光栅周期的三维参数优化 :Rb\Ca 4P[MkMoC
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