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摘要 ^/%o%J& Hz v#:+n+y\ z 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 i9 &K *X=@yB*aK  Y| m_qB^_ bIb6yVnHi 设计任务 Iuu<2#gb8" ~jp!" f  "$~}'`(] _OJ0 < {E qXrt0s[ 光栅特性与参数的严格分析 ,#E3,bu6_4 bl"
(<TM 不同光栅周期的衍射效率 $ ] W[y= `q f\3JT\  a%Z4_ToLZ `W"a! ,s2 考虑光栅周期的选择 K-2o9No?j` OX)#F'Sl}  &TP:yA[ 偏振相关衍射特性 %w '/n>]j 4i_spF-3
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