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摘要 !L'O")!3 (<5&<JC{ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 7vsXfIP+ {&Sr<d5 2k""/xMF' xXc3#n 设计任务 ,`l8KRd r)t-_p37 '4d+!%2t umj5M5oe3 #kDJ>r |&- 光栅特性与参数的严格分析 E?P:!V=_ %Nm69j-5% 不同光栅周期的衍射效率 FiJU
* 2(sq*!tX O_wRI\! 8a4&}^| 考虑光栅周期的选择 s;-%Dfn wNm~H @=1kr ^i 偏振相关衍射特性 %7bZnK`C b}#ay2AR
/?P="j#u UN*XLHio 偏振相关衍射特性 SLG3u;Ab w_!]_6%{b
9fL48f$ Z,osdF 偏振相关衍射特性 SQB[d3f %v(\;&@ _=eeZ4f *Q8d&$ ^ 基于参数优化的光栅设计
BK1Aq3*) h[O!kwE 具有固定周期的二维参数优化 jreY'y: }~RH!Q1
\;>idbV 二维参数优化 - 设计#1 .Lk2S "+ wb
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#n 二维参数优化 - 设计#2 04wmN Iz#h:O
h.6yI V}>0r+NL< 制造公差分析 - 设计#2 j/R EnrRnVB
@,-xaZ[ LV&tu7c 不同光栅周期的三维参数优化 .s_wP pt;kN&A^
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