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摘要 a 7,C>%I mOlI#5H 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Kc^;vT >3 5O6hxcMjT  ,1"KHv 2m2;t 0 设计任务 0p\@!Z H ~((w?Yy"v  _> *j H' IyLx0[:U 6efnxxY}sa 光栅特性与参数的严格分析 &HY+n)
o >:|q&|x- 不同光栅周期的衍射效率 d8x \ PxS8 n?y  ;y2/-tL? xcf%KXJf6 考虑光栅周期的选择 J C3m.)/ i?F
>+  _n` a`2C|m 偏振相关衍射特性 s K5r$Dbr Q(oN/y3,
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+| LmnymcH 偏振相关衍射特性 i0$kit cu/5$m?xx  H?X|(r|+
Uh):b%bS;J 基于参数优化的光栅设计 u[
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6& 具有固定周期的二维参数优化 KW^7H
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IV aN8|J?JH 制造公差分析 N<- gI9_
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