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摘要 t% <y ^Wa= .*.eY?,V 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 {esb"beGLa _-9cGm v  9jM7z/Ff 6E9/ z 设计任务 }6=)w@v KD H<T4#x  kQQDaZ 8 ED>a'y$ f Gzg3{fXl 光栅特性与参数的严格分析 7?y 7fwER /H3w7QU 不同光栅周期的衍射效率
;Me*# / 7q 5 *grm  <^_crJONom %/5Wj_|p 考虑光栅周期的选择 "^a"`?J 2% OAQ(  ,CuWQ'H 偏振相关衍射特性 i"
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 N^@:+,<3 F[`dX 偏振相关衍射特性 #.$y %\n|2*r  n${k^e -=
|r36iUHZS 基于参数优化的光栅设计 cO 5zg<wF Ym! e}`A\F 具有固定周期的二维参数优化 Kfr1 k
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 g.vE%zKL 二维参数优化 - 设计＃1 )5gj0#|CG@ Xc}XRKiy{
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 K7K/P{@9[9 w>=N~0@t 制造公差分析 - 设计＃2 1 <+aF, w^$C\bCbh
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