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摘要 u:H@]z(x A(AyLxB47* 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 -k\7k2 Re?sopg0r  ^E U& 6M2 N]cGJU>$ 设计任务 ]7kq@o/7 lv9Ss-c4  )CS 7>Vx z79L2lJn oQ!} @CaN| 光栅特性与参数的严格分析 Y1AbG1n| b><jhbv 不同光栅周期的衍射效率 /:dVW" A| *|AnL}GJ  EVmQ"PKL' #FF5xe 考虑光栅周期的选择 :0ND0A{K: :j$K. 3n  !7J;h{3Uw 偏振相关衍射特性 :7Mo0,Bw, ri~d Wx
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aA%$<ItH 偏振相关衍射特性 9B Lz
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 Y">tfLIL_ 18w[T=7) 偏振相关衍射特性 W"Dj+ /uS ~bT0gIc  7d/ wT+f
93fKv 基于参数优化的光栅设计 9<<$ uf.B Ed #%F-1sX 具有固定周期的二维参数优化 +`f gn9p
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 U._ U!U 二维参数优化 - 设计＃1 ^w2n 5:|5NX[.b
 9 N=KU m|~,# d@ 二维参数优化 - 设计＃2 c%pW'UE& O~ d!* A
 ~2@U85"o T'XAcH 制造公差分析 - 设计＃2 f]T1:N*t G+[>or}
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KtEM H 不同光栅周期的三维参数优化 DJ} xD&G
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 B>X+eK T<zonx1 制造公差分析 MBcOIy[&A
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