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摘要 --FtFo obolDha 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 2Hwf:S' :+!b8[?Z ra2q. H r= aQS5 设计任务 Qf]!K6eR M0
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GtH<0Du b7j#a# 光栅特性与参数的严格分析 =oDrN7`,B wJkkc9Rh'( 不同光栅周期的衍射效率 `VN<6o( >E=a~ O [rsAY&. P[i/o# 考虑光栅周期的选择 EtGr&\, CNYchE,} T9?_ `h 偏振相关衍射特性 V= PoQ9d m
0PF"( `<~P> rID]!7~ 偏振相关衍射特性 Su #1yw> [?*^&[ \_bX2Lg >.4Sx~VH2 偏振相关衍射特性 +8I0.,' r
|/9Dn% h+(s/o?\ blv6 基于参数优化的光栅设计 _P1-d`b0 a |D:0BATRP 具有固定周期的二维参数优化 w2[R&hJ xpwzz O*U iX p8u** 二维参数优化 - 设计#1 {*9i}w|2 v^G5
N)F b\Ub<pE t+ ]+Gn 二维参数优化 - 设计#2 5Ncd1 m(Ynl=c
^5}3FvW -X
\vB 制造公差分析 - 设计#2 H1M>60*
P_g 5H5Kt9DoW gEu\X|7' 不同光栅周期的三维参数优化 !ZW0yCwLQ LBB[aF,Lr n3\vq3^? Fu$sfq 制造公差分析 z16++LKmM [-ecKPx i^l;PvIF FC#Qtu~J 走进VirtualLab Fusion l ,.;dw ."O(Ig[ oP6G2@3P/ f9$q.a* VirtualLab Fusion 工作流程 J:a^'' }s[/b"%y [>86i m/AN*`V VirtualLab Fusion技术 x!+a,+G VrK 5a9*^ G'Y|MCKz> 文件信息 VbYapPu4b! 2RCnk&u S EmD's q8J/tw?%v \+\h<D-5 QQ:2987619807 mVLGQlvVK
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