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摘要 VEEeQy o5 XU DDi 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 FEmlC,% ZDmk <}A-U  <d`Uifq D F_ Cz 设计任务 3A}8? jt r=8OiL  q.F1 Jj qAik $. D?F5o^e"h< 光栅特性与参数的严格分析 J5IJy3d - XG$ 0 不同光栅周期的衍射效率 z))[Lg OBSJbDqT  J*C*]( (U T*T 考虑光栅周期的选择 8HA=O ?Cg h*Tiv^a  ! `=?<Fl 偏振相关衍射特性 OS Ip ?R:Hj=.
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