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摘要 tr0P;}= r4/G&m[V 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 W|J8QNL?jm 3Z#k9c_b d;O16xcM/ DJ;il)^ 设计任务 @~%R%Vu ogQY"c8 ]TQ2PVN2 ]b!o(5m -L@4da[]i 光栅特性与参数的严格分析 %Cbqi.iuQ wJM})O%SQ 不同光栅周期的衍射效率 |?{3&'`J8w Q!8AFLff4 ,> lOmyh "!()yjy 考虑光栅周期的选择 xo2PxUO !'uL eS(\E0%QI 偏振相关衍射特性 p2 u*{k{ 7YT%.ID
zhtNL_ ]V*s-och' 偏振相关衍射特性 mxk :P gSQq
_7r<RZ 0o~? ]C 偏振相关衍射特性 Z18T<e vw VeHjR 0`%eP5 SV#$Cf g 基于参数优化的光栅设计 _u TaN Z .6M~ 具有固定周期的二维参数优化 5/Viz`hsz
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,:POo^!/fT 二维参数优化 - 设计#1 D/QSC]" 3V~871:-~
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D^qto{! V45A>#?U 制造公差分析 - 设计#2 Vb^P{F eV:I :::
CT5\8C Er/h:= 不同光栅周期的三维参数优化 GaV6h|6_ 3z7SK Gy
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