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摘要 d!5C$C/x NK2Kw{c"iI 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 dR< sBYo wN\%b}pp  LF vKF . >j5)
MF{" 设计任务 l5F>v!NA
uo ;aC$US  zV _U/]y T&c0j( 4HQP, 光栅特性与参数的严格分析 ?Y 7'OlO 5@ecZ2`)+h 不同光栅周期的衍射效率 `m X bF `,gGmh  -B-?z?+(O REUWK#> 考虑光栅周期的选择 ifTMoC% i_Dv+^&zV  r|wB&
PGW 偏振相关衍射特性 Ca?5bCI, 7pMQ1- (
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S=H<5*]g 偏振相关衍射特性 WPi^;c8
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 {WQH <`,pyvR Kv 偏振相关衍射特性 DFKFsu8s ~V&4<=r`  .|[ZEXq
)nmL gsg 基于参数优化的光栅设计 q"xIW0 Pc c6FKpdn% 具有固定周期的二维参数优化 }`#OA]NZ
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 v' nM= 二维参数优化 - 设计＃1 P=PcO> )';Rb$<Qn
 iU3)4(R UQ6UZd37 二维参数优化 - 设计＃2 to{/@^ D "S#4
 ]vj4E"2; f q(r,h=| 制造公差分析 - 设计＃2 H } w"4s Ylbh_ d~BU
 PkA_uD hw XOgl> 1O 不同光栅周期的三维参数优化 V? AHj<
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