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摘要 5c~'!: 7 uAb 03Q 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (^S5 Sc = X'2 Gi  9}whWh zZYHc?Z 设计任务 Orc>.~+f%A &9 h  Ao!=um5D J YnxU(v'\ 7s N0`7 光栅特性与参数的严格分析 c+;S<g 0 g!`BXm W 不同光栅周期的衍射效率 !'PlDGD ~mcZUiP9  I:/4t^% *08+\ed"# 考虑光栅周期的选择 5xv,!/@ VLd= " ~  3d U#Ueu 偏振相关衍射特性 MVuP
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x[a'(5PwY 基于参数优化的光栅设计 xx}'l:}2 ] 0, "ZV } 具有固定周期的二维参数优化 jM;d>Gymx
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