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摘要 Nsd7?|@HI #FHyP1uyc 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 @jp}WwC/ Wz^M* =,  a!!>}e>Cj* NL-<K 设计任务 w'-J 24>= |k-IY] 6  N+[ |"v ?g5u#Q> ! t'F_1P^*/ 光栅特性与参数的严格分析 -1>$3-ur~ KJf~9w9U 不同光栅周期的衍射效率 5%5z@Ka @A-^~LoP.  pOz 4>R YyZ>w2_MTi 考虑光栅周期的选择 wv ~?<DF ^z^ UFW  $7 08\! 偏振相关衍射特性 @Q=P6Rz
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