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摘要 HwGtLeB" tou^p-)GQ| 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 \agC Q& cbteNA!> ::5-UxGL<2 L*l( ~t)vF 设计任务 1";~"p2( $_ NaxV [Dt\E4 ;zOZu~Q|' vx4&
;2 光栅特性与参数的严格分析 O7K))w fSP~~YSeU 不同光栅周期的衍射效率 K)v(Z" ]MHQ"E? J)-owu; Z/I!\ 考虑光栅周期的选择 U-k;kmaj B8nXWi 4R0_%x6vG 偏振相关衍射特性 p!691LI pQ/:*cd+M
ENmo^O#,u *[U:'o`67 偏振相关衍射特性 9w(j2i
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2Fh_ QZfPd\Q5 偏振相关衍射特性 :vr,@1c 2ReulL8j kj8zWG4KH \uYUX~}i" 基于参数优化的光栅设计 /}VQzF i" )_M|
具有固定周期的二维参数优化 J8%|Gd0#4 nqH^%/7)A@
EW!$D 二维参数优化 - 设计#1 Brl6r8LGi /X:lt^?%I
zPmVECS Zu$f[U)X 二维参数优化 - 设计#2 Dux`BKl ]`NbNr]K
f4_\F/ ?yz%r`;r 制造公差分析 - 设计#2 aw 7f$Fqk ceOjuzY
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NS ~;+vF-]R 不同光栅周期的三维参数优化 79V5{2Y*U U\[V !1O
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