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摘要 2{t i])
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/N@ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 [qhQj\cK [<~1.L^I 4 z~ fn9g >Le L%$ 设计任务 u(ep$>[F#_ /|{Yot
e x,W)qv _C`cO k(n{$ 光栅特性与参数的严格分析 #bX~.jKW %j],6wW5J 不同光栅周期的衍射效率 LqnN5l@_B Y)@mL~){ oXA3i "eWN52 考虑光栅周期的选择 voRr9E*n Y9rW_m@B Y,O)"6ev 偏振相关衍射特性 CJA5w[m _is<.&f6
3`@alhD' f&+=eUp 偏振相关衍射特性 N>z<v\` Do@:|n
"bFt+N A^+G
w\ 偏振相关衍射特性 J[9yQ =ogzq.+| bH}6N>Fp |*079v 基于参数优化的光栅设计 A|sTnhp~ oY@4G)5 具有固定周期的二维参数优化 j-2`yR H"PnX-fGN
p8<Y5:` 二维参数优化 - 设计#1 FY%v \`@1* eto3dJ!R
@DgJxY| J{$+\ 二维参数优化 - 设计#2 X+;F5b9z nenYP0
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C 制造公差分析 - 设计#2 %)[m bb QF/A-[V
h4CDZ 2XJn3wPi 不同光栅周期的三维参数优化 w[w{~`([", ;2"#X2B
U~z`u&/ EL+6u>\-k 制造公差分析 loVUB'OSv MCHRNhb9
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