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摘要 W :qQ ;<? mMi@<E 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 w QnW2)9! <)J83D0$E  T*'?;u 7E}. P1 设计任务 -*QxZiKD E /Ng  Mjr19_.S P*\h)F/3}t #$ Q2ijT0 光栅特性与参数的严格分析 C'a %piX \]a@ NBv 不同光栅周期的衍射效率 ,{tK{XpS <$8`]e?I  x KZLXQ'e- l^ Q -KUI 考虑光栅周期的选择 U11bQ4ak nJ]oApb/-  /%P|<[<
[ 偏振相关衍射特性 {imz1g; aSy^( WN8
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 R[l9f8 G';yb^DB 偏振相关衍射特性 n& j@7R x'c%w:  <x^Ab#K"
- %5O:n 基于参数优化的光栅设计 Q=+*OQV29 YH
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> 不同光栅周期的三维参数优化 3. c0P RZ
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