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摘要 6agq^wI B}TY+@ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 +\Vw:~e <<LLEdB ML>M:Ik+ ;J|t-$Z 设计任务 48wt h)Fc<,vwBE tn$TyCzckW rY(7IX `n>|rd 光栅特性与参数的严格分析 ^>an4UJt `F/R:!v 不同光栅周期的衍射效率 ;-`NT`
#2
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nT> v 考虑光栅周期的选择 l1T`[2 MxpAh<u!vF L'Cd`.yVO 偏振相关衍射特性 )yyH_Ax2 G4c@v1#%.
#qVTB@d /4(HVua 偏振相关衍射特性 bhpaC8| /x@aAJ|
d_we?DZ| C:No ^nH> 偏振相关衍射特性 K W&muD iT&4;W=72~ [q%`q`EG Y\WQ0'y 基于参数优化的光栅设计 ez32k[eV! Q>4NUq 具有固定周期的二维参数优化 _yAY5TIv B](R(x>L
9]+zZP_# 二维参数优化 - 设计#1 <O=0 ^V OB9E30
tRI<K mTsyVji8 二维参数优化 - 设计#2 gOnZ# Fk49~z
564L.^$@| 47(_5PFb# 制造公差分析 - 设计#2 xGyl7$J b;D
B~]6[Z I)yaR+l 不同光栅周期的三维参数优化 3PvxU|*F tXA?[ S
|_ED*ATR= 7~J>Ga 制造公差分析 -3yK>\y=| y@v)kN)Y9\
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