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摘要 >zX`qv&> yRy^'E~ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 q"0_Px9P ^^z_[Ih ,8[R0wsBaz IE:;`e:\D 设计任务 Ve\.7s lk4U/: 7hlzuZob+y E>c*A40=.n b
Bkg/p] 光栅特性与参数的严格分析 Esdv+f}4; wd*V,ZN7 不同光栅周期的衍射效率 nTv^][ yk0^m/=C( K!a7Hg >@tJ7mM 考虑光栅周期的选择 ~Dbu;cqR@ II]-mb Bo4iX,zu 偏振相关衍射特性 wBCBZs$H a(_3271
D\Fu4Eg 9Xe|*bT 偏振相关衍射特性 ZdJQ9y [{PmU~RMYf
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TmS#F1 +{\b&q_ !DBaC%TGC 基于参数优化的光栅设计 wV q4DE OzV|z/R2' 具有固定周期的二维参数优化 ]]hsLOM] 2OwO|n
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Ubv_a 2NF#mWZ(s 制造公差分析 - 设计#2 5XZ\7Z| `L
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Uc0Sb /mQ9}E4X 不同光栅周期的三维参数优化 ^,#MfF6 CTZ#QiNP
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