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摘要 j O -H 1@; 6'F4p1VG*I 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (Yv )%2 :2 Fy`PPab  q2$-U& @5[9iY 设计任务 GKk> ;X- |}FK;@'I 6  oP"X-I brdfj E 8 b|rMmx8vA 光栅特性与参数的严格分析 MF41q%9p ' XbrO|% 不同光栅周期的衍射效率 Ala~4_" WL FX
yyY-(O  l%f &vOcd I,nW~;OV0 考虑光栅周期的选择 nt5x[xa `R\nw)xq  HCCEIgCT 偏振相关衍射特性 & az
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v/s6!3pnl 偏振相关衍射特性 QAk.~ ob
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 `\pv^#5HV9 Dp8`O4YC 偏振相关衍射特性 Cj +{%^# /A4^l]H;+3  k$NNpv&;d
b@> MA 基于参数优化的光栅设计 ^^;#Si ]zt77'J 具有固定周期的二维参数优化 h(>eHP
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 Twi7g3}/jB 二维参数优化 - 设计＃1 $ Ith8p~ &yabxl_
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 KT9!R [2l2w[7Rid 不同光栅周期的三维参数优化 o Z!1^o3V
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