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摘要 Hc@_@G tFc<f7k 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 u=qaz7E rr2!H%: P7zUf [<{r~YFjWW 设计任务 @[?ZwzY:9 vf@j d}? !W8=\:D[ kr~n5WiAZ 2A@oa9 光栅特性与参数的严格分析 sbX7VfAR` B|"/bQ 不同光栅周期的衍射效率 Ipq0
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+ ^'`(E_2u i ]8bj5j{ VD@$y^!H 考虑光栅周期的选择 nyqX\m- $#+D:W)az J^CAQfcx 偏振相关衍射特性 ilVi MZX)znO
s@iY'11 ZzgzeT+bv 偏振相关衍射特性 eGg6wd p`A2^FS)
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k6 ;`Xm?N 偏振相关衍射特性 Y$"m*0 $z*"@ d>mZY66P - E GZ 基于参数优化的光栅设计 ](Wa:U}Xs |>xuH#Q 具有固定周期的二维参数优化 g.di3GGi @iV-pJ-
gCPH>8JwS0 二维参数优化 - 设计#1 [pp|*@1T r,.j^a
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.TdFI"Yn e21J9e6z 制造公差分析 - 设计#2 /bo=,%wJ[ F1_,V?
5EVypw?]x "5k6FV 不同光栅周期的三维参数优化 kiN,N]-V 7?uDh'utt
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