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摘要 ]|-sZ<?<i 0NeIQr1N_ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 4*ZY#7h %tMx48'N 4[(NxXH8M _U_O0@xi 设计任务 kuI~lBWI ^Z-oO#)h# pM^Z C <5?pa3 .g3=L 光栅特性与参数的严格分析 P(3k1SM /5<= m: 不同光栅周期的衍射效率 E.Q]X]q T](}jQxj` Sbl = U jsQHg2Vd 考虑光栅周期的选择 oOLey!uZw Vr|e(e.% |UlG@Mn 偏振相关衍射特性 -@e2/6Oi .faf!3d
iy8J l m<49<O6o 偏振相关衍射特性
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_1NK9dp: {l)$9! 偏振相关衍射特性 mU]VFPr5 i!zFW-*5 |{&M#qXe >{N}UNZ$} 基于参数优化的光栅设计 >MGWN zs~Tu 具有固定周期的二维参数优化 #1/~eIEY \nt~K}a
'f!U[Qatg 二维参数优化 - 设计#1 i84!x%|P e{7\pQK
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b,^Gj]7 IH;sVT$M 制造公差分析 - 设计#2 X%+lgm+ r|=1{Nx
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J\kR 不同光栅周期的三维参数优化 ]
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