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摘要 y#v<V1b] w42=tN+B 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 OOZxs?pR O)%s_/UX * _@t$W p-f"4vH 设计任务 'Rq2x-72} nA#N ,^Rr p5`={'>- 7p_B?r ):Pzsz7 光栅特性与参数的严格分析 ICD;a O#n=mJ 不同光栅周期的衍射效率 d7P'c!@+ XOT|: /Y0oA3am -(JBgM" 考虑光栅周期的选择 ;.{J>Q/U, W0k7(v) ]S7>=S 偏振相关衍射特性 ^*'fDP* cP^c}e*;NS
4,.[B7irR |Ng}ZLBM 偏振相关衍射特性 f,'^"Me$c 2Dw}o;1'
&Y jUoe o}e]W, 偏振相关衍射特性 @ n^2UJ :vJ1Fo! ZZrvl4h Q?V'3ZZF! 基于参数优化的光栅设计 F*p@hl UTVqoCHA 具有固定周期的二维参数优化 :&J1#% t GQ6~Si2
k{J\)z 二维参数优化 - 设计#1 iC 4rzgq Bmv5yc+;
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"m" 二维参数优化 - 设计#2 ~;vt{pk kE854Ej
!|~yf3 AHet,N 制造公差分析 - 设计#2 ]ASTw(4 6r)B|~,OA
YQ`88z >!PCEw<i 不同光栅周期的三维参数优化 B3W2?5p 2#X>^LH
?*:BgaR_ ^?S lM 制造公差分析 n!h952" r#B{j$Rw
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