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摘要 * \B(- %<r}V<OeR 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 fQ1Dp a|(|!= <9\Lv]ng i(ZzE 设计任务 z "z C^c<s _pzYmQ i'10qWz #R7hk5/8n} 光栅特性与参数的严格分析 B%`|W@v ]+b?J0|P< 不同光栅周期的衍射效率 s8 u`v1 pNZ3vTs6 !/ dH"h s8'!1rHd 考虑光栅周期的选择 ko|M2\ IwOL1\'T4 k!G{#(++&6 偏振相关衍射特性 `GlOl- 72/ bC
4"\x# K7C!ZXw~ 偏振相关衍射特性 {NcJL< ;tS :hcOceNz
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`+.F;}s Ups0Xg&{ 偏振相关衍射特性 F/,6Jh $5\!ws<cZ xAO\' #m yE.st9m 基于参数优化的光栅设计 =M9R~J! ,\i,2<hz. 具有固定周期的二维参数优化 2
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v;-0^s/P 二维参数优化 - 设计#1 _zzT[} IWm@pfC+g
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Lsai8 B 制造公差分析 - 设计#2 VKfpk^rU hN*v|LFf1
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