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摘要 rf2+~B{$, q/
x(:yol 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 uXs.7+f }y<p_dZI dQ4VpR9|;
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%OA 设计任务 P'.M.I@ n:hHm, 8PWx>}XPt 6g/ <FM NVEjUt/ 光栅特性与参数的严格分析 ?o@5PL ubC(%Y_k 不同光栅周期的衍射效率 2OXcP!\Y ZI'MfkEZ* RUJkfi=$ Dc,h(2 考虑光栅周期的选择 gW{<:6}!* EXlmIY4 }b9"&io 偏振相关衍射特性 G_GPnKdd m5O;aj* i
e:SBX/\j KeU|E<|! 偏振相关衍射特性 SZO$# L5%t.7B
p0 @,- l+6y$2QR 偏振相关衍射特性 o:H^
L,<Tl r(ej=aR ~F?vf@k pwg$% lv 基于参数优化的光栅设计 nz72w_ #;9I3,@/Y 具有固定周期的二维参数优化 uSZCJ#'G p2]@yE7w
U 6(( 二维参数优化 - 设计#1 VR86ok OE{{,HFa`G
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h^; XLEEd?Vct9 二维参数优化 - 设计#2 ~r<@`[-L yc4?'k!
wul$lJ?tE n#jBqr&!M 制造公差分析 - 设计#2 3\x@G)1 [E9V#J89
?gknJ: W[pOLc- 不同光栅周期的三维参数优化 |Ai/q6u K gN=b
'r&az BO \!!qzrq 制造公差分析 XJx$HM&0M .YV{w L@cB
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