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摘要 QM3,'?ekRH IG(?xf\C 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 FX9F"42@ {x'GJtpb  `D9]*c
!mO `cPywn@uGZ 设计任务 -':Y\:W hN['7:bQ  fLV"T_rk >=]'hyn]] >zDF2Y[ 光栅特性与参数的严格分析 #cj6{%c 4 }2K $^u R 不同光栅周期的衍射效率 USFD y Q{k
At%  )p!7 #v/@f 4w#``UY)' 考虑光栅周期的选择 J=pztASt J_>w 3uY  Pnd `=%w%] 偏振相关衍射特性 AuR$g7z D;UV&.$'v
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O?<&+(uMTT 基于参数优化的光栅设计 ?$e9<lsQq) p{PE@KO : 具有固定周期的二维参数优化 '#(v=|J
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