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摘要 B/iRR2h UL46%MFQ\ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 500qg({2] Q%seV<!/ Up(Jw-. +[=yLE#P% 设计任务 sRM3G]nUr oAMB}a; BQs~>}(V A3\%t@y L>,j*a_[ 光栅特性与参数的严格分析 4\#!Gv- ;}=4z^^5 不同光栅周期的衍射效率 'CrBxaA]s Kb<^Wdy4T RWN2P6 bIX'|= 考虑光栅周期的选择 M"E ]r=1 *jBn
^ BUuU#e5 偏振相关衍射特性 w&M)ws;$ WWO@ULGY
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kMz 偏振相关衍射特性 #WOb&h Ww{|:>j
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K(SP3 偏振相关衍射特性 p|W <xFk CoZXbTq 7_AR()CM =,*4:TU 基于参数优化的光栅设计 N+<`Er X(b"b:j' 具有固定周期的二维参数优化 [vIHYp /1Xji0LK
v{R:F 二维参数优化 - 设计#1 [M^ur%H rC(-dJkV
JG2)-x;9 U9om}WKO 二维参数优化 - 设计#2 jY]hMQ/H WHV]H
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.z6J)?J2 制造公差分析 - 设计#2 BjT0mk"P HMUn+kk+
s}~'o!}W _;A?w8z 不同光栅周期的三维参数优化 =4;GIiF@ ([-xM%BI6
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