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摘要 @--"u_[ 87[ ,.W 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 x?V^ l* g_IcF><F  Qw5(5W [L vD9\i*\2 设计任务 Jk-WD"J6 >J3m ta3  zN!yOlp5 g*My1+J! >n3GvZ5% 光栅特性与参数的严格分析 u &1M(~Ub= Y @'do) 不同光栅周期的衍射效率 oA[`|
ji yQUrHxm  'DVn /3?X t` E5bWG 考虑光栅周期的选择 3))CD,| lY"l6.c  B G\)B 偏振相关衍射特性 "hI"4xSg HBR/" m
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l<uI-RX " 基于参数优化的光栅设计 Zf}2c8Vc4 Ncbe{}<md 具有固定周期的二维参数优化 gizY4~
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 paD[4L?4Hk ~s4JG V~R 制造公差分析 - 设计＃2 \G v\&_ 3{ co.+
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