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摘要 * \ B(- %<r}V<OeR 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 fQ 1D p a|(|! =  <9\Lv]ng i(ZzE 设计任务 z "z C ^c <s  _pzY m Q i'10qWz #R7hk5/8n} 光栅特性与参数的严格分析 B%`| W@v ]+b?J0|P< 不同光栅周期的衍射效率 s8 u ` v1 pNZ3vTs6  !/ dH "h s8'!1rHd 考虑光栅周期的选择 ko|M 2 \ IwOL1\'T4  k!G{#(++&6 偏振相关衍射特性 `GlOl- 72 / bC
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yE.st9m 基于参数优化的光栅设计 =M9R~J! ,\i,2<hz. 具有固定周期的二维参数优化 2
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Lsai8 B 制造公差分析 - 设计＃2 VKfpk^rU hN*v|LFf1
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