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摘要 5T_n %vz Pw7]r<Q 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 EyD=q! ZVZ ['X]R:3h <EB+1GFuI 85 |OGtt 设计任务
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iBl 1MP~dRZ$ 1#V_Z^OL \:# L) 光栅特性与参数的严格分析 szZr4y<8|1 ]Yn D 不同光栅周期的衍射效率 =)H.cuc hLd^ agX l6T-}h:= *v
jmy/3 考虑光栅周期的选择 )BZ.Sv 53;}Nt#R |"X*@s\' 偏振相关衍射特性 U3ADsdn uB]7G0g:
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P_dCR VuhGx:Xl 偏振相关衍射特性 knu,"< #l\=}#\1Wb U2tV4_ e o lR?n(v 基于参数优化的光栅设计 x*/tyZg6 T6y\| 具有固定周期的二维参数优化 !=*g@mgF o8V5w!+#
4x=v?g& 二维参数优化 - 设计#1 a+[KI tzWSA-Li
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!_]Y~[ mDA:nx%5< 制造公差分析 - 设计#2 (Z+.45{- 1![!+X:w
.9/hHCp rT=rrvV3g 不同光栅周期的三维参数优化 #5Q pu
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