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摘要 %T ,\xZ HkfSx rTgQ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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jKb=Zkd mISuo 设计任务 2\z`G VvMU) <4!&iU+; vU\w3 !Lg}q!*%>V 光栅特性与参数的严格分析 @|\s$L ~qLhZR\g^ 不同光栅周期的衍射效率 y?R <g^A !+*?pq {C0OrO2: /xrq'|r?C 考虑光栅周期的选择 /bNVgK`L5 -JyODW#j RQK** 偏振相关衍射特性 bcx{_&1p nE"b` n
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X[ - m x3^ -5-SlQu 基于参数优化的光栅设计 I3E8vi%B. y3o4%K8 具有固定周期的二维参数优化 %ucmJ-<y# o j4)7{ :PjUl 二维参数优化 - 设计#1 $d??( e[k;SSs 2DBFXhP ks` 二维参数优化 - 设计#2 r0$9c @okm@6J*X g7Q*KA+ _ L:w;Oy9T 制造公差分析 - 设计#2 [@FeRIu8 @XG`D>%k vheAh`u^& +fQ$~vr{' 不同光栅周期的三维参数优化 ZT-45_ jeuNTDjeL [N$_@[ 9kg>)ty@ 制造公差分析 ,c %gwzU 0v)mgrl=, fD}]Mi:V _TcQ12H 5< 走进VirtualLab Fusion om39;nk!} {|wTZ Ly/~N/<\ mE@o27 VirtualLab Fusion 工作流程 _nFvM'`< :<7>-+pa cz~11j# NeZYchR VirtualLab Fusion技术 iwTBE]J $mg h.3z0 z)y(31K<1 文件信息 9d(v^T p~;z"Z ZZJ"Ny.2 UlZ)|Ya<M /@}# KP= QQ:2987619807 Us~wv"L=UX
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