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摘要 !6=;dX jeRE(3'Q 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )-&@8` @M4c/k} ZY`9 q| 1%G Nb 设计任务 -EP1Rl`\ Su6kpC!EW )2?]c Yu_*P-Ja6 2[+.*Ef 光栅特性与参数的严格分析 Sc>mw
%"Um8`]FVg 不同光栅周期的衍射效率 >ceC8"}J5M l%"DeRp,/ Z%3CmKdeF @u9L+*F
考虑光栅周期的选择 -J+1V{ 6)uBUM;i L?N&kzA 偏振相关衍射特性 `D[O\ VE *mp:#'
F8-GnTxa r4SwvxhG 偏振相关衍射特性 &@oI/i&0B qSr]d`7@
azv173XZ {TNORbZz 偏振相关衍射特性 #17 &rizl u>lt}0 m)p|NdTZc8 md+pS"8o; 基于参数优化的光栅设计 }jCO@v; t/Io.d 具有固定周期的二维参数优化 ]Wkgpfd56 zBy} > Jx
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制造公差分析 - 设计#2 #b[bgxm tI{]&dev
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