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摘要 zQ#* O'-n ci/qm\JI<< 对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 (][-()YV
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w"{8laB VirtualLab Fusion一瞥 xVgm 9s$"c
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 1z-A3a/- kD?@nx> VirtualLab Fusion中的工作流程 jM
@N<k 4 Yv:\c 构建光栅结构 T\g+w\N
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] S[zGA<}
−倾斜光栅高级设定[用例] GC' e
•光栅衍射效率分析 B\e*-:pq>
−光栅阶序分析器[用例] G]N3OIw&8
•使用参数优化进行光栅参数优化 z;F HZb9t,
•使用参数运行的容差分析 gPb.%^ p C*3St`2@9  Em^~OM3U$q (CY D]n
VirtualLab Fusion技术 CtV|oeJ
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 x^ EW'-a T&+3Xi: 文件信息 } Z FoCMM q6w)zTpJGJ
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Z\xnPhV QQ：2987619807 n6+h;+8;]
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