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摘要 kx'6FkZPIr Bljh'Qp>C 对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 6GJ?rE E/
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 Mb$&~! Xq J@NgsY VirtualLab Fusion一瞥 ^-=,q.[7
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 8.9S91]= -.z~u /uL VirtualLab Fusion中的工作流程 yq;gBIiZ 0eUsvzz 15 构建光栅结构 ;PLby]=O
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] noL<pkks~R
−倾斜光栅高级设定[用例] lT$A;7[
•光栅衍射效率分析 #]:nQ (
−光栅阶序分析器[用例] s6KZV@1
•使用参数优化进行光栅参数优化 \idg[&}l}
•使用参数运行的容差分析 N$_Rzh"9rr x:?1fvVR  5?2PUE,a %X#Wc:b
VirtualLab Fusion技术 8[zP2L!-
*K0 CUir|
 .;$/nz6vk wAy;ZNu 文件信息 \9D
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<L5[#V_ QQ：2987619807 Fdvex$r&
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