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摘要 BiZYGq khQ fLA 对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 1`Uu;mz
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 8]4W@~c ? O9| VirtualLab Fusion一瞥 41+@!`z7
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 ]v_u2f' .la_u8A] VirtualLab Fusion中的工作流程 02^Nf7DMR u!McPM8Yk 构建光栅结构 r6nWrO>y
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] `b_n\pf ]
−倾斜光栅高级设定[用例] k40`,;}9
•光栅衍射效率分析 {k']nI.>
−光栅阶序分析器[用例] ? ~oc4J*>(
•使用参数优化进行光栅参数优化 1.nYT*
•使用参数运行的容差分析 j% '~l#nw $-39O3  3+! G 9T! z%$M
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VirtualLab Fusion技术 $Ut1vp 1$
Gwm YhG<{
 G6X 5`eLQ - I~\ 文件信息 f;b f R&v X$_z"t
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fhro"5/4 QQ：2987619807 9Wdx"g52_D
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