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摘要 \~Ml<3Zd: ;R<V-gab 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Nz*,m'-1e f87XE";:A hM>.xr 1{a4zGE?[ 设计任务 t.
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6sTu! GZn=Hgv8 M"qS#*{ D,lY_6= 结果-容差分析 a"t~K B(} 'yY@%u Zw'050~- ma<uXq 结果-容差分析 u86@zlzd [gZR}E 7`^Y*:( 3)2{c VirtualLab Fusion一瞥 _V0%JE' 6-g>(g cq3Z}Cp .=d40m VirtualLab Fusion中的工作流程 )~ &gBX @de0)AJG6 构建光栅结构 Xh3b=i|K −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] d+ZXi' −倾斜光栅高级设定[用例] cD)9EFo •光栅衍射效率分析 bu $u@:q 6 −光栅阶序分析器[用例] R?2HnJh •使用参数优化进行光栅参数优化 TXf60{:f •使用参数运行的容差分析 x'OP0],# kCoE;)y$ {{>,c}O / }QQ 7jE VirtualLab Fusion技术 x(4"!# D`'Cnt/ VZ">vIRyi| ~F-lO1 文件信息 =VT\$
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