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摘要 am.d^' 6K8v:yYPa 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 {P?DkUO} $(0<T<\
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{nA+-=T {#z47Rz VirtualLab Fusion中的工作流程 t*BCpC} UDcr5u eKn 构建光栅结构 9_&]7ABV −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] GP^^
K −倾斜光栅高级设定[用例] ]NWcd~"b!Z •光栅衍射效率分析 *n@rPr- −光栅阶序分析器[用例] ~^Ga?Q_ •使用参数优化进行光栅参数优化 +ZE"pA^C •使用参数运行的容差分析 |4aU&OX -2U|G F)'_,.?0 6,~
% VirtualLab Fusion技术 id`9,IJx srImk6YD
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