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摘要 S(kj"t*3 +}H2 |vP 对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 U)~?/s{v
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 _:ypP R J xQV5- VoFC VirtualLab Fusion一瞥 9U1cH qV
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 ]m} <0-0 C2RR(n=N^ VirtualLab Fusion中的工作流程 2_@vSwC pp{Za@j 构建光栅结构 ~e,k 71
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] X]6Hgz66
−倾斜光栅高级设定[用例] EU?)AxH^
•光栅衍射效率分析 ~Xi_bTAyAW
−光栅阶序分析器[用例] >SO !{
•使用参数优化进行光栅参数优化 @i`*i@ g
•使用参数运行的容差分析 B WdR~|2 pE{ZWW[@+  KLpu7D5 (| hhjT{>je
VirtualLab Fusion技术 jUjgxP*7m
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 S ;DqM;Q D 3 m4:z 文件信息 o.yuz+ GtcY){7
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h=6Zvf<x QQ：2987619807 u,i~,M
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