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摘要 l~c>jm8. ,1+_k ="Z p[:%Ck"$7 cYS+XBz 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 <7) 6*u L#bQ`t 建模任务 e:occT "b7C0NE bUL9*{>G )C6 7qY[P 由于组件倾斜引起的干涉条纹 _3>zi.J/ ^Z+D7Q :N:8O^D^< 3&:fS|L~c 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 EOC"a}Cq- F\72^,0 sRnMBW.
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