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摘要 g/=K. TST4Vy3
j\RpO'+} %=j3jj[ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 !2:3MbtR \bCX=E- 建模任务 }_QKJw6/" ~{>?*Gd&T
UkCnqNvx $V6^G*Q 由于组件倾斜引起的干涉条纹 S~$'WA t<:D@J]a
J` {6l xr(|* 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 0e["]Tlnm %[<Y9g,:Q
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