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摘要 (.23rVvnT@ lFq{O;q7}
)jDJMi_[ N#k61x 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 &c%Y<1e`% #b)e4vwCq 建模任务 bF-"tm jndGiMA
.*5 Z"Q['G B\CN<<N>dD 由于组件倾斜引起的干涉条纹 lpmJLH.F \".^K5Pm
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Y` #R&H&1 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 8P: spD0 wCKj7y[

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