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摘要 D9M:^ qvPtyc^fN 8<Hf"M :0h_K 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 eUg~)m5G t. ;LnrY 建模任务 D*lKn62 EY tQw(!Q X7rMeu "s{5O> 由于组件倾斜引起的干涉条纹 9Q"'"b*?z NX}<*b/ o_~eg8 +llR204 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 #"B\UN fZoHf\B]{ ga`3 (
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