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摘要 NeUpl./b >[ywrB ?T
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Au 2uV=kq nO 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 61CNEzQ !i{@B 建模任务
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UI |D?z< ePB=aCZ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 e(j"u;= lYU_uFOs\
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sdj !j [U 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 L2AZ0E"ub [96|xe\s
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