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摘要 kCWV r @vC4[:"pD}
%(3|R@G. +~m46eI 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 I8hz(2jI Elcj tYu4 建模任务 4KhV|#-;k 5d Eh7XL
2b}t,&bv? V#2+"(7h 由于组件倾斜引起的干涉条纹 deBY5| ,1~"eGl!
<=zQ NBtx W9 GxXPA 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 '}ptj@, w1EXh
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