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摘要 b5v6Y:f&fK $4j$c|S! A7SE>e> Es~|:$(N]| 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 6-w'? G37 01P ~K|s 建模任务 ,*w AvNU\$B4aG ,& ^vc_} kQY+D1 由于组件倾斜引起的干涉条纹 KOQ9K 0/F/U=Z! Q4&|^RLLG 7 ?O~3 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 qXQ/M] 1p[Z`m*9 uDZ$'a
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