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摘要 ?-y!FD}m& Hkcr+BQ
Q9UBxpDV: $!(J4v=X 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 %(c5T)B9 rW~hFSrV[o 建模任务 !OVTs3} {iyO96YI[^
`eF&|3!IYQ Ux<2!vh 由于组件倾斜引起的干涉条纹 $6(,/}==0 MQ9Nn|4
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