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摘要 /15e-(Zz/ ya7/&Z
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'1?b?nVo Q v/}WnBk 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Y.M^tH: ;>?NH6B, 建模任务 lp`raNNo V+7x_>!&)
N}0-L$@SL _8$arjx= 由于组件倾斜引起的干涉条纹 CB(Qy9C%h[ yLfb'Ba
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