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摘要 Wt*&_+ae zc%#7"FM 8wKF.+_A ]{;=<t6 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Y5M>&}N f^z/s6I0 建模任务 t&MJSFkiA |}P4Gr}6 `uo'w:Q Lwm2:_\_b 由于组件倾斜引起的干涉条纹 (P&~PJH ^kA^>vi u^&2T(xGi ~vgm;O 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 dP}=cZ~ H}5zKv.T xFvDKW)_X7
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