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摘要 \A9hYTC) ZU-vZD> /tGj`C&qtw By-A1|4Cp` 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 v %fRq!~ 7|eD}=jy 建模任务 vT>ki0P_; 6H_7M(f P~"`Og+ *~%#
=o 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ^l" Q:~>$5Em5 }28,fb
/ F(Iq8DV 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 AmmUoS\ (qM(~4|` #=B~}
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