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摘要 <Wa7$ h F Wo+^R%K'4 RhD ~=k?ea/> 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Yx':~ 0;Z] vl/| 建模任务 rtC:3fDy e_3($pj ^k5# {?I 9^1li2z k{ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 bT c^huP
>B$J qc"PTv0q tf4clzSTa 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 \fSo9$ i<-a-Z+^ BNq6dz$ J
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