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摘要 EW`3h9v~ fq(e~Aqw$ -[F^~Gv|; &ke4":7X 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 _RmrjDk 4-m%[D
|W 建模任务 2{&" 3dq +$-a:zx`l 4MIVlg9 WC4Il
C 由于组件倾斜引起的干涉条纹 5E@V@kw IE6/
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~T exhF5,AW|K 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 Xy{b(b;9 Y/+ D4^L aX|`G]PhdI
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