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    [原创]如何分析部分干涉成像系统 (光刻机成像系统) [复制链接]

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    离线markborn
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-06-28
    如何分析部分干涉成像系统 (光刻机系统) o:'MpKm  
    Of#u  
    在光刻应用中,所使用的光源不是完全相干的,如何在晶片上分析部分相干成像系统中的掩模? {dlXLx!B  
    在这里给大家分享一个案例, 希望可以帮到大家。     f'RX6$}\1X  
        |>^JRx  
    | YWD8 +  
    这里是一步一步的如何在ZEMAX 中操作:https://sot.com.sg/coherent-imaging/ V1zmGy  
           Dx?,=~W9  
    这里是案例的ZEMAX 文件: 备注: 我用的ZEMAX 是20年版本, 如果您版本过低,可能无法正常打开, 请谅解! `$ 9x1dx  
    Hvi49c]]  
    如果不能打开文件, 请告知我, 我转发给你。   &6!)jIWJ  
    *N<]Xy @  
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    光学辉 光币 +1 优秀文章,支持! 2022-07-31
    sxwpdpd 光币 +1 优秀资料,加分! 2020-08-03
    天蓝色3230 光币 +5 - 2020-06-29
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-06-29
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    离线vurtne_000
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-06-30
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    离线17310581236
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    只看该作者 3楼 发表于: 2020-07-03
    感谢分享 A;M'LM-M  
    离线huangyang
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    只看该作者 4楼 发表于: 2020-07-08
    呦西呦西
    离线woshiyiyun
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    只看该作者 5楼 发表于: 2020-07-20
    好东西谢谢
    离线xxma94
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    只看该作者 6楼 发表于: 2020-07-27
    谢谢分享 学习学习 7%M_'P4 V  
    离线木子示羊
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    只看该作者 7楼 发表于: 2020-07-27
    感谢分享
    离线bluelalal
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    只看该作者 8楼 发表于: 2020-07-28
    哇偶,正好需要 C0Z=~Q%  
    离线sxwpdpd
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    只看该作者 9楼 发表于: 2020-08-03
    学习一下,学做尚光人。 R4d=S4 i