摘要
+ I.{y );p:[=$71 在
激光扫描
系统中，F-Theta镜头通常被设计用于提供高性能。使用此类
透镜，在目标平面上的聚焦点位移与
焦距和扫描角度的产生成正比。这使得它们成为基于Galvo扫描器的激光材料处理系统的标准
镜头。在
VirtualLab Fusion中扫描源的帮助下，通过测量实际光斑位置与期望值之间的偏差和不同角度下光斑的大小，分析了给定F-Theta透镜的性能。
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?O#"x{Pk )E e`1 1 建模任务
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U QT=URS I<&) P#" 性能评估——光斑直径测量
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rK 性能评估——光斑位置偏差
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|s!~ VirtualLab Fusion的工作流程
`jGG^w3 6l(HD([_p 从Zemax OpticStudio®导入透镜系统
s";9G^: - 从Zemax导入
光学系统 [用例]
=%crSuP eC$ Jdf 分析实际透镜系统的
成像性能
Y c>.P - 分析高NA物镜聚焦 [用例]
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参数运行检查不同参数的影响
Fau24-g - 参数运行文档的使用 [用例]
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hyC]{E - 激光扫描系统性能分析
>+ku:<Hw%. - 如何建立扫描
光源 zHQSx7Ow 5 vqJq=\ .m （来源：讯技光电）
