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1.Horos—光学粗糙度传感器。 |Q?IV5%$ 2.测量样本。 o}
YFDYi 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 %q`_vtUT 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 RxjC sjg O*`] ]w] 系统简介 H YZ94[Ti
^8ZVB.Fv 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 z dlysr# w|O MT>. 特征及技术参数 )lTkqz8v
c7[|x%~ - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 `h+ sSIko - 灵敏度R_q<0.5 nm Y?{L:4cRX - 测量时间： < 1 s。 b$l@Z&[] - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 >RG
}u >MauuL,.j s oRt< 83 传感器： Pa 'g=-
=EA*h _"q9 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 v2 T+I]I 9 r+]V= 应用： 'j 'bhG
Mm;kB/ 1
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： D'$ki[{, - 平面或复杂（自由形状）表面。
:,h47'0A - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 /bjyV]N - 机械零件。 U7bbJ>U_| - 汽车工业。 n{s
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%AwR 4"M QQ:1824712522 Z@nWx]iz
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