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1.Horos—光学粗糙度传感器。 PNSZ
j# 2.测量样本。 Y
9eGDpW 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 2WjQ-mM# 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 N/A. 1W Q?GmSeUi 系统简介 9w
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cS98%@ DR 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 V `KXfY 1;p'2-x 特征及技术参数 4c2*)x$@
.[1"Med J - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 Q" UQv< - 灵敏度R_q<0.5 nm &~+lXNXF - 测量时间： < 1 s。 Vwp fkD` - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 DRLX0Ml]\ 2\ /(!n taXS> *|B 传感器： TxY xB 1C)
9-DDly [)4 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 A L#"j62 JVA JL q 应用： #msXAy$N3r
FO{K=9O
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： ) 1a3W7 - 平面或复杂（自由形状）表面。 DWep5$>&K - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 dZ&/Iz - 机械零件。 [-cYF dt"V - 汽车工业。 L &F0 ^ dA[Z\
00'R1q4 QQ:1824712522 xBhfC!AK}
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