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1.Horos—光学粗糙度传感器。 m\0Xh* 2.测量样本。 j&
H4L 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 -J06H&/k 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 9tMaOm H;~Lv;,g, 系统简介 C'wRF90
ki8;:m4 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 G[bWjw86O x @a3ST KT 特征及技术参数
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~OE1Sd:2 - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 S.I3m- - 灵敏度R_q<0.5 nm -PG81F&K - 测量时间： < 1 s。 vOIzfwYG9 - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 Fh k 8 V q IzDs \C& [BQ\ 传感器： UG!528;7
1^HmM" DD Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 N| N#- dPm_jX 应用： vg"$&YX9"
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： \{@n >Mh - 平面或复杂（自由形状）表面。 Fmd^9K - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 P&=H<^yd - 机械零件。 ,u<oAI` - 汽车工业。 ;usR=i36b .,9e~6}
0D s W1 QQ:1824712522 JG :li} N
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