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{E51Kv&_ 1.Horos—光学粗糙度传感器。 #byJqy&e 2.测量样本。 z]=8eV\ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 BSgTde|3y 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 |9IC/C!HC ]JdJe6`Mc 系统简介 6\n?48x} >b48>@~bY 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 <bUXC@3W z)}!e,7 特征及技术参数 JoJukoy}F b7Oj<!Wo` - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 ubbnFE&PD - 灵敏度R_q<0.5 nm :Fe_,[FR - 测量时间: < 1 s。 {x{H$ f - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 Vb!O8xV4;+ &RO7{,`
V_"f|[1 传感器: ?pG/m%[ 3vW4<:Lgy Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 c)~h<=) 9S>g6}[E#0 应用: f%XJ;y\,9H "^Rv# 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: :( ,mL2[ - 平面或复杂(自由形状)表面。 2*2:-ocl$ - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 {^m Kvc - 机械零件。 0<.RA%dj - 汽车工业。 z9DcnAs |cd-!iJX- @i LIU}+ QQ:1824712522 ?S tsH
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