鬼像是由一个或多个折射面反射引起的。SYNOPSYS 可以对两种类型进行评估和控制:鬼像程序可以显示在图像表面上的表面组合对鬼像图像负责，并且 BGI可以评价在透镜系统内的另一个位置处形成的鬼像图像的特性。 rZ~w_DK*
为了控制近轴图像中鬼像弥散斑的图像的大小，输入是 K]hp -QK<
9af .t
M TAR WT A PGHOST JREFH JREFL qI+2,6
sGI
M TAR WT A PUGHOST JREFH JREFL p+;& Gg54
第一个是 PGHOST，用于控制物体空间中一个点的近轴鬼像的弥散斑大小。这是通常的鬼像情况，其中在视场的一部分中的亮物体在另一部分中形成鬼像图像。 7l D-|yx
第二种类型 PUGHOST 用于控制入瞳上的点的鬼像图像的大小。 w G %W{T$
假设由表面 15 和表面 9 的反射产生的鬼像在图像平面处清晰地聚焦。鬼像越小越清晰，你可以通过增加弥散斑的大小来降低它的强度。假设你想让鬼像的半径不小于 5 毫米。以下是如何在 AANT 文件输入中将其定位为这个值: xG 9Sk
M 5 1 A PGHOST 15 9 i"WYcF |
由于较大的鬼像不是缺陷，因此提供单侧像差常常较好: k, HC"?K
LL 5 .1 4 1 {FNkPX
A PGHOST 15 9 ']r8q %
0NXH449I=
在这里，如果虚半径为 5.0，缺陷值为 0.1;如果半径为 4.0，缺陷值为 1.0。注意，像差的返回值总是正的，因此目标值也应该是正的。 J@s>Pe)
如果使用此特性进行优化，请不要打开开关 47。该选项用于对单个鬼像进行详细分析，如果该开关设置用于优化，则会产生大量不必要的显示输出。 v1 .3gz R
与 GHOST 命令类似，该特征将在开关 49 处于 on(但不用于 PUGHOST)时通过所估计的衍射斑半径增大所计算的近轴鬼像半径。 ffZ~r%25{
你也可以控制一个在镜头系统中形成的鬼像的大小(一个"隐藏的鬼像")这在高光焦度激光系统中是有用的，在高光焦度激光系统中，来自透镜表面的鬼像可能会 o4);5~1l
对元件造成严重的聚焦。这种控件的输入是 nlwqS Xw
M TAR WT A BGI JREFL JHOT n0xGIq
JREFL 是反射光线的表面，而 JHOT 则是你想要监测光通量来防止损伤的表面。 ;mkkaW,D*
这种控制方式也推荐使用 LL 列表。因此，要确保从表面 41 反射到表面 9 上的鬼像光束半径大于 0.2 个单位，可以输入 2
T!Tiu
LL 0.2 .01 0.1 5 A BGI 41 9 gc9R;B1
在评价函数钟。这个例子给出了 0.01 如果鬼像半径为 0.2 时的控制，如果其收缩到 1.5，则控制为 5。注意，该控制应用于弥散斑半径的绝对值，因此该程序将让它假设一个大的正值或负值，因为情况需要。 j/FLEsU!R
还要注意，PGH 和 BGI 控件都是接近轴的量，不涉及真正的光线追迹。因此，他们忽略了光阑、倾斜和衰变。这两种都将是第 49 号开关，并将预估的衍射斑半径加到计算出的几何图像半径，如果这个开关打开的话。 M|WBJ'#x0
