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摘要 lry&)G=5 N1s$3Ul 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 x;ICV%g/ DmXDg7y7s 7'{Yz 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) z~}StCH( |z(Ws 建模任务 M k'n~.mb GqIvvnw@f _M"$5
T '&pf 单次FMM仿真结果 :b M$; Eis%)oE
uwH)/BW)[ 3I>S:|=K 参数扫描(1D) +%Bf
y4F6 +9Hk+. [KimY I(?|Ox9"? 参数扫描(2D) U7*VIRibv+ '.h/Y/oz PFDWC3< YzhN |!;!k 文件信息 N}l]Ilm$34 xPfnyAo?%z \6`%NhkM_ DETajf/<F 拓展阅读 Iu1Sj`A }lNufu -Grating Order Analyzer H%NLL4&wu -Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction ,3@15j Yyo9{4v+p{ QQ:1824712522
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