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摘要 WMW1B }Z3
xDR9_ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 /_]ltX D
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 q _cC7p6t 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） )VNM/o%Q
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 TI}}1ScA' G3G/ xC" 单次FMM仿真结果 W7t
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