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摘要 . 9 S
!634 8nU: 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 LX!16a@SxA
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 P2!@^%o 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） E _/v $
2p8JqZMQb 建模任务 av&dGsFP
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 p%G4Js. fZ 1 7 单次FMM仿真结果 #<MLW4P
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-Grating Order Analyzer acRPKTs
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-Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction ? k<wI)JR f]0kG QQ：1824712522
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