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摘要 DN^ln%# Jr''S}@|x 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ,\=u(Y\I[ }FM<uBKW (O`=$e ^f`#8G7 ( 建模任务 -3 W4 l}O`cC uxh4nyE c,D'Hl6(% 正弦光栅—效率与高度(TEA) `Z@wWs |LNXu m
klch!m=d 正弦光栅—透射相位曲线 PTePSj1N UBU(@T( fA3 _K;rM7 正弦光栅—透射相位曲线 ?` `+OH a,j!B
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S VirtualLab Fusion工作流程 /9yiMmr5W UMX+h])#N q#778 • 设置光栅结构 tFSdi.|G= −使用界面配置光栅结构[用户案例] K;97/"
• 分析光栅衍射效率 y$&a(S] −光栅阶次分析器[用户案例] 5\'%zZ, l • 通过参数运行检查不同参数的影响 q+:(@w6 − 利用参数运行文档[用户案例] FlgB-qR]<n FvNO*'xP 'LOqGpmVc C0fA3y72 VirtualLab Fusion技术 !'gz&3B~h Nb8<8O
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