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摘要 } a#RX$d&
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 /2 V
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VirtualLab Fusion工作流程 O-uf^ S4 M+l~^E0Wj J ]ri|a
• 设置光栅结构 N"[r_!
−使用界面配置光栅结构[用户案例] %|(Cb!ySX
• 分析光栅衍射效率 fG" 4\A
−光栅阶次分析器[用户案例] XjFaP {
• 通过参数运行检查不同参数的影响 Nm{J=`
− 利用参数运行文档[用户案例] jJ7 " 9
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- 用于光导耦合的倾斜光栅分析 4c,{J s - 光栅级次分析器 + 
