微纳米结构分析FIB介绍

微纳米结构分析FIB介绍： m?4hEwQxf  
电子光学 F\&{>&  
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: S[2?,C<2=  
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 f^*Yqa  
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 Ww60-d}}Q  
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 /g.c(-#]  
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 k7Qs#L  
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 S9r?= K  
· 两级扫描偏转 i}zz!dJTE  
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 ~c<8;,cjYR  
· 快速电子束闸* NA/`LaJ  
· 用户向导和镜筒预设 (&Jo. <  
· 电子源寿命至少24个月 @8>bp#x/1  
电子束分辨率 W6}>iB  
zui佳工作距离下 1<1+nGO  
· 30keV 下 STEM  0.7nm n42\ty9  
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm i!}6FBZ  
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* [T,^l#S1  
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电子束参数 bEj}J_#  
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA  400nA d{Jk:@.1  
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) [520!JhZY  
· 放大倍数范围：40x-1200x U;WwEta ]  
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm O1c:X7lHc  
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 -z+,j(@