微纳米结构分析FIB介绍

微纳米结构分析FIB介绍： Ci=c"JdB  
电子光学 `ffWV;P  
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有:
B +_D*a  
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 NcRY Ch  
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 oQFpIX;\m  
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 ?\.P  
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 ^P(HX  
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 znX2W0V  
· 两级扫描偏转 %]RzC`NZ  
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 GiI2nHZc  
· 快速电子束闸* 8M8=
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· 用户向导和镜筒预设 %F1 Ce/  
· 电子源寿命至少24个月 sm/l'e  
电子束分辨率 &&TQ0w&T
 
zui佳工作距离下 b'uH4[zX%  
· 30keV 下 STEM  0.7nm <c^m
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· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm MX6;ww  
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* B
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电子束参数 tJ[Hcx*N  
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA  400nA V1;n5YL  
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) ~{oM&I|d8  
· 放大倍数范围：40x-1200x pgfI1`h  
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm D@FJVF7c  
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 a4O!q;tu7