微纳米结构分析FIB介绍

微纳米结构分析FIB介绍： ],ioY*4G  
电子光学 ]S+NH[g+  
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: M@@l>"g@  
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 N{v <z 6  
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 mk?&`_X1  
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 4Z>KrFO  
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 ju#/ {V;D  
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 ~oO>6  
· 两级扫描偏转 8Z{&b,Y4L  
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 c
6gRXp'ID  
· 快速电子束闸* 9%aBW7@SK  
· 用户向导和镜筒预设 B-`d7c5  
· 电子源寿命至少24个月 &Ji!*~sE  
电子束分辨率 d`9%:2qE  
zui佳工作距离下 @,0W(  
· 30keV 下 STEM  0.7nm _r+2o-ZR  
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm \C;cs
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· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* K#q1/2  
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电子束参数 2lNZwV7  
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA  400nA Xy[O  
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) EJ7}h?a]U_  
· 放大倍数范围：40x-1200x 0<"4
W:  
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm @q0\oG4L  
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 ximW!y7