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RCWA:介绍了如何在Zemax中使用RCWA的方法模拟表面浮雕光栅的衍射。目前光栅类型包括阶梯光栅和梯形光栅两种形式,Zemax一直支持光栅的模拟,但没有考虑衍射效率。为了准确地反映衍射光的衍射效率,需要准确模拟光栅的微观结构。
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