作为
衍射光学领域广泛使用的方法,薄元近似(TEA)在计算薄衍射元件的衍射效率时非常有效。 但在另一方面,当衍射
光栅的周期小到可以与
波长相比较时,这种近似将会变得不准确。 我们选择了两种常用的透射光栅轮廓(正弦和闪耀),并应用TEA和严格的FMM / RCWA进行分析,用来比较两种方法的结果。
Ljs(<Gm)- !ZcALtq 用于光栅建模的TEA与FMM
vX )Y%I Sgk{NM7|k 
t|XC4:/>T 我们同时使用TEA和FMM(也称为RCWA)来分析两种周期不同的光栅(正弦光栅和闪耀光栅),并比较了两种方法的结果。
xqZ%c/I3q JS.'v7 闪耀光栅的傅里叶模态分析
~a|Q[tiV] s,q!(\{Pv 
OnJSu
z>- .-*nD8b 在
VirtualLab Fusion中,傅里叶模态方法(FMM)可用于光栅效率的严格分析。
+*~3"ww< 1j-i nj` 更多相关信息,请发送邮件至:
support@infotek.com.cn ^IZ0M1&W; mT$tAwzTC{ 网址:
http://www.infotek.com.cn +Rd{ ?)2~ jpS#'h
_!Q\Xn f}uCiV!?v 购买与
软件试用请联系QQ:1824712522