摘要:Nanosys-300非球面曲面超精密复合加工系统是“九五”重点预研课题 —“非球面曲面的超精密加工与测量技术”的主要研究成果。重点对非球面曲面光学零件超精密加工机床,非球面曲面光学零件超精密加工工艺,非球面曲面光学零件超精密测量技术进行了研究。其主要技术成果有:非球面超精密复合加工系统综合设计和制造技术,高速超精密空气静压主轴系统,超精密闭式液体静压导轨系统,高速超精密空气静压磨头电主轴系统,开放式高性能数控系统集成技术等。系统的精度检测和工艺实验表明其研究水平进入了国际先进行列。 ]}<.Y[!S
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关键词:非球面;超精密;加工;测量