1. 摘要
dyFKxn`, c8QnN:n 高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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qq+MBW* Q)Dwq? 2. 建模任务
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<e6=% 9 Bx X$5u 3. 概述
5&4F,v[zp sdF3cX 示例
系统包含了高
数值孔径物镜 8g5V,3_6 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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iAQvsE YbvX$/zGu 4. 光线追迹仿真
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4) C/+nSe. 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
Nz]aaoO4 点击“Go!”。
@bQ!zCI 随即获得3D光线追迹结果
j-P^Zv};u ;2W2MZ!TF
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~0 w:tGPort 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。
fle0c^ = 点击“Go!”。
OX,F09.C 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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5k`e^ARf WA$ p_% r= 5. 场追迹仿真
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ITM<Z$l 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
e6es0D[>5 点击“Go!”。
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$:HLRl{2E 9e76pP( 6. 场追迹结果(相机探测器)
`w(sXkeaI 8|_K 4jD\]Q="1 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
]LY^9eK)>{ 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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}W)Mwu'W 7. 场追迹结果(电磁场探测器)
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RYQ 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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文件信息
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]r]+yM| T\.7f~3 更多信息
</2,2AV4q* L)j]~^P$- 1@s^$fvW (来源:讯技光电)