摘要 W\mgM2p }RKsS3} 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
D,|TQQ OW@"j;6
3` J<4_<.o(a 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
b5I 8jPj4c qk>SM|{ 建模任务 U<>@)0~7g! R3.w")6 7oc Ng :UAcS^n7h" 单次FMM仿真结果 {d]B+' 2J%L%6z8~ X.FoX 3x7fa^umR 参数扫描(1D) 8~~ k? 33wVP}e5 RlbJ4`a
2(Yg',aMY- 参数扫描(2D) &4#%xg 9_.pLLx lj:.}+]r |T/s>OW 文件信息 i)$+#N qh&q<M }_}
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