摘要 B
j*X_m VSSiuo'5w 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
nDPfr\\ 1-b,X]i 
t>b^S, 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
" 5YsBih CP?\'a"Kt 建模任务 0\i& v f.8L<<5 c 
Vj:PNt[ \[8I5w- 单次FMM仿真结果 Dbtw>:= "+AeqrYYm5 
t
Y^:C[ RSkpf94` 参数扫描（1D） -BjB>Vt 4b<:67
% 
}y0UyOa{ C EM([N*8o
参数扫描（2D） ,qr)}s- Cf10 ud 
C( r?1ma T8RQM1D_s 文件信息 B)c.`cfr*\ Nd ( $ s[ 
VWNmqeP V&f3>#n\ 拓展阅读 Y${ $7+@ JY_' d,O -
Grating Order Analyzer QX8N p{g- -
Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction
