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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要 dg!sRm1iZ:  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Ya. $x~  
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    建模任务 qb<gh D=j  
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    仿真干涉条纹 Gs6 #aL}]R  
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    走进VirtualLab Fusion yS43>UK_W+  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 4_Jdh48-d  
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    •设置输入场 QD<4(@c5|  
           −基本光源模型[教程视频] Dk-L4FS  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 kT1lOP-Bg  
           •定义元件的位置和方向 C;5}/J^E  
           − LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522     YZ>cE#  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 vy#(|[pL{  
    −非序列追迹的通道设置[用例] i/~J0qQ  
           •使用参数运行检查影响/变化 GN<I|mGLJK  
           −参数运行文档的使用[用例] _#O?g=1  
     q{ hq.KZ  
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    VirtualLab Fusion技术 Vk (bU=w  
    k +Oq$Pi  
    文件信息 6!nb)auVi  
    MUrY>FYgx  
    >DRs(~|V#  
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