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摘要 4f<%<Z iCCY222: 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 |a #4 PZ~uHX_d>
 !']=7It{ yzW9A=0A) 建模任务 _B)LRD+Hj QD%~ A 0
,p/iN9+Z 仿真干涉条纹 "; tl>Ot gT*0WgB ?y!0QAIXK 走进VirtualLab Fusion J')Dt]/9 DYJ@>8  " B Z6G` 8'?V5.6?|~ VirtualLab Fusion中的工作流程 ? "\ `u; B\1F •设置输入场 EZ*FGt6(
−基本光源模型[教程视频] ? c0OrvM
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ncf=S(G+
•定义元件的位置和方向 r Ip84}
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 x(h(a#,r •正确设置通道以进行非序列追迹 Se qnO. \ −非序列追迹的通道设置[用例] oqHI`Tu
•使用参数运行检查影响/变化 rxjMCMF
−参数运行文档的使用[用例] 9*2A}d H
cAIMt]_  ;|e {J $ H[ocIw VirtualLab Fusion技术 JzMPLmgG/ FqA W>< 文件信息 LF?83P,UJ# pXPwn( gE]) z*tqX
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