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摘要 DGQGV[9%4C @$e!|.{1q 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 fD1a)Az M^e;WY@ D
 l9zkx'xt.- Ki8]+W37 建模任务 }u C C~ <^ +
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仿真干涉条纹 BS6UXAf{|Z @77%15_Jz Z 0(}doh 走进VirtualLab Fusion (B0tgg^jj, jMH=lQ+8  iaq+#k@ V Pd~{XM,yfW VirtualLab Fusion中的工作流程 6oQSXB@ Hp@nxtKxW •设置输入场 BnB]]<gO"
−基本光源模型[教程视频] ) vK Zs:
•使用导入的数据自定义表面轮廓 5*n3*rbU:
•定义元件的位置和方向 o-m9}pV
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 {e1ak g. •正确设置通道以进行非序列追迹 [ q% Rx!L −非序列追迹的通道设置[用例] &* Aems{-
•使用参数运行检查影响/变化 [ITtg ?]F
−参数运行文档的使用[用例] <6djdr1:b
OH*  ;:Yz7<>Y, $N[R99*x8 VirtualLab Fusion技术 XITh_S4fs= 'on8r* 文件信息 m7 F"kD d7*fP S -k+}w_<Q
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