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摘要 6;XpLivP7 VZbIU[5 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ; OqLNfU3y R*eM 1
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W 建模任务 Z *"t]L k\Tm?^L) '6 J$X- 仿真干涉条纹 n8aiGnd=v
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:ptfD Dq 4}VkY 走进VirtualLab Fusion Y,}43a0A R:x04 !}  a3IB, dr5P irj}:f;!eF VirtualLab Fusion中的工作流程 :S6 <v0`Z y s6"Q[B •设置输入场 G )|HFcE
−基本光源模型[教程视频] LOkDx2@g
•使用导入的数据自定义表面轮廓 B#n}y
•定义元件的位置和方向 oD1= }
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 tO3 B_zC •正确设置通道以进行非序列追迹 1 K',Vw_ −非序列追迹的通道设置[用例] |]b/5s;>
•使用参数运行检查影响/变化 io_64K+K
−参数运行文档的使用[用例] < _uv!N
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