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摘要 q &6=oss! Y]Vc}-a(h 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Cwf$`?|W 8"UG&wLT
 !:[n3.vm <FT\u{9$ 建模任务 tsVhPo]e0 }v ,P3 n$Fm~iPo, 仿真干涉条纹 2 ]*~1d AlaN; U (7P X`1 走进VirtualLab Fusion Z M, ^R?e 2e@\6l,!^  (w
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D? VirtualLab Fusion中的工作流程 gc) 3 ;]x5;b9` •设置输入场 Qs X 59d
−基本光源模型[教程视频] 0-f -
•使用导入的数据自定义表面轮廓 lS-i9U/,>
•定义元件的位置和方向 "Fvl ZRfXj
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 F <Z=%M3e •正确设置通道以进行非序列追迹 T-i]O *u −非序列追迹的通道设置[用例] iPpJ`i#@+
•使用参数运行检查影响/变化 f_XCO=8'v
−参数运行文档的使用[用例] ^V]DY!@k3_
*tPY  }0),b ?*e 6ng g*kE< VirtualLab Fusion技术 i>zyn-CuW JjML !; 文件信息 .cog9H ' }"H900WE| FWTl:LqFO
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