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摘要 iO,_0Y4 I|#1u7X%] 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 b+ g(=z+ |Qe #[Q7
 JXBTd=r_oM ?p AO?5Z:} 建模任务 JGB 9Z )O~V3 a )t-Jc+*A> 仿真干涉条纹 Q0\tK=Z/ f uQb h SX4"HadV> 走进VirtualLab Fusion \ tK{!v+ yl=_ /'*  F {g^4 bJz}\[z VirtualLab Fusion中的工作流程 q*^F"D:?k [=
G VK •设置输入场 hLZ<h7:
−基本光源模型[教程视频] @DYxDap{
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ,bQbj7
•定义元件的位置和方向 SREe,
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− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 D]s8w •正确设置通道以进行非序列追迹 k [6xuyY] −非序列追迹的通道设置[用例] 6^oQ8unmS
•使用参数运行检查影响/变化 g@<E0
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−参数运行文档的使用[用例] =deqj^&@
_7O;ED+  !2R<T/9~ <#hltPyh VirtualLab Fusion技术 ^zMME*G "0nT:!BZ 文件信息 WP@IV;i ]7d~,<3R #s!q(R c
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