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摘要 .~,=?aq^ ymb{rKkN3 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 9>r@wK' Pn 5S
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bKt4 建模任务 0]xp"xOwW Xbu P_U' ]([^(&2 仿真干涉条纹 7;9 Jn LnPG+< c@Xb6 z_> 走进VirtualLab Fusion ?T)M z
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|;gQ  1#KBf[0 !3)WW)"!r VirtualLab Fusion中的工作流程 d}<-G.&_ ldt]=Sqy •设置输入场 K(#O@Wmjq
−基本光源模型[教程视频] ]O V}yD2p
•使用导入的数据自定义表面轮廓 RMHJI6?LB
•定义元件的位置和方向 Z p/$:ny
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 H'}6Mw%ra •正确设置通道以进行非序列追迹 INY?@in −非序列追迹的通道设置[用例] ^s\T<;
•使用参数运行检查影响/变化 {uurLEe?
−参数运行文档的使用[用例] q!{>Nlk
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