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摘要 30uPDDvar Y PI)^ } 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 H,L{N'[Xph 8i`>],,ch
 (?\+ IB[$~sGe 建模任务 e9 h@G# PmE)FthdP( V z/w.%_g 仿真干涉条纹 ;z4F-SY Q 6I@j$edZ hvw9i7# 走进VirtualLab Fusion %DKFF4k 8-nf4=ll  El<*) f?sm~PwC- VirtualLab Fusion中的工作流程 Bxm ,?=h MMFw T(l<1 •设置输入场 1z-.e$&z
−基本光源模型[教程视频] +r8bGS]ki
•使用导入的数据自定义表面轮廓 }R['Zoh 4I
•定义元件的位置和方向 pd'0|
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 ;9T}h2^` B •正确设置通道以进行非序列追迹 (E0 −非序列追迹的通道设置[用例] h4p S~/
•使用参数运行检查影响/变化 fkzSX8a9}
−参数运行文档的使用[用例] Pq om i!1
Wm}c-GD  -XV,r<'' P9cx &Hk9 VirtualLab Fusion技术 a+^` +p/5 C 5.3[ 文件信息 QO'Hyf t G68Ko M V,&%[H [
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