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摘要 DtkOb,wY [midNC +, 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 0Z
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建模任务 ko6[Ej:TBo d)L,kzN hI,+J> 仿真干涉条纹 ]fJ9.Js .Zr3!N.t $'COsiK7 走进VirtualLab Fusion M2LW[z !&pk^VFl+  `_(N(dm %!]CP1S VirtualLab Fusion中的工作流程 Vn?|\3KY lKV7IoJ& ; •设置输入场 LknV47vd
−基本光源模型[教程视频] h`4!Qv
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ]P)2Q!X
•定义元件的位置和方向 }ni@]k#q<
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 [uF v_G{H •正确设置通道以进行非序列追迹 lV gin5 4Q −非序列追迹的通道设置[用例] )u]1j@Id
•使用参数运行检查影响/变化 ZV$!dHW/
−参数运行文档的使用[用例] yD Avl+
$LOf2 kn  lQG;WVqW _g6H& no[ VirtualLab Fusion技术 =Q4Wr0y><] )5w# n1 文件信息 8r48+_y3u 9eEA80i7 +5H1n (6)
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