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摘要 UVu DQ /Wj,1WX ~ 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 <,%:
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 Mtm OUI&' K`KLC.j 建模任务 =_TaA(79 12 `_;[37 ">jwh. 仿真干涉条纹 qoU3"8 Z@rN_WXx y&J@?Hc> 走进VirtualLab Fusion \c`oy=qY0 Cpl;vQ  TYgQJW? zsl,,gk9Y VirtualLab Fusion中的工作流程 !fk ep=
\' li •设置输入场 %"$@%"8;3
−基本光源模型[教程视频] Ss ?CfRM
•使用导入的数据自定义表面轮廓 9h,u6 e
•定义元件的位置和方向 u' Q d,
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 vwGeD|Fb5 •正确设置通道以进行非序列追迹 *wbZ;rfF −非序列追迹的通道设置[用例] ?(zoTxD
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