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摘要 ?Aewp$Bj ?PMF]ah 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 D8w:c6b pl-2O $
 B4/0t:^I \[nvdvJv 建模任务 -G!W6$Y 5W T^;J9V k|ol+
9Z 仿真干涉条纹 } Fw/WD ,wI$O8"!j 8 |@WuD 走进VirtualLab Fusion >.tP7= 9JG9;[  lbRm( W( C4#E N} VirtualLab Fusion中的工作流程 y .+d3 9PU9B YBG •设置输入场 shjq4# 9
−基本光源模型[教程视频] ZPM,ZGlu:
•使用导入的数据自定义表面轮廓 /~4wM#Yi8
•定义元件的位置和方向 r_5k$u(
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 8Wa&&YTB •正确设置通道以进行非序列追迹 3?}W0dZ$d −非序列追迹的通道设置[用例] vlH E\%{
•使用参数运行检查影响/变化 s+=JT+g
−参数运行文档的使用[用例] ZL0':7
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