摘要 iyA*J CD K:}h\ In 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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I`lDWL R j-jAH VirtualLab Fusion工作流程 x 96}#0' 6{L F-`S% • 设置光栅
结构 0"hiCGm' −使用界面配置光栅结构[用户案例]
6ezcS}:+ • 分析光栅衍射效率
<Uf |PFVj$ −光栅阶次分析器[用户案例]
dZF8 R • 通过
参数运行检查不同参数的影响
Yi[4DfA − 利用参数运行文档[用户案例]
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OqtQA#uL So?m?,!W 进一步阅读 y !F:m=x< - 用于光导耦合的倾斜光栅分析
2f `&WUe - 光栅级次分析器
1p~5h(jI %U-Qsy8|D) （来源：讯技光电）
